多工位双面移载装置及处理系统制造方法及图纸

本发明专利技术揭示了一种多工位双面移载装置及处理系统，移载装置包括移载工位组及机械手组，移载工位组至少包括入料工位、第一等待工位、第二等待工位及出料工位，入料工位用于输入工件，第一等待工位用于放置第一待处理面朝上的工件，第二等待工位用于放置第二待处理面朝上的工件，出料工位用于输出工件，机械手组包括至少两个机械手，机械手组用于工件的翻转及工件在多个工位之间的移动，且任一机械手的最大位移量为两个相邻工位。本发明专利技术的移载装置简化了双面处理流程，提高了双面处理效率，且移载装置的结构简单，另外，任一机械手的最大位移量为两个相邻工位，可以有效缩短机械手的行进距离及操作时间，进而进一步提高双面处理效率。

【技术实现步骤摘要】
多工位双面移载装置及处理系统
本专利技术涉及加工设备领域，尤其涉及一种多工位双面移载装置及处理系统。
技术介绍
目前，在很多领域都涉及工件的双面处理，例如，在PCB(PrintedCircuitBoard)生产工艺的曝光工序中，需要在PCB板的双面进行曝光处理，以形成具有双面印刷线路的电路板。现有技术中，为了实现PCB板的双面曝光，需要通过移载装置来进行PCB工件两面之间的翻转及PCB工件在多个工位之间的输送，而现有的移载装置普遍存在效率低下、设备复杂等问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种多工位双面移载装置及处理系统，其可以有效提高效率，且可简化设备。为实现上述专利技术目的之一，本专利技术一实施方式提供一种多工位双面移载装置，用于处理工件，所述工件包括相对设置的第一待处理面及第二待处理面，所述移载装置包括移载工位组及机械手组，所述移载工位组至少包括入料工位、第一等待工位、第二等待工位及出料工位，所述入料工位用于输入工件，所述第一等待工位用于放置第一待处理面朝上的工件，所述第二等待工位用于放置第二待处理面朝上的工件，所述出料工位用于输出工件，所述机械手组包括至少两个机械手，所述机械手组用于工件的翻转及工件在多个工位之间的移动，且任一机械手的最大位移量为两个相邻工位。作为本专利技术一实施方式的进一步改进，所述机械手组包括翻转机械手或所述机械手组同时包括翻转机械手及平移机械手，当所述机械手组包括翻转机械手时，所述翻转机械手用于将工件翻转一预定角度，且所述翻转机械手用于将工件在多个工位之间平移，当所述机械手组同时包括翻转机械手及平移机械手时，所述翻转机械手至少用于将工件翻转一预定角度，所述平移机械手用于将工件在多个工位之间平移。作为本专利技术一实施方式的进一步改进，所述预定角度的范围为90～180度。作为本专利技术一实施方式的进一步改进，所述预定角度为90度或180度。作为本专利技术一实施方式的进一步改进，所述机械手组至少包括第一翻转机械手及第二翻转机械手，当所述第一待处理面处理完成后，所述第一翻转机械手固定所述第一待处理面并将所述工件朝向第二等待工位方向翻转90度，第二翻转机械手朝向所述第一等待工位方向翻转90度而面向第二待处理面，所述第二翻转机械手固定所述第二待处理面并向所述第二等待工位方向翻转90度，而后所述第二翻转机械手将工件置于第二等待工位。作为本专利技术一实施方式的进一步改进，所述第一翻转机械手还用于将工件由所述入料工位平移至所述第一等待工位，所述第二翻转机械手还用于将工件由第二等待工位平移至所述出料工位。作为本专利技术一实施方式的进一步改进，所述机械手组包括第一翻转机械手及若干平移机械手，当所述第一待处理面处理完成后，所述第一翻转机械手固定所述第一待处理面并将所述工件翻转180度而使得所述第二待处理面朝上，所述平移机械手固定所述第二待处理面并将所述工件移动至所述第二等待工位。作为本专利技术一实施方式的进一步改进，所述机械手组包括第一平移机械手及第二平移机械手，当所述第一翻转机械手在入料工位和第一等待工位之间平移时，所述第一平移机械手在第一等待工位和第二等待工位之间平移，所述第二平移机械手在第二等待工位和出料工位之间平移，当所述第一翻转机械手在第一等待工位和第二等待工位之间平移时，所述第一平移机械手在入料工位和第一等待工位之间平移，所述第二平移机械手在第二等待工位和出料工位之间平移。作为本专利技术一实施方式的进一步改进，所述机械手组包括第一平移机械手、第二平移机械手及第三平移机械手，所述第一平移机械手在入料工位和第一等待工位之间平移，所述第二平移机械手在第一等待工位和第二等待工位之间平移，所述第三平移机械手在第二等待工位及出料工位之间平移。作为本专利技术一实施方式的进一步改进，所述机械手组包括翻转机械手及平移机械手，所述翻转机械手至少用于将工件翻转一预定角度，所述平移机械手用于将工件在多个工位之间平移，所述翻转机械手包括一个翻转吸附面或相对设置的两个翻转吸附面，所述平移机械手包括一个平移吸附面，所述翻转吸附面及所述平移吸附面用于吸附工件。作为本专利技术一实施方式的进一步改进，所述入料工位、所述第一等待工位、所述第二等待工位及所述出料工位依次呈直线分布。为实现上述专利技术目的之一，本专利技术一实施方式提供一种多工位双面处理系统，包括如上所述的多工位双面移载装置及处理装置，所述处理装置对应所述第一等待工位及所述第二等待工位设置，所述处理装置用于处理所述第一待处理面及所述第二待处理面。作为本专利技术一实施方式的进一步改进，所述处理系统为曝光系统、光学检测系统或喷印系统。作为本专利技术一实施方式的进一步改进，所述处理系统为曝光系统，所述处理装置包括曝光机头及曝光工位组，所述曝光工位组包括相连的第一曝光工位、第二曝光工位，所述第一曝光工位连接所述第一等待工位，所述第二曝光工位连接所述第二等待工位，所述曝光机头在第一曝光工位及第二曝光工位之间移动。与现有技术相比，本专利技术的有益效果在于：本专利技术的移载装置通过机械手去实现工件的翻转及移动，简化了双面处理流程，提高了双面处理效率，且移载装置的结构简单，另外，任一机械手的最大位移量为两个相邻工位，即任一机械手的活动区域是有限的，可以有效缩短机械手的行进距离及操作时间，进而进一步提高双面处理效率。附图说明图1是本专利技术一实施方式的移载装置立体图；图2是本专利技术一实施方式的移载装置俯视透视图；图3a-图3m是本专利技术第一具体实施例的步骤示意图；图4a-图4o是本专利技术第二具体实施例的步骤示意图；图5a-图5n是本专利技术第三具体实施例的步骤示意图；图6是本专利技术一实施方式的处理系统立体图；图7是本专利技术一实施方式的处理系统俯视透视图；图8是本专利技术第一示例的曝光系统的处理流程；图9是本专利技术第二示例的曝光系统的处理流程。具体实施方式以下将结合附图所示的具体实施方式对本专利技术进行详细描述。但这些实施方式并不限制本专利技术，本领域的普通技术人员根据这些实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本专利技术的保护范围内。在本专利技术的各个图示中，为了便于图示，结构或部分的某些尺寸会相对于其它结构或部分夸大，因此，仅用于图示本专利技术的主题的基本结构。另外，本文使用的例如“上”、“上方”、“下”、“下方”等表示空间相对位置的术语是出于便于说明的目的来描述如附图中所示的一个单元或特征相对于另一个单元或特征的关系。空间相对位置的术语可以旨在包括设备在使用或工作中除了图中所示方位以外的不同方位。例如，如果将图中的设备翻转，则被描述为位于其他单元或特征“下方”或“之下”的单元将位于其他单元或特征“上方”。因此，示例性术语“下方”可以囊括上方和下方这两种方位。设备可以以其他方式被定向(旋转90度或其他朝向)，并相应地解释本文使用的与空间相关的描述语。结合图1及图2，为本专利技术一实施方式的多工位双面移载装置100的示意图。本实施方式的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多工位双面移载装置，用于处理工件，所述工件包括相对设置的第一待处理面及第二待处理面，其特征在于，所述移载装置包括移载工位组及机械手组，所述移载工位组至少包括入料工位、第一等待工位、第二等待工位及出料工位，所述入料工位用于输入工件，所述第一等待工位用于放置第一待处理面朝上的工件，所述第二等待工位用于放置第二待处理面朝上的工件，所述出料工位用于输出工件，所述机械手组包括至少两个机械手，所述机械手组用于工件的翻转及工件在多个工位之间的移动，且任一机械手的最大位移量为两个相邻工位。/n

【技术特征摘要】
1.一种多工位双面移载装置，用于处理工件，所述工件包括相对设置的第一待处理面及第二待处理面，其特征在于，所述移载装置包括移载工位组及机械手组，所述移载工位组至少包括入料工位、第一等待工位、第二等待工位及出料工位，所述入料工位用于输入工件，所述第一等待工位用于放置第一待处理面朝上的工件，所述第二等待工位用于放置第二待处理面朝上的工件，所述出料工位用于输出工件，所述机械手组包括至少两个机械手，所述机械手组用于工件的翻转及工件在多个工位之间的移动，且任一机械手的最大位移量为两个相邻工位。


2.根据权利要求1所述的多工位双面移载装置，其特征在于，所述机械手组包括翻转机械手或所述机械手组同时包括翻转机械手及平移机械手，当所述机械手组包括翻转机械手时，所述翻转机械手用于将工件翻转一预定角度，且所述翻转机械手用于将工件在多个工位之间平移，当所述机械手组同时包括翻转机械手及平移机械手时，所述翻转机械手至少用于将工件翻转一预定角度，所述平移机械手用于将工件在多个工位之间平移。


3.根据权利要求2所述的多工位双面移载装置，其特征在于，所述预定角度的范围为90～180度。


4.根据权利要求3所述的多工位双面移载装置，其特征在于，所述预定角度为90度或180度。


5.根据权利要求2所述的多工位双面移载装置，其特征在于，所述机械手组至少包括第一翻转机械手及第二翻转机械手，当所述第一待处理面处理完成后，所述第一翻转机械手固定所述第一待处理面并将所述工件朝向第二等待工位方向翻转90度，第二翻转机械手朝向所述第一等待工位方向翻转90度而面向第二待处理面，所述第二翻转机械手固定所述第二待处理面并向所述第二等待工位方向翻转90度，而后所述第二翻转机械手将工件置于第二等待工位。


6.根据权利要求5所述的多工位双面移载装置，其特征在于，所述第一翻转机械手还用于将工件由所述入料工位平移至所述第一等待工位，所述第二翻转机械手还用于将工件由第二等待工位平移至所述出料工位。


7.根据权利要求2所述的多工位双面移载装置，其特征在于，所述机械手组包括第一翻转机械手及若干平移机械手，当所述第一待处理面处理完成后，所述第一翻转机械手固定所述第一待处理面并将所述工件翻转180度而使得所述第二待处理面朝上，所述平移机械手...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡志国，江俊龙，
申请(专利权)人：苏州微影激光技术有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32