衍射光学器件制造技术

一种衍射光学器件，包括一个让衍射光透过的基片；和一个位于基片上并包含着一组光栅单元的光栅部分，其中每个光栅单元都有多个不连续的相位阶梯。该组光栅单元以不同的光栅周期布置在基片表面不同区域中，且依据光栅周期的不同而有相位阶梯数的不同。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种衍射光学器件，尤其是一种防止甚至在小光栅周期区域内衍射交率下降的衍射光学器件。用于实现光衍射的衍射光学部件，有一个衍射光栅条纹图案。此栅纹图案通过在一基片上布置一组光栅单元而构成。衍射效率是投射于衍射光学部件上的光发生衍射那部分光的比率，它取决于光栅条纹的图案。一般地讲，衍射效率的高低是确定衍射光学器件质量的一个最主要的要素。传统的衍射光学器件之一是一种衍射微透镜，它使垂直照射在其上的光发生衍射。参见附图说明图1和2，其中表示了这种传统的衍射微透镜100。图1是微透镜100的平面图，表示出了它的光栅条纹图案，而图2是微透镜100的一个剖面图。微透镜100包括一个基片11。垂直地投射在基片11底表面上的光在基片上方会聚和准直。如图1所示，一组光栅单元18被同心地安置在基片11的上表面，从而形光栅条纹图案。光栅单元18所在位置的周期(下文中称为″光栅周期″)向着基片11的外圆方向逐渐地减小。如图2所示，每个光栅单元18都有一个矩形截面。图3是另一种衍射微透镜200的剖面图，是由J.Jahns和S.T.Walker在″由蒸镀薄膜制成的衍射微透镜二维陈列″，应用光学(本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种衍射光学器件，其特征在于包括：一个让透过的光被衍射的基片；和一个位于基片上，并包含了一组都具有多个不连续相位阶梯的光栅单元的光栅部分，其中该组光栅单元按不同的光栅周期布置在基片表面的不同区域之内，而且随光栅周期不同有不同的相 位阶梯数。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：盐野照弘，小川久仁，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]