晶圆圆周定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆圆周定位装置，包括：旋转机构，用于带动放置其上的某一规格的晶圆旋转；对中机构，包括多对独立控制的夹爪，每对所述夹爪用于从圆周方向对所述旋转机构上相对应的一种规格的所述晶圆进行夹持，以将所述晶圆的圆心与所述旋转机构的旋转中心进行对中；其中，各对所述夹爪的夹持面处于相同高度。本实用新型专利技术通过采用多对夹爪分别夹持对中的方式，对晶圆中心和回转轴中心的同心度进行精确定位，仅需通过简单地更换夹爪规格，即可实现针对不同规格的晶圆的定位。

【技术实现步骤摘要】
晶圆圆周定位装置
本技术涉及半导体行业自动化控制设备
，特别是涉及一种能针对不同规格晶圆进行圆周定位的装置。
技术介绍
在半导体行业自动化制程中，经常需要针对多种规格(例如4寸、6寸等)的晶圆，让其绕着中心进行旋转。在旋转过程中，需要晶圆中心和旋转轴中心有很高的同心度要求，对旋转到位的角度准确性也有很高的要求。目前，一般采用的方式是先在搬运机构上，直接对晶圆进行中心定位；然后，再将进行中心定位后的晶圆搬运放置在回转机构上，进行旋转角度的定位。这样就要求搬运机构与回转机构之间具有很高的相对精度。并且，通常一个晶圆圆周定位装置只能针对同一规格晶圆进行圆周定位，难以同时针对不同规格晶圆进行圆周定位。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种晶圆圆周定位装置。为实现上述目的，本技术的技术方案如下：一种晶圆圆周定位装置，包括：旋转机构，用于带动放置其上的某一规格的晶圆旋转；对中机构，包括多对独立控制的夹爪，每对所述夹爪用于从圆周方向对所述旋转机构上相对应的一种本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆圆周定位装置，其特征在于，包括：/n旋转机构，用于带动放置其上的某一规格的晶圆旋转；/n对中机构，包括多对独立控制的夹爪，每对所述夹爪用于从圆周方向对所述旋转机构上相对应的一种规格的所述晶圆进行夹持，以将所述晶圆的圆心与所述旋转机构的旋转中心进行对中；/n其中，各对所述夹爪的夹持面处于相同高度。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆圆周定位装置，其特征在于，包括：
旋转机构，用于带动放置其上的某一规格的晶圆旋转；
对中机构，包括多对独立控制的夹爪，每对所述夹爪用于从圆周方向对所述旋转机构上相对应的一种规格的所述晶圆进行夹持，以将所述晶圆的圆心与所述旋转机构的旋转中心进行对中；
其中，各对所述夹爪的夹持面处于相同高度。


2.根据权利要求1所述的晶圆圆周定位装置，其特征在于，所述旋转机构设有电机，所述电机通过转轴连接转台，所述转台用于放置所述晶圆，所述转轴的中心为所述旋转机构的旋转中心。


3.根据权利要求2所述的晶圆圆周定位装置，其特征在于，所述转台表面设有吸盘。


4.根据权利要求1所述的晶圆圆周定位装置，其特征在于，各对所述夹爪之间依次相套合。


5.根据权利要求4所述的晶圆圆周定位装置，其特征在于，所述对中机构包括一对第一夹爪和一...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈朝星，
申请(专利权)人：上海福赛特机器人有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31