【技术实现步骤摘要】
一种金属舟导片机构
本技术属于太阳能光伏领域,具体涉及一种金属舟导片机构。
技术介绍
近年来,随着人们环保意识的提高,对可再生能源的利用日益重视,太阳能电池的应用也趋于广泛。硅片是太阳能电池的载体,硅片质量的好坏直接决定了太阳能电池转换效率的高低。太阳能电池生产过程中通过硅片承载花篮进行上下料作业,太阳能电池的新型原子层沉积(ALD)工序所使用的治具是金属舟,ALD工序中,需要将承载花篮和金属舟中的硅片互导,具体包括将ALD工艺后金属舟内的硅片导出至空花篮中,以及将ALD工艺前承载花篮中的硅片导入至空金属舟内。现有的ALD工艺中,承载花篮上硅片槽的数量固定,常用的金属舟上硅片槽的数量也固定,且承载花篮上硅片槽与金属舟上硅片槽的数量相对应以提高硅片互导效率,如金属舟上硅片槽的数量设置为承载花篮上硅片槽数量的二倍,相应的,现有的机械式导片装置上硅片吸盘的数量也对应设置。目前,有部分为满足特定要求的特制金属舟,其上硅片槽的数量与现有承载花篮上硅片槽的数量没有对应关系,现有的机械式导片装置无法满足该特制金属舟与现有承 ...
【技术保护点】
1.一种金属舟导片机构,包括机架,其特征在于,在机架上安装有主龙门机构和副龙门机构,在所述主龙门机构、副龙门机构下方设置有承载花篮工位和金属舟工位,所述承载花篮工位可容纳多个满载花篮/空花篮,所述金属舟工位可容纳多个空金属舟/满载金属舟,所述主龙门机构和副龙门机构同时运行将所述满载花篮/满载金属舟上的硅片导入至所述空金属舟/空花篮上;/n其中,所述主龙门机构包括第一轨道和架设在该第一轨道上的第一龙门抓取组件、第二龙门抓取组件,所述副龙门机构包括第二轨道和架设在该第二轨道上的第三龙门抓取组件、第四龙门抓取组件。/n
【技术特征摘要】
1.一种金属舟导片机构,包括机架,其特征在于,在机架上安装有主龙门机构和副龙门机构,在所述主龙门机构、副龙门机构下方设置有承载花篮工位和金属舟工位,所述承载花篮工位可容纳多个满载花篮/空花篮,所述金属舟工位可容纳多个空金属舟/满载金属舟,所述主龙门机构和副龙门机构同时运行将所述满载花篮/满载金属舟上的硅片导入至所述空金属舟/空花篮上;
其中,所述主龙门机构包括第一轨道和架设在该第一轨道上的第一龙门抓取组件、第二龙门抓取组件,所述副龙门机构包括第二轨道和架设在该第二轨道上的第三龙门抓取组件、第四龙门抓取组件。
2.根据权利要求1所述的金属舟导片机构,其特征在于,在所述空金属舟/满载金属舟上设置有M个第一硅片槽,在所述空花篮/满载花篮上设置有N个第二硅片槽,所述第一龙门抓取组件、第二龙门抓取组件可分别抓取X片硅片,所述第三龙门抓取组件、第四龙门抓取组件可分别抓取Y片硅片,其中,M=aX=bY,a、b为偶数,N=X+Y。
3.根据权利要求2所述的金属舟导片机构,其特征在于,每个所述第一硅片槽可容置两片硅片,每个所述第二硅片槽可容置一片硅片。
4.根据权利要求2所述的金属舟导片机构,其特征在于,相邻两个所述第一硅片槽之间的距离为2.38mm,相邻两个所述第二硅片槽之...
【专利技术属性】
技术研发人员:周军,戴秋喜,潘加永,刘光照,
申请(专利权)人:苏州映真智能科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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