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本实用新型公开了一种晶圆圆周定位装置，包括：旋转机构，用于带动放置其上的某一规格的晶圆旋转；对中机构，包括多对独立控制的夹爪，每对所述夹爪用于从圆周方向对所述旋转机构上相对应的一种规格的所述晶圆进行夹持，以将所述晶圆的圆心与所述旋转机构的旋...
该专利属于上海福赛特机器人有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海福赛特机器人有限公司授权不得商用。

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