【技术实现步骤摘要】
一种晶圆测试机挡光板
本技术涉及圆晶测试
,具体为一种晶圆测试机挡光板。
技术介绍
圆晶是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片,由于其形状为圆形,故称为圆晶,圆晶是生产集成电路所用的载体,一般意义晶圆多指单晶硅圆片,单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼,经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒,单晶硅棒经过抛光、切片之后,就成为了圆晶。圆晶加工后会使用到测试装置,但是现有的测试装置在使用时挡光板为不可拆卸设置,挡光板损坏后难以进行更换,给维修带来了很大的不便,从而妨碍到工作人员的工作效率,不便于使用者的使用,降低了圆晶测试装置的实用性。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶圆测试机挡光板,具备便于维修挡光板的优点,解决了现有的测试装置在使用时挡光板为不可拆卸设置,挡光板损坏后难以进行更换,给维修带来了很大的不便,从而妨碍到工作人员的工作效率的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种晶圆测试机挡光板,包括测试机本体,所述测试机本体的正面活动安装有防护壳体,所述防护壳体的内部开设有安装 ...
【技术保护点】
1.一种晶圆测试机挡光板,包括测试机本体(1),其特征在于:所述测试机本体(1)的正面活动安装有防护壳体(2),所述防护壳体(2)的内部开设有安装开口(3),所述安装开口(3)的内部设置有挡光板本体(4),所述挡光板本体(4)顶部和底部的两侧均固定连接有定位块(5),所述定位块(5)远离挡光板本体(4)的一侧贯穿至安装开口(3)的内部,所述挡光板本体(4)内部两侧的顶部和底部均固定嵌入有动力箱(6),所述动力箱(6)的正面设置有推动板(7),所述推动板(7)的背面贯穿至动力箱(6)的内部,所述推动板(7)的背面固定连接有传动板(8),所述传动板(8)的顶部和底部分别与动力箱 ...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆测试机挡光板,包括测试机本体(1),其特征在于:所述测试机本体(1)的正面活动安装有防护壳体(2),所述防护壳体(2)的内部开设有安装开口(3),所述安装开口(3)的内部设置有挡光板本体(4),所述挡光板本体(4)顶部和底部的两侧均固定连接有定位块(5),所述定位块(5)远离挡光板本体(4)的一侧贯穿至安装开口(3)的内部,所述挡光板本体(4)内部两侧的顶部和底部均固定嵌入有动力箱(6),所述动力箱(6)的正面设置有推动板(7),所述推动板(7)的背面贯穿至动力箱(6)的内部,所述推动板(7)的背面固定连接有传动板(8),所述传动板(8)的顶部和底部分别与动力箱(6)内壁的顶部和底部滑动连接,所述传动板(8)远离防护壳体(2)一侧的顶部和底部均固定连接有卡紧弹簧(9),所述传动板(8)远离卡紧弹簧(9)的一侧固定连接有卡紧板(10),所述卡紧板(10)远离传动板(8)的一侧贯穿至防护壳体(2)的内部。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆测试机挡光板,其特征在于:所述防护壳体(2)正面两侧的顶部和底部均开设有配合定位块(5)使用的定位槽(11),所述定位块(5)的数量为四个,...
【专利技术属性】
技术研发人员:顾卫民,吴熙文,吴卓鸿,张梅,
申请(专利权)人:无锡芯启博科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。