用于扫描探针显微镜的可升温样品平台制造技术

本发明专利技术涉及的可升温样品平台，包括铜块样品台、加热元件、测温传感元件及加热、控温电路等，其内装有加热元件的铜块样品台固定在空心支撑件上端盖上，其露出支撑件中外的端部安装测温传感元件，位于支撑件内的外表面上覆有绝热材料，绝热材料底部与支撑件之间留有间隙，支撑件底端固定在绝热基底上；其结构简单、价格低廉，测温精度高，动态响应速度快，变温范围宽，不需增加任何辅助设备，便适用所有普通扫描探针显微镜。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种样品平台，特别涉及一种用于扫描探针显微镜的可升温样品平台。该样品平台可将微小样品从室温升高到1200℃左右，并能维持一定温度，与普通扫描探针显微镜配套使用，可将普通探针扫描显微镜的适用温度由室温扩展到1200℃左右的温度范围，并可增加有关重要的热学功能。自然科学与工程技术的进程往往由于新的测量方法出现而得到巨大推进，新测量手段蕴涵着新的科学思想并有可能开辟新的研究前沿。近十年来，微尺度热科学及微电子机械学研究尤其是纳米科技的兴起，提出了对材料的纳米尺度上的尺寸、形貌及热物理信息进行测量的问题。而目前广泛使用的测量仪器有扫描探针显微镜，该扫描探针显微镜可观察材料微尺度水平上的形貌，为一种获取新发现并促使该学科向纵深发展的关键仪器。扫描探针显微镜(SPM)包括扫描热显微镜、扫描隧道显微镜及原子力显微镜等。其共同点是它们均采用一个锐利的探针尖来靠近被测物体，以获取被测物体在纳米空间尺度内的几何形貌及其它物理量。扫描热显微镜是其中一种可用于研究亚-500-nm尺度内传热问题的仪器，它由探针原子力显微镜发展而来，采用一种特制的探针{美国“一个新前沿，实验传热学”中“纳米本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于扫描探针显微镜的可升温样品平台，包括铜块样品台１、加热元件３、绝热材料４、测温传感元件７及对加热元件３进行加热和控温的加热、控温电路９，还包括支撑件２和绝热基底５，铜块样品台１为一空心圆柱体或空心立方体，加热元件３位于铜块样品台１的空心腔体中，其内装有加热元件３的铜块样品台１固定装嵌在空心支撑件２的上端盖上，铜块样品台１露出空心支撑件２之外的端部安装测温传感元件７，位于空心支撑件２之内部分的外表面上覆有耐高温的绝热材料４，绝热材料４底部与空心支撑件２留有间隙；加热元件３输入、输出端引线穿过绝热材料４及空心支撑件２体壁上的小孔８伸出空心支撑件２体外，连接加热、控稳电路９，空心支撑件２的底...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘静，周一欣，
申请(专利权)人：中国科学院低温技术实验中心，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]