一种具有过载保护功能的顶针式石英振梁压力传感器制造技术

本实用新型专利技术涉及压力传感器的技术领域，尤其涉及一种具有过载保护功能的顶针式石英振梁压力传感器。包括箱型的壳体、芯体和顶针机构，所述壳体的上端配合设有顶盖，顶针机构包括圆柱形的顶针、金属波纹膜片和顶针壳，金属波纹膜片固定在上部阶梯孔的下端阶梯面上，顶针上部的外圆柱面上设有顶针凸台，顶针同轴安装在顶针壳内，使得顶针凸台位于中部阶梯孔内，顶针的一端和金属波纹膜片连接，顶针的另一端伸出下部阶梯孔，并和对应小L形杆件的竖直端部的侧壁接触。顶针在顶针壳内可轴向窜动，同时顶针凸台与中部阶梯孔侧壁之间存在一定间隙，外界气压P过载时，顶针凸台与中部阶梯孔侧壁相互作用，提供过载保护，避免了过载破坏。

【技术实现步骤摘要】
一种具有过载保护功能的顶针式石英振梁压力传感器
本技术涉及压力传感器的
，尤其涉及一种具有过载保护功能的顶针式石英振梁压力传感器。
技术介绍
压力不仅是生产中需要控制一个参数，同时也是很多器件稳定工作时所需精确控制的一个条件。压力传感器是一种将压力量转换为电信号的仪器，广泛应用在航空航天、石油化工、汽车、电力、船舶和消费电子等领域中。作为压力传感器的一种，谐振式压力传感器采用石英晶体作为谐振器件，品质因数高，具有稳定性好、精度高、易于激励等优点。例如，美国的QUARTZDYNE公司是振动盘式石英谐振压力传感器的主要供应商，精度可达0.02%FS，这种全石英结构常采用传统机械加工方法，谐振器体积较大，只适用于高压测量场合。日本爱普生拓优科梦公司研制了一种金属波纹管作为弹性元件的石英振梁谐振压力传感器，该传感器采用双波纹管和单根石英振梁，可以实现差压测量，但不具备过载保护功能，当待测压力剧烈变化时容易造成过载导致传感器损坏。目前，现有的石英谐振压力传感器大多无过载保护功能，同时采用波纹管作为弹性元件增加了传感器的气密性封装难度。...

【技术保护点】
1.一种顶针式石英振梁压力传感器，其特征在于：包括箱型的壳体（1）、芯体（2）和顶针机构，所述壳体（1）的上端配合设有顶盖（11），所述芯体（2）包括大L形杆件（21）和小L形杆件（22），且大L形杆件（21）的竖直端部设有水平连接板（23），大L形杆件（21）的水平端部设有竖直连接板（24）；/n所述小L形杆件（22）的直角部通过柔性铰链（25）和所述竖直连接板（24）铰接，使得小L形杆件（22）位于大L形杆件（21）的内侧；/n所述大L形杆件（21）通过壳体连接板（12）和壳体（1）的内腔底部固定连接；/n所述大L形杆件（21）竖直部的上端面平行布设有电路转接板（26），所述小L形杆件（2...

【技术特征摘要】
1.一种顶针式石英振梁压力传感器，其特征在于：包括箱型的壳体（1）、芯体（2）和顶针机构，所述壳体（1）的上端配合设有顶盖（11），所述芯体（2）包括大L形杆件（21）和小L形杆件（22），且大L形杆件（21）的竖直端部设有水平连接板（23），大L形杆件（21）的水平端部设有竖直连接板（24）；
所述小L形杆件（22）的直角部通过柔性铰链（25）和所述竖直连接板（24）铰接，使得小L形杆件（22）位于大L形杆件（21）的内侧；
所述大L形杆件（21）通过壳体连接板（12）和壳体（1）的内腔底部固定连接；
所述大L形杆件（21）竖直部的上端面平行布设有电路转接板（26），所述小L形杆件（22）水平端部的两侧分别通过双梁结构的石英振梁（27）和对应的大L形杆件（21）连接，且每个石英振梁（27）的两端分别通过焊块和电路转接板（26）连接；
所述顶针机构包括圆柱形的顶针（31）、金属波纹膜片（32）和顶针壳（33），顶针壳（33）为带有三级阶梯孔的管状结构，分别为上部阶梯孔（34）、中部阶梯孔（35）和下部阶梯孔（36），且孔径依次减小，所述金属波纹膜片（32）固定在上部阶梯孔（34）的下端阶梯面上，所述顶针（31）上...

【专利技术属性】
技术研发人员：程荣俊，宋鹏程，张何洋，祁勤，戚玉海，
申请(专利权)人：合肥工业大学，
类型：新型
国别省市：安徽;34