【技术实现步骤摘要】
具有保护性压力特征的压力传感器组件
本文所公开的压力传感器组件涉及包括传感器膜或膜片的压力传感器，该传感器膜或膜片与被监测的来自外部源的气体或流体连通，更具体地，涉及压力传感器，其改进的防护等级，以防止由诸如高压尖峰等的瞬时流体压力事件引起的损坏。
技术介绍
压力传感器组件或压力传感器的使用在本领域中是已知的，用于测量或监测来自与压力传感器处于流体流动连接的外部源的流体的压力。常规的压力传感器组件包括膜片或膜，其放置为与流体接触，且其配置为具有薄壁构造，用于当流体压力施加在其上时将流体中的压力转换为膜片中的应力或位移。通常，这样的压力传感器具有用于从外部源接收流体的端口或开口，其中流体在压力传感器内传输到膜片或膜，且其中一个或多个检测元件可以与膜片连接，以测量或获取关于膜片运动的数据/接收关于膜片运动的信号，从而确定流体压力。这种常规压力传感器的问题在于，被测量的流体可能来自能够产生高压力的瞬态事件(例如，压力尖峰)的外部源，当将其输送到压力膜片或膜时，其可能超出设计压力且从而导致损坏压力膜片或膜，即，可能导致膜片或...
【技术保护点】
1.一种压力传感器组件(30)，包括：/n传感器本体(32)，包括设置在所述本体内的感测膜(36)，用于放置来自与所述膜连通的外部源的流体，并确定所述流体的压力；/n支撑件(40)，与所述本体连接且包括延伸穿过其中的用于接收所述流体的通道(44)，其中所述通道与所述膜(36)流体流动连通；/n基板(46)，与所述支撑件(40)连接且包括延伸穿过其中的用于从外部源接收所述流体的通道(52)，其中所述流体通过所述基板(46)输送至所述支撑件(40)；/n其中，所述基板(46)或所述支撑件通道(44)和(52)中的一个包括设置在其中的压力缓解特征，用于缓解从所述外部源到所述传感器...
【技术特征摘要】
20190606 US 16/434,1531.一种压力传感器组件(30)，包括：
传感器本体(32)，包括设置在所述本体内的感测膜(36)，用于放置来自与所述膜连通的外部源的流体，并确定所述流体的压力；
支撑件(40)，与所述本体连接且包括延伸穿过其中的用于接收所述流体的通道(44)，其中所述通道与所述膜(36)流体流动连通；
基板(46)，与所述支撑件(40)连接且包括延伸穿过其中的用于从外部源接收所述流体的通道(52)，其中所述流体通过所述基板(46)输送至所述支撑件(40)；
其中，所述基板(46)或所述支撑件通道(44)和(52)中的一个包括设置在其中的压力缓解特征，用于缓解从所述外部源到所述传感器膜的所述流体中的压力尖峰的输送。
2.如权利要求1所述的压力传感器组件(30)，其中，所述基板(46)由一材料形成，所述材料的热膨胀系数在所述支撑件(40)的热膨胀系数和外部流体源的热膨胀系数之间。
3.如权利要求1所述的压力传感器组件(30)，其中，所述传感器本体(32)由硅形成，且所述基板由陶瓷材料形成。
4.如权利要求1所述的压力传感器组件(30)，其中，所述基板(46)包括多个陶瓷元件(75)、(78)、(96)和(82)，它们结合在一起以形成所述压力缓解特征。
5.如权利要求1所述的压力传感器组件(30)，其中，所述压力缓解特征包括基板通道(52)或支撑件通道(44)增大体积部分中的一个。
6.如权利要求1所述的压力传感器组件(30)，其中，所述压力缓解特征包括设置在所述支撑件通道(44)和所述基板通道(52)中的一个内的可移动构件。
7.如权利要求1所述的压力传感器组件(30)，其中，所述压力缓解特征包括设置在所述支撑件通道(44)和所述基板通道(52)中的一个内的多孔构件(162)。
8.如权利要求1所述的压力传感器组件(30)，其中，所述压力缓解特征包括所述支撑件通道(44)和所述基板通道(52)中的一个在移动通过相应的支撑件(40)或基板(46)时的方向的两个或更多个变化。
9.一种压力传感器组件(30)，包括：
传感器本体(32)，包括感测膜(36)和在所述本体中邻近所述膜(36)的开放腔(34)，用于使来自外部源的流体能够接触所述膜以确定所述流体的压力；
基板(46)，与所述本体(3...
【专利技术属性】
技术研发人员：M法伊弗，P德尔杰卡，JF莱尼尔，DE瓦格纳，S穆亚齐兹，
申请(专利权)人：泰科电子连接解决方案有限责任公司，测量专业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：瑞士;CH
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