【技术实现步骤摘要】
具有保护性压力特征的压力传感器组件
本文所公开的压力传感器组件涉及包括传感器膜或膜片的压力传感器，该传感器膜或膜片与被监测的来自外部源的气体或流体连通，更具体地，涉及压力传感器，其改进的防护等级，以防止由诸如高压尖峰等的瞬时流体压力事件引起的损坏。
技术介绍
压力传感器组件或压力传感器的使用在本领域中是已知的，用于测量或监测来自与压力传感器处于流体流动连接的外部源的流体的压力。常规的压力传感器组件包括膜片或膜，其放置为与流体接触，且其配置为具有薄壁构造，用于当流体压力施加在其上时将流体中的压力转换为膜片中的应力或位移。通常，这样的压力传感器具有用于从外部源接收流体的端口或开口，其中流体在压力传感器内传输到膜片或膜，且其中一个或多个检测元件可以与膜片连接，以测量或获取关于膜片运动的数据/接收关于膜片运动的信号，从而确定流体压力。这种常规压力传感器的问题在于，被测量的流体可能来自能够产生高压力的瞬态事件(例如，压力尖峰)的外部源，当将其输送到压力膜片或膜时，其可能超出设计压力且从而导致损坏压力膜片或膜，即，可能导致膜片或...
【技术保护点】
1.一种压力传感器组件(30)，包括：/n传感器本体(32)，包括设置在所述本体内的感测膜(46)，用于放置与所述膜连通的流体，以用于确定所述流体的压力；以及/n支撑件(34)，与所述本体(32)连接且包括开口(47)，用于从外部源接收所述流体，其中所述开口与所述膜(46)流体流动连通；/n其中所述本体(32)或所述支撑件(34)中的一个包括通道(52)，用于从所述开口接收所述流体并将其传输至所述膜(46)，且其中所述通道(52)配置为具有方向变化和不同尺寸的部分中的一者或两者，以缓解到所述感测膜(46)的压力尖峰的输送。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
20190606 US 16/434,1241.一种压力传感器组件(30)，包括：
传感器本体(32)，包括设置在所述本体内的感测膜(46)，用于放置与所述膜连通的流体，以用于确定所述流体的压力；以及
支撑件(34)，与所述本体(32)连接且包括开口(47)，用于从外部源接收所述流体，其中所述开口与所述膜(46)流体流动连通；
其中所述本体(32)或所述支撑件(34)中的一个包括通道(52)，用于从所述开口接收所述流体并将其传输至所述膜(46)，且其中所述通道(52)配置为具有方向变化和不同尺寸的部分中的一者或两者，以缓解到所述感测膜(46)的压力尖峰的输送。
2.如权利要求1所述的压力传感器组件(30)，其中，所述通道(52)的至少一部分相对于所述支撑件开口(47)和所述感测膜(46)中的一个在大致横向的方向上延伸。
3.如权利要求1所述的压力传感器组件(30)，其中，所述通道(52)包括插设在所述支撑件开口(47)和所述膜(46)之间的两个或更多个不同尺寸的部分(55)。
4.如权利要求1所述的压力传感器组件(30)，其中，所述通道(52)具有分别从约45度到150度的一系列的两个或更多个方向上的变化。
5.如权利要求1所述的压力传感器组件(30)，其中，所述通道(52)包括至少两个方向上的变化且包括一个或多个不同尺寸的部分。
6.如权利要求1所述的压力传感器组件(30)，其为MEMS传感器的形式，其中，所述传感器本体(32)由硅制成且包括内室(44)，其中所述感测膜(46)设置在所述室(44)的一端，且其中所述支撑件(34)由选自由硅和玻璃构成的组的材料制成。
7.一种MEMS压力传感器(30)，包括：
传感器本体(32)，其由硅制成，且包括设置在其中的内室(44)和在室的一端的膜(46)，其中所述本体具有与所述膜相对的接口表面(36)；
与所述膜连接的电感测元件，用于确定进入所述本体并接触所述膜的流体的压力；
支撑件(34)，附接到所述本体的接口表面(36)且在其中具有开口(47)，所述开口用于接收待传输到所述本体(32)的流体；以及
压力缓解元件(52)，设置在所述开口(47)和所述膜(46)之间且与所述传感器(30)一体，所述压力缓解元件包括通道，所述通道在所述传感器内具有方向上的一个或多个变化。
技术研发人员：M法伊弗，P德尔杰卡，JF莱尼尔，DE瓦格纳，S穆亚齐兹，
申请(专利权)人：泰科电子连接解决方案有限责任公司，测量专业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：瑞士;CH
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