加热装置制造方法及图纸

一种加热装置，其包括内壳体、外壳体以及位于所述内壳体与所述外壳体之间的保温层，所述内壳体设有用以容纳水的内部空间；所述加热装置包括与所述内部空间相连通的入水口以及出水口；所述加热装置还包括位于所述内部空间内且间隔布置的若干加热组件，其中每一个加热组件包括支撑杆以及固定在所述支撑杆上的加热元件。本实用新型专利技术通过设置间隔布置的若干加热组件，能够对不同区域的水同时进行加热，提高了加热的效率。

【技术实现步骤摘要】
加热装置
本技术涉及一种加热装置，尤其涉及一种即热式超纯水加热装置，能够应用于半导体

技术介绍
一般而言，半导体湿法工艺中的晶圆需要清洗，且不同的工艺需要在不同温度的去离子水下进行，以达到需要的清洗及反应条件。清洗的主要目的在于提高去除化学品残留及颗粒物的能力。此外，如何降低超纯水的使用量同时减少危化品的排放，减少细菌污染，提高良率，减少热冲击，提高产能等也是所属
的技术人员面临的技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种加热效率较高的加热装置。为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：一种加热装置，其包括内壳体、外壳体以及位于所述内壳体与所述外壳体之间的保温层，所述内壳体设有用以容纳水的内部空间；所述加热装置包括与所述内部空间相连通的入水口以及出水口；所述加热装置还包括位于所述内部空间内且间隔布置的若干加热组件，其中每一个加热组件包括支撑杆以及固定在所述支撑杆上的加热元件。作为本技术进一步改进的技术方案，所述内壳体设有顶壁与底壁，所述内部空间位于所述顶壁与所述底壁之间；所述加热装置包括位于所述内部空间的底部的第一隔板，所述第一隔板高于所述底壁；所述内部空间包括位于所述第一隔板与所述底壁之间且与所述入水口相连通的入口腔体以及位于所述第一隔板的上方的加热腔体；所述第一隔板设有连通所述入口腔体与所述加热腔体的若干第一分流孔。作为本技术进一步改进的技术方案，所述加热装置包括位于所述内部空间的顶部的第二隔板，所述第二隔板低于所述顶壁；所述内部空间包括位于所述第二隔板与所述顶壁之间且与所述出水口相连通的出口腔体，所述加热腔体位于所述第二隔板的下方；所述第二隔板设有连通所述加热腔体与所述出口腔体的若干第二分流孔。作为本技术进一步改进的技术方案，所述加热装置包括位于所述内部空间的轴线上的入水管，所述入水管设有入水通道，所述入水通道的顶部与所述入水口相连通，所述入水通道的底部与所述入口腔体相连通，所述入水管设有与所述入口腔体相连通的若干第一壁孔。作为本技术进一步改进的技术方案，所述入水管的底面焊接固定在所述底壁上，所述入水管的顶部贯穿所述出口腔体。作为本技术进一步改进的技术方案，所述支撑杆的底面焊接固定在所述底壁上，所述支撑杆的顶面焊接固定在所述第二隔板上。作为本技术进一步改进的技术方案，所述加热装置设有入水接头、出水接头、泄压阀以及电极引出接头，所述入水接头、所述出水接头、所述泄压阀以及所述电极引出接头均安装在所述加热装置的顶部，其中所述入水口设置在所述入水接头上，所述出水口设置在所述出水接头上，所述泄压阀与所述出口腔体相连通，所述电极引出接头与所述加热元件相连接。作为本技术进一步改进的技术方案，所述内部空间呈圆柱状，所述支撑杆沿所述内部空间的至少一个圆周均匀分布。作为本技术进一步改进的技术方案，所述支撑杆呈中空状，其包括上下贯穿的中间通道以及将所述中间通道与所述内部空间相连通的若干第二壁孔；所述加热元件为缠绕在相应的所述支撑杆上的加热丝，所述加热丝设有用以连接电源的加热引线。作为本技术进一步改进的技术方案，所述外壳体由金属材料制成；所述加热装置还包括位于所述内部空间内且与所述加热元件相连的热电偶，所述热电偶用以调节所述加热元件的温度。相较于现有技术，本技术通过设置间隔布置的若干加热组件，能够对不同区域的水同时进行加热，提高了加热的效率。附图说明图1是本技术加热装置的立体示意图。图2是图1的右视图。图3是沿图1中A-A线的剖面示意图。图4是图1的俯视图。图5是沿图2中B-B线的剖面示意图。图6是图5中画图部分C的局部放大图。具体实施方式下面将结合附图详细地对本技术示例性具体实施方式进行说明。如果存在若干具体实施方式，在不冲突的情况下，这些实施方式中的特征可以相互组合。当描述涉及附图时，除非另有说明，不同附图中相同的数字表示相同或相似的要素。以下示例性具体实施方式中所描述的内容并不代表与本技术相一致的所有实施方式；相反，它们仅是与本技术的权利要求书中所记载的、与本技术的一些方面相一致的装置、产品和/或方法的例子。在本技术中使用的术语是仅仅出于描述具体实施方式的目的，而非旨在限制本技术的保护范围。在本技术的说明书和权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”或“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。应当理解，本技术的说明书以及权利要求书中所使用的，例如“第一”、“第二”以及类似的词语，并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分特征的命名。同样，“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。除非另行指出，本技术中出现的“上”、“下”等类似词语只是为了便于说明，而并非限于某一特定位置或者一种空间定向。“包括”或者“包含”等类似词语是一种开放式的表述方式，意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面的元件及其等同物，这并不排除出现在“包括”或者“包含”前面的元件还可以包含其他元件。本技术中如果出现“若干”，其含义是指两个以及两个以上。请参照图1至图6所示，本技术揭示了一种加热装置100，其能够应用于半导体
，用以对晶圆进行清洗。在本技术的一种实施方式中，所述加热装置100为一种即热式超纯水加热装置；当然，本技术中所使用的术语“即热式”旨在表明本技术的加热装置100能够高效地对水进行加热，实现冷水进、热水出的功能，即冷水能够在很短的时间内被加热成热水。本技术中所提及的水为“超纯水”，其含义是指几乎去除氧和氢以外所有原子的水。超纯水(UPW)因其纯度较高，因而具有一定的“腐蚀性”，各种离子、分子、有机物分子在水中有一定的溶解度。为了避免对超纯水产生污染，超纯水的储存与运输多以氟塑料(例如PFA、PVDF、PTFE等)或石英材质为主。请参照图1至图3所示，在本技术图示的实施方式中，所述加热装置100包括壳体10、固定在所述壳体10上的支架20、位于所述壳体10内的若干加热组件30以及安装在所述壳体10上的入水接头40、出水接头50、泄压阀60与电极引出接头70。请参照图3所示，在本技术图示的实施方式中，所述壳体10大致呈圆柱形，其包括内壳体1、外壳体2以及位于所述内壳体1与所述外壳体2之间的保温层3。所述内壳体1是由氟塑料(例如PFA、PVDF、PTFE中的至少一种)或石英制成，以免污染超纯水。从结构上看，所述内壳体1设有顶壁11、底壁12、与所述顶壁11与所述底壁12均相连的筒体13、以及位于所述顶壁与所述底壁之间且用以容纳水的内部空间14。在本技术图示的实施方式中，所述内部空间14是由所述顶壁11、所述底壁12以及所述筒体13共同围成，所述内部空间14呈圆柱状。所述顶壁11、所述底壁12以及所述筒体13可以是本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加热装置(100)，其包括内壳体(1)、外壳体(2)以及位于所述内壳体(1)与所述外壳体(2)之间的保温层(3)，所述内壳体(1)设有用以容纳水的内部空间(14)；所述加热装置(100)包括与所述内部空间(14)相连通的入水口(401)以及出水口(501)；其特征在于：所述加热装置(100)还包括位于所述内部空间(14)内且间隔布置的若干加热组件(30)，其中每一个加热组件(30)包括支撑杆(301)以及固定在所述支撑杆(301)上的加热元件(302)。/n

【技术特征摘要】
1.一种加热装置(100)，其包括内壳体(1)、外壳体(2)以及位于所述内壳体(1)与所述外壳体(2)之间的保温层(3)，所述内壳体(1)设有用以容纳水的内部空间(14)；所述加热装置(100)包括与所述内部空间(14)相连通的入水口(401)以及出水口(501)；其特征在于：所述加热装置(100)还包括位于所述内部空间(14)内且间隔布置的若干加热组件(30)，其中每一个加热组件(30)包括支撑杆(301)以及固定在所述支撑杆(301)上的加热元件(302)。


2.如权利要求1所述的加热装置(100)，其特征在于：所述内壳体(1)设有顶壁(11)与底壁(12)，所述内部空间(14)位于所述顶壁(11)与所述底壁(12)之间；所述加热装置(100)包括位于所述内部空间(14)的底部的第一隔板(15)，所述第一隔板(15)高于所述底壁(12)；所述内部空间(14)包括位于所述第一隔板(15)与所述底壁(12)之间且与所述入水口(401)相连通的入口腔体(141)以及位于所述第一隔板(15)的上方的加热腔体(143)；所述第一隔板(15)设有连通所述入口腔体(141)与所述加热腔体(143)的若干第一分流孔(151)。


3.如权利要求2所述的加热装置(100)，其特征在于：所述加热装置(100)包括位于所述内部空间(14)的顶部的第二隔板(16)，所述第二隔板(16)低于所述顶壁(11)；所述内部空间(14)包括位于所述第二隔板(16)与所述顶壁(11)之间且与所述出水口(501)相连通的出口腔体(142)，所述加热腔体(143)位于所述第二隔板(16)的下方；所述第二隔板(16)设有连通所述加热腔体(143)与所述出口腔体(142)的若干第二分流孔(161)。


4.如权利要求3所述的加热装置(100)，其特征在于：所述加热装置(100)包括位于所述内部空间(14)的轴线上的入水管(17)，所述入水管(17)设有入水通道(171)，所述入水通道(171)的顶部与所述入水口(401)相连通，所述入水通道(171)的底部与所述入口...

【专利技术属性】
技术研发人员：王新征，黎微明，李翔，许所昌，李勇，左敏，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32