【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及通过衍射对入射光束进行空间和时间调制的机电器件的设计。更具体地说，本专利技术描述一种机电适形光栅器件，它具有改善的光学效率和衬度的支承结构。
技术介绍
设计各异的机电空间光调制器已用于显示、光学处理、印刷、光学数据存储和光谱学等诸多领域。这些调制器利用系列可单独寻址的器件使入射光束的相位和/或幅度产生空间变化。一类机电空间光调制器具有带有周期序列的反射元件的器件，它们形成机电相位光栅。在这些器件中，入射光束被有选择性地反射或衍射成一些离散的序列。光学系统可以根据不同的用途收集和使用一种或几种这类衍射序列。机电相位光栅可以在金属化弹性体凝胶中形成，这可参见1986年12月2日颁发给Glenn的美国专利4,626,920和1989年8月15日颁发给Goldburt等人的美国专利4,857,978。位于弹性体下面的电极被做成一定图形，这样施加电压后会使弹性体变形，形成一个近似正弦形的相位光栅。这类器件已被成功地用于彩色投影显示装置中。在1994年5月10日颁发给Bloom等人的美国专利5,311,360中，描述了一种用悬挂式微机械带状元件制成的机电相位光...
【技术保护点】
一个周期为Λ的机电适形光栅器件，包括： （ａ）一个细长带状元件，它包括一个光反射表面； （ｂ）一对端支座，它用来将细长带状元件在两端支承在衬底上方； （ｃ）一个中间支座； （ｄ）将一个力施加于细长带状元件以使它在第一和第二工作状态之间变形的装置，其中在第二工作状态下，细长带状元件机械上与中间支座的形状相适应，形成一个光栅，光栅的衍射周期为Λ并具有交替凸起和下陷的部分； （ｅ）衍射光栅周期Λ由中间支座的位置确定； （ｆ）凸起部分和下陷部分的长度大致相等。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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