衍射光学元件制造技术

一种衍射光学元件，包括：　　　　第一衍射元件，　　　　第二衍射元件，由不同于第一衍射元件的材料制成并与第一衍射元件粘结在一起，和　　　　形成在该粘结表面上的一衍射光栅，　　　　其中，一遮光罩形成在该衍射光栅每个槽的壁表面上。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于对入射光产生衍射光通量的衍射光学元件，特别是涉及一种能够用于宽带波长的衍射光学元件。
技术介绍
衍射光学元件是一种具有狭缝或槽的格栅结构的光学元件，其狭缝或槽均匀地间隔开且在每个很小的距离(约1mm)中为数百行，其特点是当光入射到其上时，它在由该光波长和狭缝或槽的间隔(间距)确定的方向产生衍射光通量。像这样的衍射光学元件应用在各种光学系统中，例如，用作透镜的光学元件，用来将特定量级的衍射光会聚于已知的点。在像这样的衍射光学元件中，称之为多层式的衍射光学元件已经被提出。这种类型的衍射光学元件具有层压多个衍射元件的结构，层压的衍射元件具有相互紧贴的锯齿形表面。其特点是在所要求的宽波长范围(例如，从g线(435.8nm)到c线(656.3nm)的整个可见光范围)的几乎在整个范围内具有高衍射效率，换句话说，具有很好的光谱特性。通常，多层式衍射光学元件的结构具有层压的多层式衍射光学元件，层压的多层式衍射光学元件由在同一个衍射光栅100的与树脂材料70粘合的玻璃材料60构造成，如图3A所示；以及分离的多层式衍射光学元件，分离的多层式衍射光学元件由具有第一衍射光栅110的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：常世田义文，铃木宪三郎，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：