下载衍射光学元件的技术资料

文档序号:2677417

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种衍射光学元件,包括:    第一衍射元件,    第二衍射元件,由不同于第一衍射元件的材料制成并与第一衍射元件粘结在一起,和    形成在该粘结表面上的一衍射光栅,    其中,一遮光罩形成在该衍射光栅每个槽的壁表面上。...
该专利属于株式会社尼康所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社尼康授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。