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衍射光学元件制造技术
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文档序号:2677417
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一种衍射光学元件,包括: 第一衍射元件, 第二衍射元件,由不同于第一衍射元件的材料制成并与第一衍射元件粘结在一起,和 形成在该粘结表面上的一衍射光栅, 其中,一遮光罩形成在该衍射光栅每个槽的壁表面上。...
该专利属于株式会社尼康所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社尼康授权不得商用。
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