压电换能器以及流体喷射装置制造方法及图纸

本公开的实施例涉及压电换能器以及流体喷射装置。压电换能器包括半导体本体，该半导体本体具有导电材料的底部电极。压电元件在底部电极上。底部电极和压电元件上的第一保护层具有第一开口以及第二开口，压电元件的一部分通过第一开口暴露，并且底部电极的一部分通过第二开口暴露。在第一保护层上以及在第一和第二开口内的导电层被图案化以形成：在第一开口处与压电元件电接触的顶部电极、与顶部电极电接触的第一偏置条带、以及在第二开口处与底部电极电接触的第二偏置条带。通过所公开的实施例，可以有利地避免对顶部电极的完整性的破坏，而且可以避免压电元件经受不期望的热预算。

【技术实现步骤摘要】
压电换能器以及流体喷射装置
本公开涉及压电换能器。
技术介绍
已知例如由PZT(Pb、Zr、TiO3)材料来制造基于压电的换能器或致动器。压电换能器随后可用于各种
(例如，用于喷墨打印、自动对焦系统、扬声器等)。通常，压电换能器包括堆叠，在堆叠中，压电元件被夹在底部电极和顶部电极之间。顶部电极和底部电极的适当偏置可以根据应用需要来致动PZT元件。顶部电极通常直接溅射在压电元件之上，然后两个层被蚀刻(例如，使用相同的光致抗蚀剂掩模)。替代地，利用专用蚀刻步骤来将底部电极图案化。整个堆叠然后被钝化，形成穿过钝化层的过孔来形成用于偏置的电接触，并且借助进一步的金属沉积和蚀刻来形成金属条带/焊盘。因此，在标准工艺流程中，顶部电极经历可能影响其完整性和可靠性的若干工艺步骤。同时，压电元件还经历可能根据偏置电压而改变其性质和压电物理响应从而导致压电元件过早老化的工艺步骤。图1A-图1D以侧视截面图图示了用于制造堆叠式压电换能器或致动器的工艺流程。参考图1A，提供了晶片1，晶片1包括由诸如硅的半导体材料制成的衬底本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压电换能器，其特征在于，包括：/n导电材料的底部电极，所述底部电极在半导体本体上；/n压电元件，所述压电元件位于所述底部电极上并与所述底部电极直接电接触；/n第一保护层，所述第一保护层在所述底部电极上和所述压电元件上延伸，其中所述第一保护层包括第一开口和第二开口，所述第一开口到达所述压电元件的一部分，所述第二开口到达所述底部电极的一部分；/n顶部电极，所述顶部电极通过所述第一开口与所述压电元件直接电接触；/n第一偏置条带，所述第一偏置条带在所述第一保护层上并与所述顶部电极直接电接触；以及/n第二偏置条带，所述第二偏置条带在所述第一保护层上并通过所述第二开口与所述底部电极直接电接触。/n

【技术特征摘要】
20190524 IT 1020190000072131.一种压电换能器，其特征在于，包括：
导电材料的底部电极，所述底部电极在半导体本体上；
压电元件，所述压电元件位于所述底部电极上并与所述底部电极直接电接触；
第一保护层，所述第一保护层在所述底部电极上和所述压电元件上延伸，其中所述第一保护层包括第一开口和第二开口，所述第一开口到达所述压电元件的一部分，所述第二开口到达所述底部电极的一部分；
顶部电极，所述顶部电极通过所述第一开口与所述压电元件直接电接触；
第一偏置条带，所述第一偏置条带在所述第一保护层上并与所述顶部电极直接电接触；以及
第二偏置条带，所述第二偏置条带在所述第一保护层上并通过所述第二开口与所述底部电极直接电接触。


2.根据权利要求1所述的压电换能器，其特征在于，还包括第二保护层，所述第二保护层在所述顶部电极、所述第一偏置条带和所述第二偏置条带上延伸并与所述顶部电极、所述第一偏置条带和所述第二偏置条带直接接触，
其中所述第二保护层具有在所述第一偏置条带处的第一过孔以及在所述第二偏置条带处的第二过孔，从而分别暴露所述第一偏置条带和所述第二偏置条带的表面部分。


3.根据权利要求1所述的压电换能器，其特征在于，所述第一保护层包括多个堆叠的钝化层。


4.根据权利要求3所述的压电换能器，其特征在于，所述多个堆叠的钝化层由氧化铝层和二氧化硅层构成。


5.根据权利要求1所述的压电换能器，其特征在于，所述压电元件具有PZT材料。


6.一种流体喷射装置，其特征在于，包括：
本...

【专利技术属性】
技术研发人员：D·阿斯萨内利，I·马蒂尼，L·文奇盖拉，C·M·拉扎里，P·费拉里尼，
申请(专利权)人：意法半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：意大利;IT