下载压电换能器以及流体喷射装置的技术资料

文档序号:26767114

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本公开的实施例涉及压电换能器以及流体喷射装置。压电换能器包括半导体本体,该半导体本体具有导电材料的底部电极。压电元件在底部电极上。底部电极和压电元件上的第一保护层具有第一开口以及第二开口,压电元件的一部分通过第一开口暴露,并且底部电极的一部...
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