一种真空气流控制系统技术方案

本实用新型专利技术公开一种真空气流控制系统，其连接于分析仪器的真空室外，包括：气体流速控制装置以及空气过滤系统；当抽真空时，气体由真空室经由四通至气体流速控制装置后由所述真空泵抽出；当泄压时，气体由所述空气过滤系统经由四通到达所述真空室。本申请在保持分析仪器现有结构的优点下直接外接于真空室，降低进入和流出真空室内的气体的流速，并且保证真空室内的真空度和洁净度，从而起到保护真空室内电器元件的作用。

【技术实现步骤摘要】
一种真空气流控制系统
本技术涉及分析仪器领域，更具体地说，是一种应用于分析仪器的真空室上的真空气流控制系统。
技术介绍
在分析仪器行业，尤其是能谱仪，需要在真空环境下进行样品检测。目前常见的方式为直接将真空泵和真空室相连。真空室内部安装有电气元件及薄膜等，在抽真空时气体流速增大，会将真空室内的颗粒带起，颗粒会撞击电气元件和薄膜的表面，从而将其破坏。同时在泄压时直接通过管道将大气引入真空室，此时空气中的粉尘等杂质会进入真空室内，跟随气流运动，有可能会撞击电气元件及薄膜的表面。以上所述两个现象，在目前的分析仪器中为普遍存在的现象，严重影响了仪器的使用寿命，同时给修护带来了不便。
技术实现思路
本申请提出一种真空气流控制系统，其目的在于解决现有分析仪器真空室内因抽/泄真空时导致气流增大以及颗粒增多而损坏仪器的问题。为解决上述技术问题，本申请采用下述技术手段：一种真空气流控制系统，其连接于分析仪器的真空室，包括：气体流速控制装置，其包括：第一三通，该第一三通的一端口连接真空泵，另外两个端口分别通过管路连接一第一针型阀以及一电磁阀，所述电磁阀控制所述第一三通的开口；第二三通，其一端口连接所述电池阀，其另一端口连接所述第一针型阀，且所述第二三通的第三端口连接一四通；所述电磁阀通过一时间控制装置连接并控制；空气过滤系统，其包括过滤器、第二针型阀及管道阀门，其中：所述第二针型阀与所述过滤器相连后通过管路连接所述四通，在所述管路上依次设有转接头以及所述管道阀门；所述四通的一端口连接所述真空室；当抽真空时，气体由真空室经由四通至气体流速控制装置后由所述真空泵抽出；当泄压时，气体由所述空气过滤系统经由四通到达所述真空室。较佳的是，所述四通上设有一真空压力表。较佳的是，所述管道阀门为不少于一个的电磁阀门。较佳的是，所述气体流速控制装置设于一固定的密封装置内。较佳的是，所述密封装置更包括一电源或电源转接器。较佳的是，所述真空泵和所述空气过滤系统与所述电源或所述电源转接器电线连接。较佳的是，所述第一三通和所述第二三通分别通过一伸出所述密封装置的法兰与所述真空泵和所述四通对接。由于采用上述技术方案，本申请在保持分析仪器现有结构的优点下直接外接于真空室，降低进入和流出真空室内的气体的流速，并且保证真空室内的真空度和洁净度，从而起到保护真空室内电器元件的作用。附图说明图1为本申请的原理示意图；图2为本申请的密封装置内的剖面示意图。具体实施方式下面通过实施例，并结合附图，对本技术的技术方案作进一步具体的说明。本申请的真空气流控制系统直接以一四通通过法兰连接于分析仪器的真空室上，保留了原有结构的优势，并不需要做太大的变动。参见图1所示，为本申请的原理示意图。本申请主要包括两个部分：气体流速控制装置A以及空气过滤系统B。气体流速控制装置A主要用于抽真空时对气体流速进行控制，减缓流速。而空气过滤系统B主要用于泄压时进行空气的过滤以及泄压流速的控制。具体结构请结合图1和图2所示。气体流速控制装置A包括第一三通1、第二三通2、电磁阀3、针型阀4、时间控制装置5等结构。本申请的气体流速控制装置A固定于一密封装置6内，该密封装置6可以但是不限定是配电箱。如图2所示，所述密封装置6中设有一安装板7，各部件固定于安装板7上。第一三通1和第二三通2固定于所述密封装置6中且位于所述密封装置6靠近边缘处。第一三通1和第二三通2之间通过两条管路连接。第一条管路上设有一所述电磁阀3，通过电池阀3来控制第二三通流入到第一三通1内的通气口径，由此形成高流速通气管路；第二条管路上设有一所述针型阀4，该针型阀4相对通气口径较小，由此形成低流速通气管路。第一三通1通过一伸出密封装置6的第一法兰9连接真空泵10，而第二三通2通过伸出密封装置6的第二法兰11连接一四通12，通过该四通12连接分析仪器的真空室13。在密封装置6中固定有一时间控制装置5，该时间控制装置5不限定是延时继电器等。该时间控制装置5电性连接并控制所述电磁阀3。当需要低流速的气体时，时间控制装置5关闭电池阀3(针型阀4为手动调节阀门，一直处于开启状态)，气体由低流速通气管路中低速通过；当需要高流速的气体时，时间控制装置开启电磁阀3，电磁阀3的通气口径比针型阀4大，但是比直接管路的通气口径小，气体由高流速通气管路中高速通过。一般情况下，采用低流速通气管路来配合真空泵10抽气，低流速会降低粉尘颗粒运动速度，对真空室内的电元器件起到保护作用。当有特殊需求时，可以通过高流速通气管路通过。如此设计既能够保证正常使用情况降低气体流速，又不会影响特殊情况下的特殊需求。如图1和2所示，在密封装置5中还配备了电源转接器8(可以是电源插座)，电源转接器8用于外接电源，为整个系统提供电源。在密封装置5上设有电源的输出端51和输入端52，如图2所示，通过电线、插头连接到真空泵10以及空气过滤系统B供电。请再参见图1所示，空气过滤系统B包括了过滤器14、第二针型阀15以及管道阀门16等。所述第二针型阀15与所述过滤器14相连后通过管路连接所述四通12，在所述管路上依次设有转接头17以及所述管道阀门16。为保证气密性，本申请的管道阀门16可以是两个电磁阀161和162，所述两个电磁阀均由所述密封装置6中的时间控制装置5控制。而所述四通12的一端口连接所述真空室13，并在所述四通12上设置一真空压力表。由于所述空气过滤系统B的增加可以有效的过滤到泄压时进入真空室13内的气体的纯净度，同时，通过针型阀15(一直开启状态，且在使用前就已经调节好通气口)的增加减缓了气体的流速，使得进入真空室13内的气体洁净又缓速。整个系统的气体流向为：当抽真空时，气体由真空室13经由四通12至气体流速控制装置A后由所述真空泵10抽出；当泄压时，气体由所述空气过滤系统B经由四通12到达所述真空室13。增加了本申请的系统后，在基本上维持现有真空室结构优势的基础上课有效的减小真空室内气体流速并可以保证真空室内的真空度、洁净度，并且抽真空、放真空的时间以及真空室内气体流速可以进行控制。以上所述的实施方式仅用于说明本技术而不用于限制本技术的范围。本领域技术人员对本技术所做的均等变化与修饰，皆应属于本技术所附的权利要求书的涵盖范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空气流控制系统，其连接于分析仪器的真空室，其特征在于，包括：/n气体流速控制装置，其包括：/n第一三通，该第一三通的一端口连接真空泵，另外两个端口分别通过管路连接一第一针型阀以及一电磁阀，所述电磁阀控制所述第一三通的开口；/n第二三通，其一端口连接所述电磁阀，其另一端口连接所述第一针型阀，且所述第二三通的第三端口连接一四通；/n所述电磁阀通过一时间控制装置连接并控制；/n空气过滤系统，其包括过滤器、第二针型阀及管道阀门，其中：所述第二针型阀与所述过滤器相连后通过管路连接所述四通，在所述管路上依次设有转接头以及所述管道阀门；/n所述四通的一端口连接所述真空室；/n当抽真空时，气体由真空室经由四通至气体流速控制装置后由所述真空泵抽出；当泄压时，气体由所述空气过滤系统经由四通到达所述真空室。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空气流控制系统，其连接于分析仪器的真空室，其特征在于，包括：
气体流速控制装置，其包括：
第一三通，该第一三通的一端口连接真空泵，另外两个端口分别通过管路连接一第一针型阀以及一电磁阀，所述电磁阀控制所述第一三通的开口；
第二三通，其一端口连接所述电磁阀，其另一端口连接所述第一针型阀，且所述第二三通的第三端口连接一四通；
所述电磁阀通过一时间控制装置连接并控制；
空气过滤系统，其包括过滤器、第二针型阀及管道阀门，其中：所述第二针型阀与所述过滤器相连后通过管路连接所述四通，在所述管路上依次设有转接头以及所述管道阀门；
所述四通的一端口连接所述真空室；
当抽真空时，气体由真空室经由四通至气体流速控制装置后由所述真空泵抽出；当泄压时，气体由所述空气过滤系统经由四通到达所述真空室。

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【专利技术属性】
技术研发人员：乔文韬，郑华，
申请(专利权)人：上海精谱科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31