一种真空气流控制系统技术方案

本实用新型专利技术公开一种真空气流控制系统，其连接于分析仪器的真空室外，包括：气体流速控制装置以及空气过滤系统；当抽真空时，气体由真空室经由四通至气体流速控制装置后由所述真空泵抽出；当泄压时，气体由所述空气过滤系统经由四通到达所述真空室。本申请在保持分析仪器现有结构的优点下直接外接于真空室，降低进入和流出真空室内的气体的流速，并且保证真空室内的真空度和洁净度，从而起到保护真空室内电器元件的作用。

【技术实现步骤摘要】
一种真空气流控制系统
本技术涉及分析仪器领域，更具体地说，是一种应用于分析仪器的真空室上的真空气流控制系统。
技术介绍
在分析仪器行业，尤其是能谱仪，需要在真空环境下进行样品检测。目前常见的方式为直接将真空泵和真空室相连。真空室内部安装有电气元件及薄膜等，在抽真空时气体流速增大，会将真空室内的颗粒带起，颗粒会撞击电气元件和薄膜的表面，从而将其破坏。同时在泄压时直接通过管道将大气引入真空室，此时空气中的粉尘等杂质会进入真空室内，跟随气流运动，有可能会撞击电气元件及薄膜的表面。以上所述两个现象，在目前的分析仪器中为普遍存在的现象，严重影响了仪器的使用寿命，同时给修护带来了不便。
技术实现思路
本申请提出一种真空气流控制系统，其目的在于解决现有分析仪器真空室内因抽/泄真空时导致气流增大以及颗粒增多而损坏仪器的问题。为解决上述技术问题，本申请采用下述技术手段：一种真空气流控制系统，其连接于分析仪器的真空室，包括：气体流速控制装置，其包括：第一三通，该第一三通的一端口连接真空泵，另外两个端口分别通过管路连接一第一针本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空气流控制系统，其连接于分析仪器的真空室，其特征在于，包括：/n气体流速控制装置，其包括：/n第一三通，该第一三通的一端口连接真空泵，另外两个端口分别通过管路连接一第一针型阀以及一电磁阀，所述电磁阀控制所述第一三通的开口；/n第二三通，其一端口连接所述电磁阀，其另一端口连接所述第一针型阀，且所述第二三通的第三端口连接一四通；/n所述电磁阀通过一时间控制装置连接并控制；/n空气过滤系统，其包括过滤器、第二针型阀及管道阀门，其中：所述第二针型阀与所述过滤器相连后通过管路连接所述四通，在所述管路上依次设有转接头以及所述管道阀门；/n所述四通的一端口连接所述真空室；/n当抽真空时，气体由真空...

【技术特征摘要】
1.一种真空气流控制系统，其连接于分析仪器的真空室，其特征在于，包括：
气体流速控制装置，其包括：
第一三通，该第一三通的一端口连接真空泵，另外两个端口分别通过管路连接一第一针型阀以及一电磁阀，所述电磁阀控制所述第一三通的开口；
第二三通，其一端口连接所述电磁阀，其另一端口连接所述第一针型阀，且所述第二三通的第三端口连接一四通；
所述电磁阀通过一时间控制装置连接并控制；
空气过滤系统，其包括过滤器、第二针型阀及管道阀门，其中：所述第二针型阀与所述过滤器相连后通过管路连接所述四通，在所述管路上依次设有转接头以及所述管道阀门；
所述四通的一端口连接所述真空室；
当抽真空时，气体由真空室经由四通至气体流速控制装置后由所述真空泵抽出；当泄压时，气体由所述空气过滤系统经由四通到达所述真空室。

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【专利技术属性】
技术研发人员：乔文韬，郑华，
申请(专利权)人：上海精谱科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31