下载一种真空气流控制系统的技术资料

文档序号:26765231

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本实用新型公开一种真空气流控制系统,其连接于分析仪器的真空室外,包括:气体流速控制装置以及空气过滤系统;当抽真空时,气体由真空室经由四通至气体流速控制装置后由所述真空泵抽出;当泄压时,气体由所述空气过滤系统经由四通到达所述真空室。本申请在保...
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