微型透镜及其制造方法、光学装置、光传送装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够任意控制形状、提高聚光功能等光学特性的微型透镜制造方法及微型透镜，以及具有该微型透镜的光学装置、光传送装置、激光打印机用打印头及激光打印机。所述微型透镜的制造方法包括如下工序，即，在基体（３）上面形成基座构件（４ｂ），在基座构件（４ｂ）上面形成微型透镜（８ａ）；疏液处理基座构件（４ｂ）的上面；通过利用液滴喷出法多点喷出透镜材料（７），形成微型透镜（８ａ）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种微型透镜制造方法和利用该方法得到的微型透镜及具有该微型透镜的光学装置、光传送装置、激光打印机用打印头、激光打印机。
技术介绍
近年来，开始提供具有多个称之为微型透镜的微小透镜的光电装置。作为如此的光学装置，例如有具有激光器的光学装置、或光纤的光互连器以及具有聚集入射光的聚光镜的固体摄像元件等。可是，构成如此光学装置的微型透镜，以往，采用金属模成形法或光蚀刻法形成(例如，参照特开2000-35504号公报)。此外，近年来，提出了采用用于打印机等的液滴喷出法，形成微细图形即微型透镜的提案(例如，参照特开2000-280367号公报)。但是，如果采用金属模成形法或光蚀刻法形成微型透镜，由于需要金属模或复杂的制造工序，所以，增加其成本，此外，还存在难于在任意位置形成任意形状的微型透镜的问题。此外，如果只采用单一的液滴喷出法，虽然容易在任意的位置形成微型透镜，但难于按所要求的形状控制其形状。
技术实现思路
本专利技术是针对上述问题而提出的，目的是提供一种能够任意控制形状、提高聚光功能等光学特性的微型透镜制造方法及微型透镜，以及具有该微型透镜的光学装置、光传送装置、激光打印机用打印头及激光打印机。为达到上述目的，本专利技术的微型透镜的制造方法，其特征在于，包括在基体上面形成基座构件的工序；疏液处理上述基座构件的上面的工序；在上述疏液处理的基座构件的上面，利用液滴喷出法多点地喷出透镜材料，在上述基座构件上面形成微型透镜的工序。如果采用该微型透镜的制造方法，由于在基座构件上形成微型透镜，所以，通过适宜形成基座构件上面的尺寸或形状，能够适宜形成要得到的微型透镜的尺寸或形状。此外，由于疏液处理基座构件的上面，所以能够增大与喷出配置的透镜材料的基座构件上面的接触角，由此，能够增加基座构件上面所载的透镜材料的数量。另外，在能够如此增加基座构件上面所载的透镜材料的量的状态下，由于能多点地喷出透镜材料，所以，通过适宜调整圆点数量，能够良好地控制要得到的微型透镜的尺寸或形状，由此，也能够形成例如近似球形的形状的微型透镜。此外，在上述微型透镜的制造方法中，在进行上述疏液处理的工序中，对由上述基座构件形成材料形成的平面进行疏液处理，以便在配置上述透镜材料时发挥疏液性使该透镜材料的接触角达到20°以上。如此，由于能够确实增大喷出配置的透镜材料的相对于基座构件上面的接触角，所以，能够更多地增加基座构件上面所载透镜材料的量。此外，在上述微型透镜的制造方法中，在形成上述基座构件的工序中，优选将上述基座构件的上面形状形成圆形或椭圆形，或者多角形。如此，由于能够形成更近似球形的形状的微型透镜，所以，通过适宜形成该曲率，能够调整聚光功能等光学特性。此外，在上述微型透镜的制造方法中，在利用上述液滴喷出法喷出透镜材料时，以形成的微型透镜的上面侧的曲率达到预先设定的规定曲率的方式，确定喷出的点数。如此，由于以达到预先设定的规定曲率的方式形成上面侧的曲率，所以，能够形成具有所要求的光学特性的微型透镜。本专利技术的微型透镜，是在基体上形成的基座构件的上面形成的微型透镜，其特征在于疏液处理基座构件的上面；利用液滴喷出法多点地喷出透镜材料，形成上述微型透镜。如果采用该微型透镜，由于在基座构件上形成微型透镜，所以，通过适宜形成基座构件上面的尺寸或形状，能将其尺寸或形状形成适宜的尺寸或形状。此外，由于疏液处理基座构件的上面，所以增大喷出配置的透镜材料与基座构件上面的接触角，因此，能够更多地增加基座构件上面所载透镜材料的量。由此，通过适宜调整喷出的透镜材料的圆点数量，能够良好地控制要得到的微型透镜的尺寸或形状，也能够形成例如近似球形的形状的微型透镜。此外，在上述微型透镜中，优选将上述基座构件的上面形状形成圆形或椭圆形，或者多角形。如此，由于形成更近似球形的微型透镜，所以，通过适宜形成其曲率，能够良好地调整聚光功能等光学特性。此外，在上述微型透镜中，与上述基座构件的上面平行的微型透镜的横截面的最大外径，优选大于上述基座构件的上面的外径。如此，由于具有比基座构件的上面的外径大的横截面，该微型透镜例如形成近似球状，所以，通过适宜形成其曲率，能够良好地调整聚光功能等光学特性。此外，在上述微型透镜中，优选上述基座构件具有透光性。如此，当采用在基座构件侧配置发光源时，能够从微型透镜的上面侧，良好地出射该发光源的光，所以，能够通过上面侧的曲率等良好地发挥聚光功能等。本专利技术的光学装置，其特征在于具有面发光激光器和利用上述的制造方法得到的微型透镜或上述的微型透镜，在上述面发光激光器的出射侧，配设上述微型透镜。如果采用该光学装置，如上所述，由于在上述面发光激光器的出射侧，配设良好地控制了尺寸或形状的微型透镜，所以，能够利用该微型透镜，良好地进行发光激光器的出射光的聚光等，因此能形成具有良好的发光特性(光学特性)的光学装置。本专利技术的光传送装置，其特征在于具有上述的光学装置、受光元件、向上述受光元件传送来自上述光学装置的出射光的光传送机构。如果采用该光传送装置，如前所述，由于包含具有良好的发光特性(光学特性)的光学装置，所以，形成光传送特性良好的光传送装置。本专利技术的激光打印机用打印头，其特征在于具有上述光学装置。如果采用该激光打印机用打印头，由于包含具有良好的发光特性(光学特性)的光学装置，所以，形成描绘特性良好的激光打印机用打印头。本专利技术的激光打印机，其特征在于具有上述的激光打印机用打印头。如果采用该激光打印机，如前所述，由于具有描绘特性良好的激光打印机用打印头，所以该激光打印机自身能够成为描绘特性优良的激光打印机。附图说明图1(a)～(e)是本专利技术的微型透镜的制造工序图。图2(a)、(b)是喷头的概略构成图。图3(a)、(b)是本专利技术微型透镜的制造工序图。图4(a)～(c)是表示本专利技术微型透镜的图。图5(a)～(c)是表示微型透镜的聚光功能的图。图6是用于说明经过疏液处理的透镜材料的接触角的图。图7是本专利技术的激光打印机用打印头的概略构成图。图中1…GaAs基板、2…面发光激光器、3…基体、4…基座构件材料层、4b…基座构件、7…透镜材料、8a…微型透镜具体实施方式以下，详细说明本专利技术。首先，说明本专利技术的微型透镜的制造方法。本专利技术的微型透镜的制造方法，具有在基体上面形成基座构件的工序；疏液处理上述基座构件的上面的工序；在上述疏液处理的基座构件的上面，利用液滴喷出法，多点地喷出透镜材料，在上述基座构件上面形成微型透镜的工序。此时，在本专利技术中，所谓的“基体”，指的是具有能够形成上述基座构件的面的基体，具体指的是玻璃基板或半导体基板，以及在其上面形成各种功能性薄膜或功能性要素的基板。此外，关于能够形成上述基座构件的面，可以是平面，也可以是曲面，此外，关于基体自身的形状，也不做特别限定，可以采用多种形状。在本专利技术中，如图1(a)所示，作为基体3，例如，准备采用GaAs基板1的并在GaAs基板1上形成多个面发光激光器2的基体。然后，在该基体3的上面侧即成为上述面发光激光器2的出射侧的面上，设置基座构件的形成材料，形成基座构件材料层4。另外，在面发光激光器2上，在其出射口的周边形成由聚酰亚胺树脂等构成的绝缘层(未图示)。这里，作为基座构件的形成材料，优选具有透光性的材料，即，优选在上述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微型透镜的制造方法，其特征在于，包括：在基体上面形成基座构件的工序；对上述基座构件的上面进行疏液处理的工序；在上述疏液处理后的基座构件的上面，利用液滴喷出法多点地喷出透镜材料，在上述基座构件上面形成微型透镜的工序 。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：长谷井宏宣，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]