光热反射显微热成像装置及漂移修正方法制造方法及图纸

本发明专利技术适用于图像处理领域和显微成像领域，提供了一种光热反射显微热成像装置及漂移修正方法，该装置包括：在原光热反射显微热成像装置上增加调制片和调光装置；调制片设置在所述原光热反射显微热成像装置中的散射片和准直透镜之间，且位于准直透镜的焦面上；调光装置设置在所述原光热反射显微热成像装置的光路上，用于使经调制片调制后的照明光不经被测样品表面直接在像面成像。由于采用的光热反射显微热成像装置中增加的调制片和调光装置，使得可以有效抑制光源强度漂移和相机响应度漂移对采集图像的误差的影响，并且不需要对被测物温度进行调制，即可实现对静态目标的温度测量。

【技术实现步骤摘要】
光热反射显微热成像装置及漂移修正方法
本专利技术属于图像处理领域和显微成像领域，尤其涉及一种光热反射显微热成像装置及漂移修正方法。
技术介绍
光热反射测温技术是一种非接触测温技术，其基础是光热反射现象，光热反射现象基本的特征是物体的反射率会随物体的温度变化而变化。基于光热反射进行测温时，利用光学显微镜的照明系统提供探测光，使用高性能相机记录显微成像，输出的相机读数作为测量值。但是测温过程中，探测光强度会有随机变化，相机的响应度也会随之变化，从而影响测温结果的准确性。目前应对探测光强度漂移和相机的响应度漂移现象的主要手段是对被测施加调制，令其温度在参考温度和待测温度之间循环变化，每次循环计算一次温度变化，多次循环得到的温度变化平均值作为最终的测量结果。由于每次循环耗时相对较短，从而能够在一定程度上抑制漂移的影响。然而，上述抑制漂移的方法中必须对被测施加调制，令其温度循环变化，并且相机的图像采集也需要同步控制，操作复杂。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术实施例提供了一种光热反射显微热成像装置及漂移修正方法，旨在解决现有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光热反射显微热成像装置，其特征在于，包括：在原光热反射显微热成像装置上增加调制片和调光装置；/n所述调制片设置在所述原光热反射显微热成像装置中的散射片和准直透镜之间，且位于所述准直透镜的焦面上；/n所述调光装置设置在所述原光热反射显微热成像装置的光路上，用于使经所述调制片调制后的照明光不经被测样品表面直接在像面成像。/n

【技术特征摘要】
1.一种光热反射显微热成像装置，其特征在于，包括：在原光热反射显微热成像装置上增加调制片和调光装置；
所述调制片设置在所述原光热反射显微热成像装置中的散射片和准直透镜之间，且位于所述准直透镜的焦面上；
所述调光装置设置在所述原光热反射显微热成像装置的光路上，用于使经所述调制片调制后的照明光不经被测样品表面直接在像面成像。


2.如权利要求1所述的光热反射显微热成像装置，其特征在于，所述调光装置，包括：分束器、衰减片和反射镜；
所述分束器位于所述原光热反射显微热成像装置的光路和成像通路的交点上，所述分束器位于所述调制片后面、所述原光热反射显微热成像装置中的物镜和结像透镜之间，且与水平面成预设角度倾斜设置；
所述衰减片和所述反射镜分别设置在所述分束器直通路上，且所述衰减片位于所述反射镜前面。


3.如权利要求1所述的光热反射显微热成像装置，其特征在于，所述调光装置，包括：分束立方；
所述分束立方位于所述原光热反射显微热成像装置的光路和成像通路的交点上，所述分束立方位于所述调制片后面、所述原光热反射显微热成像装置中的物镜和结像透镜之间，且与水平面成预设角度倾斜设置。


4.如权利要求1所述的光热反射显微热成像装置，其特征在于，所述调光装置，包括：分束器和光学平板；
所述分束器位于所述原光热反射显微热成像装置的光路和成像通路的交点上，所述分束器位于所述调制片后面、所述原光热反射显微热成像装置中的物镜和结像透镜之间，且与水平面成预设角度倾斜设置；
所述光学平板设置在所述分束器和物镜之间。


5.一种用于光热反射显微热成像的漂移修正方法，其特征在于，基于上述权利要求1-4中任一项所述的光热反射显微热成像装置，包括：
遮断物镜侧光路，采集光热反射显微热成...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘岩，梁法国，丁立强，徐森锋，范雅洁，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十三研究所，
类型：发明
国别省市：河北;13