立体显微镜制造技术

本发明专利技术涉及一种立体显微镜，所述立体显微镜包括照明部分（２５），照明部分（２５）装在放置样品（１９）的基座（１０）上，并包括装在平板（２８）上的多个发光二极管（２９ａ）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及其支座做得较薄的立体显微镜。
技术介绍
立体显微镜用于透射照明(transmission illumination)以便观察例如处于活状态的活样品，并且用于在观察活样品的同时对其进行操作。立体显微镜也在半导体器件制造过程中用于检查和操作半导体器件。立体显微镜的透射照明装置，例如，在日本登记UM公报No.2529884中进行了描述。在日本登记UM公报No.2529884中，如图18所示，描述了从灯1发出的光线通过光学元件2会聚，照射到镜子3上，再被镜子3沿着垂直方向反射，穿过玻璃台4照射到样品上，样品的照射图像由显微镜的主体观察。在日本专利申请公开公报No.2000-105341中，如图19所示，描述了一种显微镜的支座，支座包括具有样品放置表面5的支座基部6，以及扶手7，扶手7可拆卸地装在支座基部6，环绕放置样品的部分。扶手7从样品放置表面5向下倾斜，并且包括突出部分8a、8b，从观察者的角度看突出部分8a、8b沿左/或右方向倾斜地突出。由于具有扶手7，即使从桌子上表面到样品放置表面5的高度较大，观察者可以将手固定在一个位置。在日本专利申请公开公报No.2002-189174中，描述了一种使用多个发光二极管的照明部分。
技术实现思路
根据本专利技术的主要方面，提供一种立体显微镜，包括在上面放置样品的基座；装在基座上的支柱；相对支柱可升高的臂部分；可拆卸地装在臂部分上用于得到样品的观察图像的立体显微镜主体；相对于支柱上/下移动臂部分的聚焦机构；以及至少一个照明部分，在照明部分中，发出光通量的多个发光二极管布置在一个平面上，用于照亮样品。附图说明图1是表示本专利技术立体显微镜第一实施例的外观图；图2是显微镜的局部剖视图；图3是显微镜第一照明部分的具体组成图；图4是表示本专利技术立体显微镜第二实施例的主要部分的剖视图；图5是从前面上部观察时显微镜的外观图；图6是表示本专利技术立体显微镜第三实施例的主要部分的剖视图；图7是表示本专利技术立体显微镜第四实施例的主要部分的剖视图；图8是显微镜照明部分的具体组成图；图9是从箭头方向S观察时显微镜照明部分的组成图；图10是环形照明部分装在显微镜上的组成图； 图11是表示本专利技术立体显微镜第五实施例中照明部分在基座上的安装状态的图；图12是表示照明部分在基座上的插入状态的图；图13是表示照明部分在基座上的固定状态的图；图14是表示照明部分旋转/定位的图；图15是表示本专利技术立体显微镜第六实施例中电源控制电路的组成图；图16是表示本专利技术立体显微镜第七实施例的主体部分的剖视图；图17是显微镜中电流控制电路的组成图；图18是现有立体显微镜透射照明装置的组成图；以及图19是现有立体显微镜透射照明装置的组成图。具体实施例方式下面将参考附图描述本专利技术的第一实施例。图1是立体显微镜的外观图，图2是显微镜的侧视图。图2是局部剖视图。支柱11装在基座10上。臂部分12装在支柱11上，借助引导机构11a沿垂直方向(聚焦方向)可以运动。支柱11具有聚焦把手13。通过旋转动作，聚焦把手13使臂部分12借助引导机构11a相对支柱11垂直运动。立体显微镜主体14可拆卸地装在臂部分12的末端部。在立体显微镜主体14内装有光学观察系统。立体显微镜主体14包括用于物镜15的镜筒，物镜装在其下部，目镜部分16装在上部。立体显微镜主体14包括光学观察轴D。光学观察轴D具有一对角度。基座10的前侧形成平基座薄板部分17，其高度为H。立体显微镜主体14的光学观察轴D经过基座薄板部分17的中部。如图2所示，孔18处于中部，通过它光学观察轴D穿过基座薄板部分17。玻璃板20插入并落在孔18中。样品19放置在玻璃板20上。基座凸出部分21形成在基座10的后侧，即处于支柱11的安装侧。基座凸出部分21从基座薄板部分17的上表面向上突出。逐渐变薄部分22到24形成在基座10的前表面侧以及相对的侧面两侧的边缘部分上。逐渐变薄部分22到24从基座薄板部分17的上表面向边缘部分朝下倾斜扩展。第一照明部分25在基座薄板部分17中处于玻璃板20的下方。第一照明部分25按与玻璃板20相同的方式插入并落入基座薄板部分17的孔18中，并被钩部分26钩住和定位。图3是第一照明部分25的具体组成图。第一照明部分25包括凹形构架体27。构架体27紧靠在钩部分26上并被保持住。平板形状的照明板28装在构架体27中。多个发光二极管29a例如在照明板28上沿纵向和横向装在规定位置上。例如，在每个发光二极管29a中使用芯片类型(chiptype)。漫射板30装在构架体27的上部。漫射板30也可以是乳白板。漫射板30通过挡板31和螺钉32保持并固定在玻璃板20与构架体27之间。在构架体27与漫射板30之间装有O形圈33。O形圈33被挡板31和螺钉32压缩。漫射板30在尺寸上具有比装在照明板28上的发光二极管29a的安装区大的区域。以这种方式，第一照明部分25具有多个发光二极管29a装在照明板28上的结构，并且可以形成薄的形状。在装有照明部分25的基座薄板部分17中，高度H可以减小。例如，在基座薄板部分17中，如图2所示，高度H为约25mm，桌子上表面A与每个逐渐变薄部分22到24的变薄形成起始点之间的距离G是约8mm，桌子上表面A与基座凸出部分21上表面之间的距离F为约35mm，并且基座10的最大宽度J可以是约240mm，如图1所示。基座凸出部分21的上表面装有调光器34a、34b(调光器34b示于图5中)。调光器34a、34b调节从各个发光二极管29a中发出的光通量中的总光线量。电源开关35装在基座凸出部分21的侧面。电源开关35为装在第一照明部分25中的每个发光二极管提供或中断电源。为电源端子的入口36处于基座凸出部分21的后面。入口36可拆卸地连接到电缆37。调光器34a、34b、电源开关35以及入口36中的任一个可以装在基座凸出部分21中。如图2所示，电源板38安装在基座凸出部分21中。电源板38连接到调光器34a、34b、电源开关35以及入口36。电源板38通过第一电缆39连接到照明板28，用于提供电源。诸如电容和整流器件的元件40装在电源板38上。下面描述如上述组成的显微镜的功能。打开电源开关35供电。当电源接通时，电源通过第一电缆39从电源板38供应到照明板28上。当供电时，装在照明板28上的各个发光二极管29a发出光线。当操作调光器34a、34b时，调光器34a、34b的电阻值变化。相应地，当流过每个发光二极管29a的电流值增大/减小时，每个发光二极管29a的发光量得到调节。从每个发光二极管29a发出的每个光通量通过漫射板30，并发生漫射。经过漫射板30的漫射光穿过玻璃板20，并达到样品19。经过样品19的光通量L通过立体显微镜主体14中的光学观察系统，被引导到各个目镜部分16。通过各个目镜部分16得到样品19的观察图像。基座10的基座薄板部分17的高度为H，如图2所示，在桌子上表面形成的台阶小。基座10上形成逐渐变薄部分22到24。相应地，基座薄板部分17的边缘形成平缓倾斜扩展。因此，为了观察样品19，当观察者将样品19从桌子上表面A放到玻璃板20上时，观察者执行操作时不会被基座10上的角部或类似的部分刮着手。当观察者相对样品19移动本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种立体显微镜，其特征在于，包括：　　　　样品放置在上面的基座；　　　　装在基座上的支柱；　　　　相对支柱可升降安装的臂部分；　　　　可拆卸地装在臂部分上以获得样品的观察图像的立体显微镜主体；　　　　相对支柱上／下移动臂部分的聚焦机构；以及　　　　至少一个照明部分，其中，发出光通量的多个发光二极管装在一个平面上，用于对样品进行照明。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：小渊日出树，
申请(专利权)人：奥林巴斯株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]