一种硅片清洗工装制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅片清洗工装，属于硅片清洗技术领域，包括基座，所述基座上端固定安装有清洗池，所述清洗池两侧固定安装有超声波发射器，所述超声波发射器一端外侧壁上固定安装有两根接线柱，所述接线柱上固定连接有通电线，所述超声波发射器另一端外侧壁上固定安装有声波发射管，所述超声波发射器内部连接安装有声波弦，所述清洗池内部贯穿安装有清洗液混合器，所述清洗池上端隔空安装有硅片加持器，所述硅片加持器焊接安装于升降臂上。本实用新型专利技术设计新颖，便于操作且使用效果好，提高硅片清洗效率和硅片的清洗质量，可将清洗液的清洗剂与水液进行充分混合，提高了清洗剂的清洗剂利用率，还可对硅片进行紧固加持，便于清洗硅片。

A silicon wafer cleaning tooling

【技术实现步骤摘要】
一种硅片清洗工装
本技术涉及硅片清洗
，尤其涉及一种硅片清洗工装。
技术介绍
传统的硅片预清洗方法依靠水的冲刷来达到清除硅片表面砂浆的目的，在太阳能行业初兴时期，该方法取得了较好的效果，但是，随着行业的进一步发展，对硅片产品的质量要求越来越高，为了降低切割成本，回收砂、回收液的大量导入，硅片清洗的压力和困难越来越大，传统预清洗设备的缺陷越发突显。专利号CN206961808U公布了一种硅片清洗工装，其中，包括：一对固定板；上部固定杆，所述上部固定杆的两端分别与一个固定板固定连接；所述上部固定杆上设置有多个用于对硅片的第一端进行限位的限位柱；所述限位柱包括圆柱状的主体和半球状的端头；下部固定杆，所述下部固定杆的两端分别与一个固定板固定连接。本技术提供的硅片的清洗工装通过设置限位柱的形状为主体是圆柱状，且包括半球状的端头，由此避免了对硅片的划伤。与现有技术相比，提高了产品良率。上述专利具有以下缺点：1、无法将清洗液的清洗剂与水液进行充分混合，降低了清洗剂的清洗剂利用率；2、无法对硅片进行紧固加持，不便于清洗硅片，容易导致硅片的掉落损坏；3、对硅片清洗效率低，对硅片的清洗质量差，不利于对硅片清洗干净。为此，我们提出一种硅片清洗工装。
技术实现思路
本技术提供一种硅片清洗工装，设计新颖，便于操作且使用效果好，旨在通过旋转电机和清洗液混合器，可将清洗液的清洗剂与水液进行充分混合，提高了清洗剂的清洗剂利用率；通过硅片夹持器，可对硅片进行紧固加持，便于清洗硅片，防止导致硅片的掉落损坏；通过超声波发射器，可提高硅片清洗效率和硅片的清洗质量，有利于对硅片清洗干净。本技术提供的具体技术方案如下：本技术提供的一种硅片清洗工装，包括基座，所述基座内部固定安装有旋转电机，所述基座上端固定安装有清洗池，所述清洗池两侧固定安装有超声波发射器，所述超声波发射器一端外侧壁上固定安装有两根接线柱，所述接线柱上固定连接有通电线，所述超声波发射器另一端外侧壁上固定安装有声波发射管，所述超声波发射器内部连接安装有声波弦，所述清洗池内部贯穿安装有清洗液混合器，所述清洗液混合器固定安装于基座内部的旋转电机上，所述清洗池上端隔空安装有硅片加持器，所述硅片加持器焊接安装于升降臂上，所述升降臂活动镶嵌安装于悬挂臂上，所述悬挂臂焊接安装于悬挂套上，所述悬挂套固定安装于悬挂杆上。可选的，所述悬挂臂内部开设有液压油室和储油室，所述液压油室和储油室之间安装有调压机连通。可选的，所述清洗液混合器上端焊接安装有螺旋桨，所述螺旋桨中心焊接安装有轴承杆，所述轴承杆外部环套安装有轴承套。可选的，所述硅片加持器由上夹件和下夹件组成，所述上夹件和下夹件上均固定安装有夹持海绵，所述上夹件和下夹件之间通过紧固螺丝固定连接。可选的，所述清洗池上端隔空安装有两个的硅片加持器，所述清洗液混合器通过轴承杆固定安装在旋转电机上。本技术的有益效果如下：1、本技术设计新颖，便于操作且使用效果好，通过设有旋转电机和清洗液混合器，将清洗池中注满清洗剂和水液，打开电源开关，旋转电机通电工作，带动轴承杆旋转，轴承杆带动螺旋桨旋转，螺旋桨在清洗池中，螺旋桨呈螺旋形，旋转时形成离心力，将清洗池中的清洗剂和水液进行充分混合，使得减少了清洗剂残留量，如此，可将清洗液的清洗剂与水液进行充分混合，提高了清洗剂的清洗剂利用率。2、本技术通过设有硅片夹持器，拧动硅片夹持器上的紧固螺丝，使得上夹件和下夹件分开，再将硅片两端均放置于硅片夹持器上，拧紧硅片夹持器上的紧固螺丝，使得上夹件和下夹件闭合，对硅片进行紧固夹持，如此，可对硅片进行紧固加持，便于清洗硅片，防止导致硅片的掉落损坏。3、本技术通过设有超声波发射器，打开电源开关，调压机和超声波发射器通电工作，调压机工作，将悬挂臂中储油室中的液压油输送至液压油室中，增大液压油室的油压，进行下降升降臂，将夹持的硅片送至清洗池中，超声波发射器工作，超声波发射器内部的声波弦经过强大的电压进行高频振动，产生声波，由声波发射管发出至清洗池中，对清洗池中的硅片进行超声振动，使得硅片上的脏污振动掉落，结合清洗池中的清洗液共同作用，便于清洗，如此，可提高硅片清洗效率和硅片的清洗质量，有利于对硅片清洗干净。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例的一种硅片清洗工装的整体结构示意图；图2为本技术实施例的一种硅片清洗工装的悬挂臂结构示意图；图3为本技术实施例的一种硅片清洗工装的清洗液混合器结构示意图；图4为本技术实施例的一种硅片清洗工装的硅片夹持器结构示意图。图中：1.基座；2.清洗池；3.超声波发射器；4.通电线；5.声波发射管；6.升降臂；7.悬挂臂；8.悬挂杆；9.悬挂套；10.硅片夹持器；11.清洗液混合器；12.声波弦；13.接线柱；14.旋转电机；15.液压油室；16.调压机；17.储油室；18.轴承套；19.螺旋桨；20.轴承杆；21.夹持海绵；22.上夹件；23.紧固螺丝；24.下夹件。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。下面将结合图1~图4对本技术实施例的一种硅片清洗工装进行详细的说明。参考图1所示，本技术实施例提供的一种硅片清洗工装，包括基座1，所述基座1内部固定安装有旋转电机14，所述基座1上端固定安装有清洗池2，所述清洗池2两侧固定安装有超声波发射器3，所述超声波发射器3一端外侧壁上固定安装有两根接线柱13，所述接线柱13上固定连接有通电线4，所述超声波发射器3另一端外侧壁上固定安装有声波发射管5，所述超声波发射器3内部连接安装有声波弦12，所述清洗池2内部贯穿安装有清洗液混合器11，所述清洗液混合器11固定安装于基座1内部的旋转电机14上，所述清洗池2上端隔空安装有硅片加持器10，所述硅片加持器10焊接安装于升降臂6上，所述升降臂6活动镶嵌安装于悬挂臂7上，所述悬挂臂7焊接安装于悬挂套9上，所述悬挂套9固定安装于悬挂杆8上，提高硅片清洗效率和硅片的清洗质量，可将清洗液的清洗剂与水液进行充分混合，提高了清洗剂的清洗剂利用率，还可对硅片进行紧固加持，便于清洗硅片。参照图2所示，所述悬挂臂7内部开设有液压油室15和储油室17，所述液压油室15和储油室17之间安装有调压机16连通，悬挂臂7用于升降清洗硅片，提高硅片的清洗效率。参照图3所示，所述清本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片清洗工装，其特征在于：包括基座（1），所述基座（1）内部固定安装有旋转电机（14），所述基座（1）上端固定安装有清洗池（2），所述清洗池（2）两侧固定安装有超声波发射器（3），所述超声波发射器（3）一端外侧壁上固定安装有两根接线柱（13），所述接线柱（13）上固定连接有通电线（4），所述超声波发射器（3）另一端外侧壁上固定安装有声波发射管（5），所述超声波发射器（3）内部连接安装有声波弦（12），所述清洗池（2）内部贯穿安装有清洗液混合器（11），所述清洗液混合器（11）固定安装于基座（1）内部的旋转电机（14）上，所述清洗池（2）上端隔空安装有硅片加持器（10），所述硅片加持器（10）焊接安装于升降臂（6）上，所述升降臂（6）活动镶嵌安装于悬挂臂（7）上，所述悬挂臂（7）焊接安装于悬挂套（9）上，所述悬挂套（9）固定安装于悬挂杆（8）上。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片清洗工装，其特征在于：包括基座（1），所述基座（1）内部固定安装有旋转电机（14），所述基座（1）上端固定安装有清洗池（2），所述清洗池（2）两侧固定安装有超声波发射器（3），所述超声波发射器（3）一端外侧壁上固定安装有两根接线柱（13），所述接线柱（13）上固定连接有通电线（4），所述超声波发射器（3）另一端外侧壁上固定安装有声波发射管（5），所述超声波发射器（3）内部连接安装有声波弦（12），所述清洗池（2）内部贯穿安装有清洗液混合器（11），所述清洗液混合器（11）固定安装于基座（1）内部的旋转电机（14）上，所述清洗池（2）上端隔空安装有硅片加持器（10），所述硅片加持器（10）焊接安装于升降臂（6）上，所述升降臂（6）活动镶嵌安装于悬挂臂（7）上，所述悬挂臂（7）焊接安装于悬挂套（9）上，所述悬挂套（9）固定安装于悬挂杆（8）上。


2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗工装，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁树海，林国梁，
申请(专利权)人：厦门健康伦自动仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35