一种机械手传片托盘装置制造方法及图纸

本发明专利技术揭示了一种机械手传片托盘装置，包括主体支架，所述主体支架具有相互背对的第一面和第二面，其中第一面用于与压板配合，第二面设有用于容置工艺片的定位槽，并且所述主体支架上还开设有与定位槽连通的第二通孔，所述定位槽的直径稍大于或等于工艺片的直径，所述第二通孔的直径稍小于工艺片的直径，所述压板上设有第一通孔，所述第一通孔的直径大于工艺片的直径，当使所述压板与主体支架配合工作时，所述工艺片能够从相互连通的第一通孔及第二通孔中露出。本发明专利技术提供的机械手传片托盘装置，可以使工艺片在传片过程中，即放置于工艺台面上时可以不发生移动，并且缩小工艺片边缘因压板造成无法使用的面积。

【技术实现步骤摘要】
一种机械手传片托盘装置
本专利技术属于半导体制造
，具体涉及一种机械手传片托盘装置。
技术介绍
半导体产业中，在刻蚀工艺、镀膜工艺等生产过程中，会使用机械手臂将工艺片(硅片等)从预抽真空室传送入工艺腔室中，并且在工艺时会使用压板压住工艺片边缘，保证硅片在工艺中不发生移动，所以导致工艺片边缘有5mm以上不能进行工艺被浪费掉；另外在传送过程中震动或者工艺片摆放位置偏移，会导致压板不能完全压住工艺片边缘，这样在工艺过程中会对散热有影响，导致工艺失败。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种机械手传片托盘装置，以克服现有技术中存在的不足。为实现前述目的，本专利技术实施例采用的技术方案包括：本专利技术实施例提供了一种机械手传片托盘装置，其包括主体支架，所述主体支架具有相互背对的第一面和第二面，其中第一面用于与压板配合，第二面设有用于容置工艺片的定位槽，并且所述主体支架上还开设有与定位槽)连通的第二通孔，所述定位槽的直径稍大于或等于工艺片的直径，所述第二通孔的直径稍小于工艺片的直径，所述压板上设有第一通孔，所述第一通孔的直径大于工艺片的直径，当使所述压板与主体支架配合工作时，所述工艺片能够从相互连通的第一通孔及第二通孔中露出。进一步地，所述主体支架的第二面还形成有两个以上顶针机构安装孔，所述顶针机构安装孔用于安装顶针机构，所述顶针机构包括顶针和与顶针配合的弹性元件，所述顶针能够在弹性元件的顶推或外力作用下出或入相应顶针机构安装孔，并且该两个以上顶针能够相互配合并固定工艺片。进一步地，所述顶针具有卡口结构，当该两个以上顶针在相同外力作用下进入相应顶针机构安装孔时，该两个以上顶针的卡口结构之间配合形成所述的定位。进一步地，所述顶针机构安装孔为三个以上，并对称分布在定位槽周围。进一步地，所述顶针一端与弹性元件配合，另一端形成有卡口结构，当所述顶针完全进入相应顶针机构安装孔时，所述顶针另一端与主体支架的第二面平齐。进一步地，所述顶针的侧壁与相应顶针机构安装孔的孔壁滑动配合。更进一步地，所述弹性元件采用压缩弹簧。与现有技术相比，本专利技术具有如下有益效果：(1)本专利技术机械手传片托盘装置，可以使工艺片在传片过程中，即放置于工艺台面上时可以不发生移动，并且缩小工艺片边缘因压板造成无法使用的面积，且顶针机构安装孔的设置，在压板下压时能够将工艺片缩到主体支架里面，有效避免主体支架与工艺片之间形成间隙。(2)本专利技术机械手传片托盘装置，其中，顶针与顶针机构安装孔采用滑动连接的结构，便于对顶针的更换，适用于小范围内不同直径工艺片的配合使用，可提高该装置的通用性。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本申请一实施方式中机械手传片托盘装置的结构示意图。图2是图1中主体支架的具体结构示意图。图3-图4是本申请一实施方式中机械手传片托盘装置与工艺片配合的过程示意图。附图标记说明：1、压板，11、第一通孔，2、主体支架，21、圆环本体，22、定位槽，23、顶针机构安装孔，24、第二通孔，3、工艺片，4、顶针，41、卡口结构，5、压缩弹簧。具体实施方式通过应连同所附图式一起阅读的以下具体实施方式将更完整地理解本专利技术。本文中揭示本专利技术的详细实施例；然而，应理解，所揭示的实施例仅具本专利技术的示范性，本专利技术可以各种形式来体现。因此，本文中所揭示的特定功能细节不应解释为具有限制性，而是仅解释为权利要求书的基础且解释为用于教示所属领域的技术人员在事实上任何适当详细实施例中以不同方式采用本专利技术的代表性基础。鉴于现有技术中的不足，本案专利技术人经长期研究和大量实践，开发出本专利技术的机械手传片托盘装置，可以使工艺片在传片过程中，放置于工艺台面上时可以不发生移动，并且缩小工艺片边缘因压板造成无法使用的面积。如下将对该技术方案、其实施过程及原理等作进一步的解释说明。本专利技术实施例的一个方面提供一种于机械手传片托盘装置，其包括主体支架，所述主体支架具有相互背对的第一面和第二面，其中第一面用于与压板配合，第二面设有用于容置工艺片的定位槽，并且所述主体支架上还开设有与定位槽)连通的第二通孔，所述定位槽的直径稍大于或等于工艺片的直径，所述第二通孔的直径稍小于工艺片的直径，所述压板上设有第一通孔，所述第一通孔的直径大于工艺片的直径，当使所述压板与主体支架配合工作时，所述工艺片能够从相互连通的第一通孔及第二通孔中露出。在一些优选实施例中，所述主体支架的第二面还形成有两个以上顶针机构安装孔，所述顶针机构安装孔用于安装顶针机构，所述顶针机构包括顶针和与顶针配合的弹性元件，所述顶针能够在弹性元件的顶推或外力作用下出或入相应顶针机构安装孔，并且该两个以上顶针能够相互配合并固定工艺片。在一些优选实施例中，所述顶针具有卡口结构，当该两个以上顶针在相同外力作用下进入相应顶针机构安装孔时，该两个以上顶针的卡口结构之间配合形成所述的定位。在一些优选实施例中，所述顶针机构安装孔为三个以上，并对称分布在定位槽周围。在一些优选实施例中，所述顶针一端与弹性元件配合，另一端形成有卡口结构，当所述顶针完全进入相应顶针机构安装孔时，所述顶针另一端与主体支架的第二面平齐。在一些优选实施例中，所述顶针的侧壁与相应顶针机构安装孔的孔壁滑动配合。相应的，所述弹性元件采用压缩弹簧。在一些优选实施例中，所述第二通孔的半径与工艺片的半径的差值小于5mm。在一些较为优选的实施例中，所述主体支架、压板均为圆环状构件。在一些优选实施例中，当将所述工艺片放置于定位槽内时，所述工艺片与主体支架同心设置。在一些优选实施例中，当使所述压板与主体支架配合工作时，所述压板与主体支架同轴设置。本专利技术实施例提供的机械手传片托盘装置，可以使工艺片在传片过程中，即放置于工艺台面上时可以不发生移动，并且缩小工艺片边缘因压板造成无法使用的面积，且顶针机构安装孔的设置，在压板下压时能够将工艺片缩到主体支架里面，有效避免主体支架与工艺片之间形成间隙。如下将结合附图对该技术方案、其实施过程及原理等作进一步的解释说明。实施例参阅图1和图2，本专利技术的一个实施例中提供的一种机械手传片托盘装置，包括圆环状的主体支架2，主体支架2具有相互背对的第一面和第二面，其中第一面用于与圆环状的压板1配合，第二面设有用于容置工艺片3的定位槽22，并且主体支架2上还开设有与定位槽22连通的第二通孔24，定位槽22的直径稍大于或等于工艺片3的直径，第二通孔24的直径稍小于工艺片3的直径，且第二通孔24的半径与工艺片3的半径的差值小于5mm；压板1上设有第一通孔11，第一通孔11的直径大于工艺片3的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种机械手传片托盘装置，其特征在于包括主体支架(2)，所述主体支架(2)具有相互背对的第一面和第二面，其中第一面用于与压板(1)配合，第二面设有用于容置工艺片(3)的定位槽(22)，并且所述主体支架(2)上还开设有与定位槽(22)连通的第二通孔(24)，所述定位槽(22)的直径稍大于或等于工艺片(3)的直径，所述第二通孔(24)的直径稍小于工艺片(3)的直径，所述压板(1)上设有第一通孔(11)，所述第一通孔(11)的直径大于工艺片(3)的直径，当使所述压板(1)与主体支架(2)配合工作时，所述工艺片(3)能够从相互连通的第一通孔(11)及第二通孔(24)中露出。/n

【技术特征摘要】
1.一种机械手传片托盘装置，其特征在于包括主体支架(2)，所述主体支架(2)具有相互背对的第一面和第二面，其中第一面用于与压板(1)配合，第二面设有用于容置工艺片(3)的定位槽(22)，并且所述主体支架(2)上还开设有与定位槽(22)连通的第二通孔(24)，所述定位槽(22)的直径稍大于或等于工艺片(3)的直径，所述第二通孔(24)的直径稍小于工艺片(3)的直径，所述压板(1)上设有第一通孔(11)，所述第一通孔(11)的直径大于工艺片(3)的直径，当使所述压板(1)与主体支架(2)配合工作时，所述工艺片(3)能够从相互连通的第一通孔(11)及第二通孔(24)中露出。


2.根据权利要求1所述的机械手传片托盘装置，其特征在于：所述主体支架(2)的第二面还形成有两个以上顶针机构安装孔(23)，所述顶针机构安装孔(23)用于安装顶针机构，所述顶针机构包括顶针(4)和与顶针(4)配合的弹性元件，所述顶针(4)能够在弹性元件的顶推或外力作用下出或入相应顶针机构安装孔(23)，并且该两个以上顶针(4)能够相互配合并固定工艺片(3)。


3.根据权利要求2所述的机械手传片托盘装置，其特征在于：所述顶针(4)具有卡口结构(41)，当该两个以上顶针(4)在相同外力作用下进入相应顶针机构安装孔(23)时，该两个以上顶针(4)的卡口结构(41)之间配合形成所述的定...

【专利技术属性】
技术研发人员：谷伟，黄寓洋，
申请(专利权)人：苏州苏纳光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32