异常检测系统、异常检测装置和异常检测方法制造方法及图纸

技术编号:26730042 阅读:52 留言:0更新日期:2020-12-15 14:29
本公开的实施例涉及异常检测系统、异常检测装置和异常检测方法。本发明专利技术的目的是提供一种能够容易地提取特定子过程的区间信号的技术。异常检测系统包括用于从监测信号中包括的复合序列中的多个子序列中提取特定子序列作为异常检测的对象的提取单元。提取单元通过动态时间归整方法根据复合序列和作为预先获取的复合序列的示例的参考序列来确定最佳归整路径。提取单元基于最佳归整路径以及参考序列的子序列的起点和终点来标识特定子序列的起点和终点。提取单元基于特定子序列的起点和终点来提取特定子序列。

【技术实现步骤摘要】
异常检测系统、异常检测装置和异常检测方法相关申请的交叉引用于2019年6月14日提交的日本专利申请No.2019-111283的公开内容(包括说明书、附图和摘要)通过引用整体并入本文。
技术介绍
本公开涉及一种异常检测系统,并且可以应用于例如具有根据指示制造设备的处理状态的信号来检测检测目标信号的功能的异常检测系统。近年来,随着第四次工业革命,在制造系统中,为了提高制造效率,诸如AI(人工智能)和IoT(物联网)等技术的利用正在不断发展。例如,利用这样的制造系统,可以通过各种传感器实时地监测制造设备的处理状态,并且可以基于监测结果来在早期检测制造设备中的异常。当检测异常时,例如,基于预先登记在存储设备中的检测算法来检测检测目标的异常。例如,日本未审查专利申请公开第2018-180705号(专利文献1)示出了一种能够减少技术人员等的工作量的异常检测系统。在该异常检测系统中,目标信号选择单元根据通过信号输入单元接收的监测信号来确定检测目标区间(其是制造设备实际上在其中运行的区间),并且提取该区间的信号作为检测目标信号。在此,监测信号是指示制造设备本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种异常检测系统,用于从监测信号中检测检测目标的异常,所述监测信号包括复合序列,所述复合序列是一系列序列并且包括多个子序列,并且所述监测信号指示所述检测目标的状态,所述异常检测系统包括:/n提取单元,被配置为从所述监测信号中包括的所述复合序列的所述多个子序列中提取所述检测目标的特定子序列,/n其中所述提取单元包括:/n标识单元,被配置为根据所述复合序列和作为预先获取的复合序列的示例的参考序列,通过动态时间归整方法来确定第一最佳归整路径,并且被配置为基于所述第一最佳归整路径以及预先获取的所述参考序列的子序列的起点和终点,来标识所述特定子序列的起点和终点;以及/nSS提取单元,被配置为基于所述...

【技术特征摘要】
20190614 JP 2019-1112831.一种异常检测系统,用于从监测信号中检测检测目标的异常,所述监测信号包括复合序列,所述复合序列是一系列序列并且包括多个子序列,并且所述监测信号指示所述检测目标的状态,所述异常检测系统包括:
提取单元,被配置为从所述监测信号中包括的所述复合序列的所述多个子序列中提取所述检测目标的特定子序列,
其中所述提取单元包括:
标识单元,被配置为根据所述复合序列和作为预先获取的复合序列的示例的参考序列,通过动态时间归整方法来确定第一最佳归整路径,并且被配置为基于所述第一最佳归整路径以及预先获取的所述参考序列的子序列的起点和终点,来标识所述特定子序列的起点和终点;以及
SS提取单元,被配置为基于所述特定子序列的起点和终点来提取所述特定子序列。


2.根据权利要求1所述的异常检测系统,
其中所述提取单元还包括调节单元,所述调节单元被配置为通过提取或补充相邻数据点的平均值、最大值、最小值或中值的过程来调节所述复合序列的采样间隔,所述数据点的数目由下采样因子指定,
其中所述标识单元包括:
第一标识单元,被配置为根据所调节的采样间隔的所述复合序列和预先获取并且通过提取或补充相邻数据点的平均值、最大值、最小值或中值的过程来调节采样间隔的参考序列,通过动态时间归整方法来确定第二最佳归整路径,所述数据点的数目由下采样因子指定;并且被配置为基于所述第二最佳归整路径以及预先获取的所述参考序列的子序列的起点和终点来标识所述特定子序列的起始区域和终止区域;以及
第二标识单元,被配置为基于所述第二最佳归整路径以及所述复合序列的所述子序列的起始区域和终止区域来标识所述特定子序列的起点和终点。


3.根据权利要求2所述的异常检测系统,其中所述第二标识单元被配置为:
基于所述第二最佳归整路径以及所述复合序列的所述子序列的起始区域和终止区域来标识所述参考子序列的所述起始区域和终止区域;
基于针对所述参考子序列的所述起始区域的两个短序列和所述复合序列的第三最佳归整路径、以及所述参考子序列的所述起点来标识所述特定子序列的所述起点;以及
基于针对所述参考子序列的所述终止区域的两个短序列和所述复合序列的所述第三最佳归整路径、以及所述参考子序列的所述终点来标识所述特定子序列的所述终点。


4.根据权利要求3所述的异常检测系统,其中确定所述第一最佳归整路径至所述第三最佳归整路径中的任何一个或组合的所述动态时间归整方法修改步长约束。


5.根据权利要求4所述的异常检测系统,其中所述调节单元被配置为排除从所述复合序列的所述起点和所述终点开始的多个数据点的下采样,所述数据点的数目由所述下采样排除长度指定。


6.根据权利要求1所述的异常检测系统,其中所述提取单元被配置为基于所述第一最佳归整路径、以及与预先获取的所述参考序列的所述子序列不同的子序列的起点和终点,来从所述多个子序列中提取与所述特定子序列不同的子序列。


7.根据权利要求1所述的异常检测系统,还包括:CS提取单元,被配置为提取包括由触发信号指示的时间间隔的所述监测信号作为有限宽度的所述复合序列。


8.根据权利要求7所述的异常检测系统,还包括:信号输入单元,被配置为向所述CS提取单元输出所述监测信号和所述触发信号作为时间序列数字信号。


9.根据权利要求1所述的异常检测系统,还包括:异常检测单元,基于异常检测条件来对所提取的特定子序列执行异常检测处理。


10.根据权利要求7所述的异常检测系统,还包括:
存储单元,被配置为存储由所述CS提取单元提取的所述多个复合序列;
显示单元,被配置为显示存储在所述存储单元中的所述多个复合序列;
设置单元,被配置为设置子序列提取条件;
存储单元,被配置为存储通过所设置的子序列提取条件而提取的多个子序列;以及
生成单元,被配置为基于所提取的多个子序列来生成异常检测条件。


11.一种异常检测装置,用于从监测信号中检测检测目标的异常,所述监测信号包括复合序列,所述复合序列是一系列序列并且包括多个子序列,并且所述监测信号指示所述检测目标的状态,所述异常检测装置包括:
中央处理单元;以及
存储单元,
其中所述中央处理单元被配置为:
根据所述复合序列和作为预先获取的复合序列的示例的参考序列,通过动态时间归整方法来确定第一最佳归整路径;
基于所述第一最佳归整路径以及存储在所述存储单元中的所述参考序列的子序列的起点和终点,来在所述多个子序列中标识进行异常检测...

【专利技术属性】
技术研发人员:石川慎二
申请(专利权)人:瑞萨电子株式会社
类型:发明
国别省市:日本;JP

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