一种在树脂镜片上沉积碳膜的方法技术

一种在树脂镜片上沉积碳膜的方法，采用等离子体化学气相沉积方法在树脂镜片上沉积碳膜，利用高频电场所提供的高能量等离子体与通入的烃类气体产生裂解及淀积反应，在镜片表面形成碳膜，工艺过程为：用超声波清洗机对树脂基片进行清洗；再进行等离子清洗工艺，以Ａｒ离子对基片清洗５ｍｉｎ；通烃类碳源气体和氢气，进行碳膜的沉积，射频能量取值１５～４００Ｗ；烃类碳源气体、Ｈ↓［２］气体浓度比为１∶（０～３），沉积时真空度１０～５０Ｐａ；沉积时间为１０ｓ～３０ｍｉｎ。所制备的碳膜均匀、致密，没有大颗粒的附着，没有开裂的现象，膜基结合良好，镜片表面硬度及抗划擦性能显著增强。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于树脂材料加工
，具体涉及。本专利技术所沉积的碳膜属于含氢非晶碳膜(a-C:H)或称类金刚石碳膜(DLC膜)。
技术介绍
1955年树脂材料开始应用在眼镜片的制作上，经过科学工作者在工艺和材料等多方面的改进，树脂镜片变得更轻，透光性和耐磨性能更强，加上防雾和防水膜技术的应用给消费者带来了更多的舒适和方便，材料中加入防紫外线的成分也给眼晴多了一层保护，镜片的染色则满足了不同年龄不同层次消费者的不同需求。正是因为上述种种优势，使得人们在挑选镜片时更多地选择了树脂材料。树脂镜片在抗冲击性能、抗紫外线性能和染色性能方面都优于玻璃，但其缺点是表面硬度低，耐擦伤性差，当表面受摩擦后会影响光的透过率，造成视觉模糊不清，缩短了镜片的使用寿命。因此，提高树脂镜片表面硬度、改善耐磨性能成为一个重要的课题。类金刚石碳膜具有高硬度、低摩擦系数、光学透明以及化学稳定性等优异的表面综合性能，同时可在较低温度下沉积，所以它可以作为树脂太阳眼镜的抗磨损保护膜。专利91101620.1应用电子束蒸发固体碳源的方法实现在树脂材料上镀制类金刚石碳膜，但该方法设备较复杂，维护成本较高，同时，由于所用的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在树脂镜片上沉积碳膜的方法，其特征在于采用等离子体化学气相沉积方法在树脂镜片上沉积碳膜，利用高频电场所提供的高能量等离子体与通入的烃类气体产生裂解及淀积反应，在镜片表面形成碳膜，采用电容耦合射频等离子体增强化学气相沉积装置，按如下工艺步骤进行：（１）清洗树脂基片，用超声波清洗机对树脂基片进行清洗；（２）进行等离子体清洗工艺，将真空室放气后，打开真空室，把清洗好的树脂样片放在下电极板上；关闭真空室，开始抽气，同时打开射频电源进行预热，当系统真空度稳定后，向真 空室内通入氩气；氩气的流量稳定后，打开射频电源的板压开关，调整射频能量为４０～６０Ｗ，调节匹配电容，使反...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：蔺增，彭勃，巴德纯，
申请(专利权)人：东北大学，
类型：发明
国别省市：89[中国|沈阳]