流体芯片及分析装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种流体芯片及具备该流体芯片的分析装置，该流体芯片设置在对微量的试样进行分析的分析装置中，能够实现该分析装置的小型化。流体芯片(10)的特征在于，包括：设置在基板(21)内部的基板内流路、作为绝缘膜设置在基板(21)表面的表面侧绝缘膜(22)、设置在基板内流路的上游以使试样流入基板内流路的流入开口部(22a)以及设置在基板内流路的下游以使所述试样从基板内流路流出的流出开口部(22b)，其中，流入开口部(22a)和流出开口部(22b)设置在表面侧绝缘膜(22)上并通过基板内流路连接。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】流体芯片及分析装置
本专利技术涉及流体芯片及分析装置。
技术介绍
作为对微量的试样进行分析的分析装置，已知有包括流体芯片的分析装置，该流体芯片设置有具有纳米尺寸的直径的贯通孔(也称为纳米孔)的流路。例如，在专利文献1中，记载了将在流路内设置有直径为数纳米至数十纳米的纳米孔的硅基板作为流体芯片使用，进行DNA(DeoxyribonucleicAcid)的碱基序列等的分析的分析装置。流路贯通硅基板。另外，流路的内壁倾斜，硅基板的表面侧的开口部比背面侧的开口部小。在专利文献1中，硅基板设置在供给DNA的供给部和回收DNA的回收部之间。供给部经由设置在硅基板的表面侧的开口部与流路连接。回收部经由设置在硅基板的背面侧的开口部与流路连接。在供给部和回收部设有用于进行DNA的电泳的电极对。对电极对施加电压，测定DNA通过电泳通过纳米孔时的电流值的变化，由此进行DNA的碱基序列等的分析。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2015-198652号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题但是本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种流体芯片，其特征在于，包括：/n基板内流路，设置在基板的内部；/n绝缘膜，设置在所述基板的表面；/n流入开口部，设置在所述基板内流路的上游以使试样流入所述基板内流路；以及/n流出开口部，设置在所述基板内流路的下游以使所述试样从所述基板内流路流出，/n其中，所述流入开口部和所述流出开口部设置在所述绝缘膜上且通过所述基板内流路连接。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180419 JP 2018-0810111.一种流体芯片，其特征在于，包括：
基板内流路，设置在基板的内部；
绝缘膜，设置在所述基板的表面；
流入开口部，设置在所述基板内流路的上游以使试样流入所述基板内流路；以及
流出开口部，设置在所述基板内流路的下游以使所述试样从所述基板内流路流出，
其中，所述流入开口部和所述流出开口部设置在所述绝缘膜上且通过所述基板内流路连接。


2.如权利要求1所述的流体芯片，其特征在于，所述基板内流路包括：
上游流路，与所述流入开口部连接；
下游流路，与所述流出开口部连接；以及
背面流路，设置在所述基板的背面且连接所述上游流路和所述下游流路。


3.如权利要求1或2所述的流体芯片，其特征在于，还包括设置在所述基板和所述绝缘膜之间的加强膜。


4.一种分析装置，其特征在于，包括：
如权利要求2所述的流体芯片；
上侧片材，设置在所述流体芯片的表面；
供给部，供给所述试样；以及
回收部，回收所述试样，
其中，所述上侧片材具有：连接所述供给部和所述流入开口部的第一上侧流路以及连接所述回收部和所述流出开口部的第二上侧流路，
在所述供给部和所述回收部之间形成使所述试样流通的流通路径。


5.一种分析装置，其特征在于，包括：
如权利要求1所述的流体芯片；
上侧片材，设置在所述流体芯片的表面；
下侧片材，设置在所述流体芯片的背面；
供给部，供给所述试样；以及
回收部，回收所述试样，
其中，所述上侧片材具有连接所述供给部和所述流入开口部的第一上侧流路以及连接所述回收部和所述流出开口部的第二上侧流路，
所述基板内流路具有与所述流入开口部连接的上游流路以及与所述流出开口部连接的下游流路，
所述下侧片材具有连接所述上游流路和所述下游流路的下侧流路，
在所述供给部和所述回收部之间形成使所述试样流通的流通路径。


6.一种分析装置，其特征在于，包括：
流体芯片，所述流体芯片具有基板内流路，所述基板内流路贯通表面设有绝缘膜的基板；
上侧片材，设置在所述流体芯片的表面；
下侧片材，设置在所述流体芯片的背面；
芯片框...

【专利技术属性】
技术研发人员：池田修二，桥本直孝，
申请(专利权)人：TEI咨询服务株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP