一种基于石英晶体微天平的多传感器阵列及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种基于石英晶体微天平的多传感器阵列及其制备方法，器件结构包括在石英晶振片，包覆于晶振片表面的上下电极，在石英晶振片表面的上电极表面定点形成的敏感层阵列。制备方法主要包括：在晶振片表面光刻电极图案；对电极图案之外的光刻胶及光刻胶表面的电极材料进行剥离；于电极表面光刻敏感层图案；于上述敏感层图案表面沉积敏感层材料；对敏感层图案之外的光刻胶及光刻胶表面的敏感材料进行剥离；重复上述操作，对已有敏感层图案的电极表面进行套刻直到制备完成敏感阵列。本发明专利技术所设计的一种基于石英晶体微天平的多传感器阵列及其制备方法，可以同时检测多种目标传感对象，提升检测范围，提高检测效率，得到更准确的测试结果。

【技术实现步骤摘要】
一种基于石英晶体微天平的多传感器阵列及其制备方法
本专利技术属于微纳传感领域，更具体地，涉及一种基于石英晶体微天平的多传感器阵列及其制备方法。
技术介绍
随着时代经济的发展，卫生医疗水平的提升，人们对自身的健康状况，对环境的质量要求逐渐提高。采用传统针对一项疾病和一种气体传感的方式逐渐无法满足日益增长的需求。例如，目前针对某一种环境气体的检测大多数依赖于专一的气体检测装置，如果需要检测多种气体，则需要配套相对应的多个传感器，而且数据是分开处理的。由此极大增加了传感器体积，成本和后续的数据信息传递压力。无独有偶，目前针对人类的疾病或者病菌的检测也是依赖于专一的通道实现单一的检测，对于多种病菌的检测，则需要多采血，采用多种的检测装置进行，同样造成了成本高昂，检测效率低下等问题。因此，探索和开发一种传感器能够同时检测多种传感对象并且有效区别和鉴定，可以大大减小传感器体积，极大地降低传感和检测成本。
技术实现思路
针对现有技术的缺陷，本专利技术的目的在于提供一种基于石英晶体微天平的多传感器阵列及其制备方法，旨在解决现有单一传本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于石英晶体微天平的多传感器阵列，其特征在于，包括石英晶振片，包覆于晶振片表面的上下电极，在石英晶振片表面的上电极表面定点形成的敏感层阵列。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于石英晶体微天平的多传感器阵列，其特征在于，包括石英晶振片，包覆于晶振片表面的上下电极，在石英晶振片表面的上电极表面定点形成的敏感层阵列。


2.根据权利要求1所述的多传感器阵列，其特征在于，所述多传感器阵列的下电极包含正负极接触点。


3.根据权利要求2所述的多传感器阵列，其特征在于，所述上电极或下电极的厚度为100nm～1000nm。


4.根据权利要求2所述的多传感器阵列，其特征在于，所述上电极或下电极的材料为金属Au。


5.根据权利要求1所述的多传感器阵列，其特征在于，所述石英晶振片的固有频率为3MHz～100MHz。


6.根据权利要求1所述的多传感器阵列，其特征在于，所述敏感材料的种类至少为2种。


7.一种基于权利要求1至6任一项所述的石英晶体微天平的多传感器阵列的制备方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖广兰，林建斌，史铁林，何春华，罗京，孔令贤，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：湖北;42