气体传感器以及用于运行气体传感器的方法技术

本发明专利技术涉及一种气体传感器，所述气体传感器包括：膜片和加热元件，所述加热元件在膜片上设置在膜片的第一中断区域与膜片的第二中断区域之间。膜片的第一中断区域具有膜片的至少一个中断部，并且膜片的第二中断区域具有膜片的至少一个中断部。气体传感器还包括：第一温度传感器结构，所述第一温度传感器结构至少部分地在膜片上设置在膜片的第一中断区域的与加热元件相反的一侧上；以及第二温度传感器结构，所述第二温度传感器结构至少部分地在膜片上设置在膜片的第二中断区域的与加热元件相反的一侧上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】气体传感器以及用于运行气体传感器的方法
根据本专利技术的实施例涉及一种气体传感器以及一种用于运行气体传感器的方法。
技术介绍
现今，能够借助于完全不同的传感器在气体特性方面分析气体。当今，在市场上存在用于患者呼吸的不同的系统。所述系统根据在临床和家庭护理领域(例如undStephanMedizintechnik公司的系统)中的使用来区分。所述提供者的系统仅在其顶端变型中包括用于确定压力、呼吸流和呼吸气体分析的所有必需的测量装置。为此，必须将主要远离患者测量的多个设备组合。鉴于这种情况，存在对于如下设计的需求：所述设计能够实现构造空间的减小与气体测量系统的系统重量的减小之间的更好的折中，并且提供精确的流动测量以及快速的气体分析。所述目的通过独立权利要求来实现，所述独立权利要求包括设备权利要求1和18以及方法权利要求16。根据本专利技术的改进方案在从属权利要求中限定。
技术实现思路
一个实施例涉及(例如呈MEMS构件的形式的)气体传感器，所述气体传感器包括：膜片(例如薄层膜片，其厚度能够处于200nm至4本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体传感器(100)，所述气体传感器包括：/n膜片(110)；/n加热元件(120)，所述加热元件在所述膜片(110)上设置在所述膜片(110)的第一中断区域(160)与所述膜片(110)的第二中断区域(170)之间，/n其中所述膜片(110)的所述第一中断区域(160)具有所述膜片(110)的至少一个中断部(162，162

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180105 EP 18150493.71.一种气体传感器(100)，所述气体传感器包括：
膜片(110)；
加热元件(120)，所述加热元件在所述膜片(110)上设置在所述膜片(110)的第一中断区域(160)与所述膜片(110)的第二中断区域(170)之间，
其中所述膜片(110)的所述第一中断区域(160)具有所述膜片(110)的至少一个中断部(162，1621，162i)，并且其中所述膜片(110)的所述第二中断区域(170)具有所述膜片(110)的至少一个中断部(172，1721，172i)，
第一温度传感器结构(130)，所述第一温度传感器结构至少部分地在所述膜片(110)上设置在所述膜片(110)的所述第一中断区域(160)的与所述加热元件(120)相反的一侧上；以及
第二温度传感器结构(140)，所述第二温度传感器结构至少部分地在所述膜片(110)上设置在所述膜片(110)的所述第二中断区域(170)的与所述加热元件(120)相反的一侧上。


2.根据权利要求1所述的气体传感器(100)，
其中所述膜片(110)通过由载体材料构成的框架(150)展开，所述载体材料设计成，使得所述膜片(110)的温度膨胀系数与所述载体材料的温度膨胀系数不同。


3.根据权利要求1或2所述的气体传感器，
其中所述第一温度传感器结构(130)是第一热电偶结构，所述第一热电偶结构的热端部在所述膜片上设置在所述膜片(110)的所述第一中断区域(160)的与所述加热元件(120)相反的一侧上；
其中所述第二温度传感器结构(140)是第二热电偶结构，所述第二热电偶结构的热端部在所述膜片上设置在所述膜片(110)的所述第二中断区域(170)的与所述加热元件(120)相反的一侧上。


4.根据权利要求2和3所述的气体传感器(100)，
其中所述第一热电偶结构(130)的冷端部(134)和所述第二热电偶结构(140)的冷端部(144)设置在所述载体材料上。


5.根据权利要求3或4所述的气体传感器(100)，
其中所述第一热电偶结构(130)的热端部(132)伸展直至所述膜片(110)的所述第一中断区域(160)的边缘，并且所述第二热电偶结构(140)的热端部(142)伸展直至所述膜片(110)的所述第二中断区域(170)的边缘。


6.根据权利要求1至5中任一项所述的气体传感器(100)，
其中所述膜片(110)的所述第一中断区域(160)具有连续的中断部(162)，所述中断部的纵向扩展(164)大至，使得所述中断部完全覆盖所述第一温度传感器结构(130)与所述加热元件(120)之间的区域，并且其中所述膜片(110)的所述第二中断区域(170)具有连续的中断部(172)，所述中断部的纵向扩展(174)大至，使得所述中断部完全覆盖所述第二温度传感器结构(140)与所述加热元件(120)之间的区域。


7.根据权利要求1至6中任一项所述的气体传感器(100)，
其中所述第一中断部区域(160)的中断部(162，1621，162i)的横向扩展(166)与所述第二中断区域(170)的中断部(172，1721，172i)的横向扩展(176)不同。


8.根据权利要求1至7中任一项所述的气体传感器(100)，
其中所述第一温度传感器结构(130)距所述加热元件(120)的间距(1801，1802)与所述第二温度传感器结构(140)不同。


9.根据权利要求1至8中任一项所述的气体传感器(100)，
其中所述第一温度传感器结构(130)距所述加热元件(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：索菲·比亚，弗兰克·黑德里希，贝恩德·埃尔布雷希特，路易·萨尔兰，格哈德·卡廷格，
申请(专利权)人：汉席克卡德应用研究协会，GS电子医疗设备G斯坦普有限公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE