下载流体芯片及分析装置的技术资料

文档序号:26695217

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本发明提供一种流体芯片及具备该流体芯片的分析装置,该流体芯片设置在对微量的试样进行分析的分析装置中,能够实现该分析装置的小型化。流体芯片(10)的特征在于,包括:设置在基板(21)内部的基板内流路、作为绝缘膜设置在基板(21)表面的表面侧绝...
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