缺陷检测方法及装置、检测设备及可读存储介质制造方法及图纸

本申请公开了一种缺陷检测方法，用于检测晶圆的边缘，缺陷检测方法包括：处理边缘的图像信息以建立第一图像；依据第一图像的轮廓线中，倾斜角度在预设角度范围内的直线，建立第二图像；依据第一图像及第二图像，重建边缘的图像为第三图像，第三图像包括重建的边缘分界线；及依据边缘分界线及第一图像，识别边缘的缺陷的位置。本申请还公开了一种缺陷检测装置、检测设备及计算机可读存储介质。通过重建边缘分界线，可以检测晶圆的边缘，且检测到的边缘的缺陷比较准确，另外对正常图像的误检程度较低。

【技术实现步骤摘要】
缺陷检测方法及装置、检测设备及可读存储介质
本申请涉及检测
，更具体而言，涉及一种缺陷检测方法、缺陷检测装置、检测设备及非易失性计算机可读存储介质。
技术介绍
对于晶圆内部有效区域的缺陷检测，其图案是一个个晶片重复出现的，检测方式是先做好晶片模板图，然后模板图与检测图对位成功后两图进行比较，当两图差异超过设置阈值参数时，则判为缺陷区域。然而，边缘的边界线容易出现弯曲、异常气泡等缺陷，晶圆的边缘的图案是不重复的，无法根据模板图进行比较检测，但是晶圆的边缘的检测是至关重要的，函需一种检测方法检测晶圆的边缘。
技术实现思路
本申请实施方式提供一种缺陷检测方法、缺陷检测装置、检测设备及非易失性计算机可读存储介质。本申请实施方式的缺陷检测方法用于检测晶圆的边缘，缺陷检测方法包括：处理所述边缘的图像信息以建立第一图像；依据所述第一图像的轮廓线中，倾斜角度在预设角度范围内的直线，建立第二图像；依据所述第一图像及所述第二图像，重建所述边缘的图像为第三图像，所述第三图像包括重建的边缘分界线；及依据所述边缘分界线及所述第一图像，识本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种缺陷检测方法，用于检测晶圆的边缘，其特征在于，所述缺陷检测方法包括：/n处理所述边缘的图像信息以建立第一图像；/n依据所述第一图像的轮廓线中，倾斜角度在预设角度范围内的直线，建立第二图像；/n依据所述第一图像及所述第二图像，重建所述边缘的图像为第三图像，所述第三图像包括重建的边缘分界线；及/n依据所述边缘分界线及所述第一图像，识别所述边缘的缺陷的位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种缺陷检测方法，用于检测晶圆的边缘，其特征在于，所述缺陷检测方法包括：
处理所述边缘的图像信息以建立第一图像；
依据所述第一图像的轮廓线中，倾斜角度在预设角度范围内的直线，建立第二图像；
依据所述第一图像及所述第二图像，重建所述边缘的图像为第三图像，所述第三图像包括重建的边缘分界线；及
依据所述边缘分界线及所述第一图像，识别所述边缘的缺陷的位置。


2.根据权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述处理所述边缘的图像信息以建立第一图像，包括：
对所述边缘的图像信息进行二值化处理，以获得二值化图像；
对所述二值化图像进行边缘检测，以获取所述边缘的轮廓线；及
依据所述边缘的轮廓线建立所述第一图像。


3.根据权利要求2所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述对所述边缘的图像信息进行二值化处理，以获得二值化图像，包括：
获取所述边缘的图像中各个像素点的像素值；
依据所述像素值所对应像素点的数目，建立直方图，所述直方图包括所述像素值及所述像素值所对应的像素点的数目；
依据所述直方图中所述像素值的分布情况，获取标准像素值；及
根据所述标准像素值对所述边缘的图像进行二值化处理，以获得所述二值化图像。


4.根据权利要求3所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述根据所述标准像素值对所述边缘的图像进行二值化处理，以获得所述二值化图像，包括：
将所述标准像素值增加预定变量，以获得二值化像素阈值；及
将所述像素值在所述二值化像素阈值内的像素点确定为第一颜色、将所述像素值在所述二值化像素阈值外的像素点确定为第二颜色，以获得所述二值化图像。


5.根据权利要求2所述的缺陷检测方法，其特征在于，在所述对所述边缘的图像信息进行二值化处理，以获得二值化图像之前，所述处理所述边缘的图像信息以建立第一图像，还包括：
获取接收到的所述边缘的初始图像；及
将所述初始图像调整至所述预设倾斜角度，以获得所述图像信息。


6.根据权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述依据所述第一图像的轮廓线中，倾斜角度在预设角度范围内的直线，建立第二图像，包括：
对所述第一图像进行直线检测，以获得所述第一图像中的直线；
根据直线检测的结果，确定每根直线的倾斜角度；
筛选所述倾斜角度在所述预设角度范围内的直线，作为前景直线；及
依据所述前景直线建立所述第二图像。


7.根据权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述依据所述第一图像及所述第二图像，重建所述边缘的图像为第三图像，所述第三图像包括重建的边缘分界线，包括：
建立初始重建图像；
分析所述第一图像及所述第二图像，以获得所述重建的边缘分界线；
将所述重建的边缘分界线标记在所述初始重建图像中，以获得所述第三图像。


8.根据权利要求7所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述分析所述第一图像及所述第二图像，以获得所述重建的边缘分界线，包括：
沿第一预定方向对所述第二图像进行逐行扫描；
在扫描到所述第二图像中的点满足第一预设条件时，置位标识符为第一值；
沿所述第一预定方向对所述第一图像进行逐行扫描，以获取第一特征点；及
依据所述第一特征点，重建所述边缘分界线。


9.根据权利要求8所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述沿所述第一预定方向对所述第一图像进行扫描，以获取第一特征点，包括：
判断所述第一图像中，与所述第二图像中满足第一预设条件的点，所对应的第一点是否满足第二预设条件；
若是，从所述第一点开始沿所述第一预定方向对所述第一图像进行扫描；及
直至扫描到所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，夏爱华，佟异，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44