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本申请公开了一种缺陷检测方法，用于检测晶圆的边缘，缺陷检测方法包括：处理边缘的图像信息以建立第一图像；依据第一图像的轮廓线中，倾斜角度在预设角度范围内的直线，建立第二图像；依据第一图像及第二图像，重建边缘的图像为第三图像，第三图像包括重建的...
该专利属于深圳中科飞测科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳中科飞测科技有限公司授权不得商用。

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