波导以及包括该波导的装置制造方法及图纸

一种由包括第一线缺陷和第二线缺陷的三维光子晶体构成的波导。第一线缺陷处于部分柱状结构处，并且由与柱状结构不同的介质形成。第二线缺陷处于沿第一线缺陷纵向延伸的部分梯状结构处，并且由与柱状结构所用介质的折射率不同的介质形成。第二线缺陷与第一线缺陷分开的距离至少是三维光子晶体在所述包括柱状结构的各层之堆积方向的面外晶格周期的０．５倍。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及由具有三维折射率周期性结构的三维光子晶体构成的波导，以及包括该波导的装置。
技术介绍
Yablonovitch已经提出了利用亚波长结构控制电磁波透射/反射特性的概念(参见Physical Review Letters，vol.58，p.2059，1987)。根据该文献，电磁波的透射/反射特性可以用周期性亚波长结构控制。该控制也可以应用于光，即波长在光波长数量级的电磁波。该文献提出，这些称为光子晶体的结构，可以在一定波长范围实现反射率为100％的反射镜，这意味着没有光损失。在一定波长范围提供100％反射率的概念称为光子带隙，这从从“半导体能隙”类比得来的。三维亚波长周期性结构可以为任何方向入射的光提供光子带隙。这种光子带隙下面将称为完全光子带隙。完全光子带隙可用于实现具有新功能的光元件。例如，在其周期性结构中具有点缺陷或线缺陷的光子晶体能作为谐振器或波导工作。特别是，通过形成线缺陷可以得到急剧弯曲的波导或插分波导，使其可靠地捕获光(参见日本专利公开2001-74955以及日本应用物理学会第65届秋季会议的详细摘要，No.3，p.936)。图21A到21F表示能提供完全本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种包括三维光子晶体的波导，所述三维光子晶体包括：具有以预定间距排列的柱状结构的第一层；具有以所述间距排列从而沿着与所述第一层的柱状结构的纵向不同的方向延伸的柱状结构的第二层；具有以所述间距排列从而沿着所述第一层的柱 状结构的纵向延伸的柱状结构的第三层，所述第三层的柱状结构在垂直于其纵向的方向偏离所述第一层的柱状结构所述间距的一半；具有以所述间距排列从而沿所述第二层的柱状结构的纵向延伸的柱状结构的第四层，所述第四层的柱状结构在垂直于其纵向的方向偏 离所述第二层的柱状结构所述间距的一半；处于部分所述柱状结构处的第一线缺陷，所述第一线缺陷...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：池本圣雄，高木章成，星光，野林和哉，沼田爱彦，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]