一种电子束加工设备的磁聚焦装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种电子束加工设备的磁聚焦装置,属于电子元器件加工技术领域，包括真空箱、以及设置在真空箱内的磁聚焦本体、电子枪和放置板，真空箱的上端设有开口，且开口处密封连接有盖板，电子枪与盖板的下端固定连接，磁聚焦本体与真空箱的左右两侧内壁固定连接，放置板的下端固定连接有两个支撑杆，两个支撑杆的下端均与真空箱的内壁固定连接，放置板的上下两侧之间贯穿开设有条形通孔，条形通孔内滑动连接有两个传动杆，两个传动杆的上端均固定连接有固定板。本实用新型专利技术，能够在加工设备内稳固的放置电路板，并且能够适用于放置不同尺寸的电路板使用，防止电路板在加工过程中发生偏移产生加工误差。

【技术实现步骤摘要】
一种电子束加工设备的磁聚焦装置
本技术涉及电子元器件加工
，尤其涉及一种电子束加工设备的磁聚焦装置。
技术介绍
电子束加工是利用高能量的会聚电子束的热效应或电离效应对材料进行的加工，利用电子束的热效应可以对材料进行表面热处理、焊接、刻蚀、钻孔、熔炼，或直接使材料升华，电子束曝光则是一种利用电子束辐射效应的加工方法，作为加热工具，电子束的特点是功率高和功率密度大，能在瞬间把能量传给工件，电子束的参数和位置可以精确和迅速地调节，能用计算机控制并在无污染的真空中进行加工，根据电子束功率密度和电子束与材料作用时间的不同，可以完成各种不同的加工，而在电子束加工设备中需要使用到磁聚焦装置，以便于对电子束产生洛伦兹力，使电子束导向并调节其外形，从而达到让电子束会聚的目的。目前，中国专利授权号为CN209526063U的专利，公开了一种电子束加工设备的磁聚焦装置，包括底板，所述底板的顶部固定连接有真空室，所述真空室的顶部固定连接有封板，所述封板底部的中心处固定连接有电子枪，所述真空室内腔两侧的顶部和底部均设置有螺槽，所述真空室内腔的两侧均开设有定本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子束加工设备的磁聚焦装置，包括真空箱(10)、以及设置在真空箱(10)内的磁聚焦本体(21)、电子枪(20)和放置板(1)，其特征在于，所述真空箱(10)的上端设有开口，且开口处密封连接有盖板，所述电子枪(20)与盖板的下端固定连接，所述磁聚焦本体(21)与真空箱(10)的左右两侧内壁固定连接，所述放置板(1)的下端固定连接有两个支撑杆，两个所述支撑杆的下端均与真空箱(10)的内壁固定连接，所述放置板(1)的上下两侧之间贯穿开设有条形通孔，所述条形通孔内滑动连接有两个传动杆(4)，两个所述传动杆(4)的上端均固定连接有固定板(5)，所述条形通孔内横向固定连接有矩形杆(3)，所述传动杆...

【技术特征摘要】
1.一种电子束加工设备的磁聚焦装置，包括真空箱(10)、以及设置在真空箱(10)内的磁聚焦本体(21)、电子枪(20)和放置板(1)，其特征在于，所述真空箱(10)的上端设有开口，且开口处密封连接有盖板，所述电子枪(20)与盖板的下端固定连接，所述磁聚焦本体(21)与真空箱(10)的左右两侧内壁固定连接，所述放置板(1)的下端固定连接有两个支撑杆，两个所述支撑杆的下端均与真空箱(10)的内壁固定连接，所述放置板(1)的上下两侧之间贯穿开设有条形通孔，所述条形通孔内滑动连接有两个传动杆(4)，两个所述传动杆(4)的上端均固定连接有固定板(5)，所述条形通孔内横向固定连接有矩形杆(3)，所述传动杆(4)的杆壁通过矩形通孔与矩形杆(3)的杆壁滑动连接，所述真空箱(10)的下端固定连接有套管(2)，所述套管(2)内连接有传动机构，所述传动机构与传动杆(4)连接。


2.根据权利要求1所述的一种电子束加工设备的磁聚焦装置，其特征在于，所述传动机构包括滑动套接在套管(2)内的活塞(15)，所述活塞(15)的上端中心处固定连接有顶杆(17)，所述顶杆(17)的上端通过滚动轴承横向转动连接有双向丝杆(18)，所述双向丝杆(18)的杆壁上对称螺纹连接有两个螺纹套管(19)，两个所述螺纹套管(19)的管壁上均通过转轴转动连接有拉杆(9)，所述真空箱(10)的下...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘勇，
申请(专利权)人：贵阳文力电子有限公司，
类型：新型
国别省市：贵州;52