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本实用新型公开了一种电子束加工设备的磁聚焦装置,属于电子元器件加工技术领域，包括真空箱、以及设置在真空箱内的磁聚焦本体、电子枪和放置板，真空箱的上端设有开口，且开口处密封连接有盖板，电子枪与盖板的下端固定连接，磁聚焦本体与真空箱的左右两侧内...
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