光纤薄膜光栅温度传感器制造技术

一种光纤薄膜光栅温度传感器，它由多层膜交替沉积在光纤的端面上而构成，膜系由至少两层高折射率薄膜层１和至少两层低折射率薄膜层２交替组成，薄膜层１可以是ＴｉＯ↓［２］、Ｔａ↓［２］Ｏ↓［３］、ＺｒＯ↓［２］或ＣｅＯ↓［２］膜层，薄膜层２为ＳｉＯ↓［２］膜层、ＴｉＯ↓［２］＋ＳｉＯ↓［２］复合膜层、Ａｌ↓［２］Ｏ↓［３］、ＭｇＯ↓［２］膜层。该传感器的反射波长在可见光波段，并可通过改变各膜层厚度来任意调节反射光的中心波长。其温度传感系数可以依膜层材质的不同而变化。本发明专利技术为无电接触型微传感器，将其与光纤技术结合，可作远距离遥测和在线实时监测，并可制成高性价比小型化器件而适用于物体表面快速和小间隙场所的温度测量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及温度传感器，进一步是指光纤薄膜光栅温度传感器。
技术介绍
光纤光栅(FBG)利用掺锗光纤的紫外光敏性，通过紫外曝光(约240nm)导致纤芯折射率沿轴向周期性或非周期的永久性变化，在纤芯内形成空间相位光栅。除了在通信领域Bragg光纤光栅有着广泛的应用外，还可用作温度、压力传感器。相对于其他基于光强测量的方法，其探测信息被调制在反射波长中，这种传感最大优点是波长是绝对不变的参量，仅受环境的压力和温度的影响。由于FBG的制作采用紫外曝光，受到掩模模板曝光步距(＞0.1μm)的限制，其反射波长仅局限在红外波段。同时紫外曝光形成的光栅传感器存在两种局限性其一是温度范围有限，一般不能超过200℃，超过该温度后由紫外曝光损伤产生的折射率调制将消失；其次是目前宽带红外光源和红外光谱仪的价格远比可见光源和可见光谱仪昂贵。这些缺陷给该技术的普及应用带来了一定的局限性。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是，针对现有技术存在的缺陷，提出一种光纤薄膜光栅温度传感器，它是将高、低折射率的介质多层膜交替沉积在光纤的端面上，实现无电接触型、反射中心波长在可见光波段的多层膜系光纤光栅微传感器，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光纤薄膜光栅温度传感器，其特征是，它由至少两层高折射率薄膜层１和至少两层低折射率薄膜层２交替沉积在光纤的端面上而组成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：谢中，王秋艳，王祝盈，周艳明，陈小林，刘震宇，
申请(专利权)人：湖南大学，
类型：发明
国别省市：43[中国|湖南]