全自动硅片清洗送料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及硅片清洗技术领域，公开了全自动硅片清洗送料装置，包括清洗池；所述清洗池的顶侧呈开口状，所述清洗池顶端的前后两侧均固定安装有支板，两个所述支板的顶端固定安装有箱体，所述箱体的底侧呈开口状，所述箱体的右侧固定安装有转动电机a。本实用新型专利技术通过设置的转动电机a和转动电机b，便于将硅片置于清洗筒内后，可通过启动转动电机a，驱使滑块水平移动，然后通过启动电动伸缩杆将清洗筒推到清洗池内，而转动电机b则通过两个传动轮和传动带驱使清洗筒转筒，从而使得硅片与清洗池内的清洗液充分接触，有效提高了现有技术的清洗效果，较为实用，适合广泛推广和使用。

【技术实现步骤摘要】
全自动硅片清洗送料装置
本技术涉及硅片清洗
，具体为全自动硅片清洗送料装置。
技术介绍
半导体器件生产中硅片须经严格清洗；微量污染也会导致器件失效；清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物；这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面；会导致各种缺陷；清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。现有专利(公开号：CN208655607U)一种硅片清洗用送料装置，包括清洗机和连接杆，所述连接杆与活动杆连接，连接杆外壁套设有滑块，所述滑块上连接有第二推杆，第二推杆上连接有第一气缸，且滑块两侧设置有弹簧，弹簧一端与第一推杆相连接，第一推杆一侧套设在送料臂的外壁，所述送料臂上连接有第二气缸，送料臂下方与挂杆相连接，送料臂上开设有通孔，且挂杆上连接有第二气缸。该硅片清洗用送料装置可以通过第一气缸下压滑块，使滑块在挤压第一推杆和弹簧推动送料臂调节相互之间的距离的同时使送料臂可以始终与洗篮筐上的托杆紧密贴合，当送料臂与托杆连接后再通过第二气缸带动挂杆倾斜，由此避免现有的送料臂容易与洗篮筐脱离，导致洗篮筐损坏的现象发生。在实现本技术的过程中，专利技术人发现现有技术中至少存在如下问题没有得到解决：现有技术在使用时，当同时清洗的硅片较多时，硅片会堆叠在一起，导致某些硅片无法完全清洗。
技术实现思路
本技术的目的在于提供全自动硅片清洗送料装置，解决
技术介绍
中所提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：全自动硅片清洗送料装置，包括清洗池；所述清洗池的顶侧呈开口状，所述清洗池顶端的前后两侧均固定安装有支板，两个所述支板的顶端固定安装有箱体，所述箱体的底侧呈开口状，所述箱体的右侧固定安装有转动电机a，所述转动电机a的电机轴活动贯穿于箱体的左侧且轴头通过联轴器与螺纹杆固定连接，所述螺纹杆的外圈活动连接有滑块，所述滑块的底端固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的底端固定安装有安装板a，所述安装板a的底端固定安装有安装板b；所述安装板a的前侧固定安装有转动电机b，所述转动电机b的电机轴活动贯穿于安装板a的前侧至后侧，所述安装板b上活动贯穿连接有轴杆，所述轴杆的后端和转动电机b的电机轴轴头均固定安装有传动轮且两个传动轮通过传动带传动连接，所述轴杆的前端固定安装有清洗筒，所述清洗筒的外部呈网状结构。作为本技术的一种优选实施方式，所述滑块的顶侧与箱体的顶侧内壁平齐。作为本技术的一种优选实施方式，所述螺纹杆通过左端的轴承与箱体的左侧内壁活动连接。作为本技术的一种优选实施方式，所述清洗筒外圈的前侧设置有外螺纹，所述清洗筒的前侧设置有盖体，所述盖体内圈的后侧设置有内螺纹，所述内螺纹与外螺纹螺旋连接。作为本技术的一种优选实施方式，所述清洗筒的内圈固定安装有若干乳胶杆。与现有技术相比，本技术的有益效果如下：1.本技术全自动硅片清洗送料装置，通过设置的转动电机a和转动电机b，便于将硅片置于清洗筒内后，可通过启动转动电机a，驱使滑块水平移动，然后通过启动电动伸缩杆将清洗筒推到清洗池内，而转动电机b则通过两个传动轮和传动带驱使清洗筒转筒，从而使得硅片与清洗池内的清洗液充分接触，有效提高了现有技术的清洗效果。2.本技术全自动硅片清洗送料装置，由于盖体内圈的后侧设置有内螺纹，所述内螺纹与外螺纹螺旋连接，便于利用盖体将清洗筒的前侧封闭，避免硅片在清洗过程中从而清洗筒内掉出。3.本技术全自动硅片清洗送料装置，由于清洗筒的内圈固定安装有若干乳胶杆，便于在不损伤硅片的情况下，搅拌硅片，有利于进一步提高清洗效果。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本技术全自动硅片清洗送料装置的主视图；图2为本技术全自动硅片清洗送料装置的安装板a侧视图；图3为本技术全自动硅片清洗送料装置的清洗筒侧面放大示意图。图中：清洗池1，转动电机b2，盖体3，安装板b4，安装板a5，电动伸缩杆6，轴承7，螺纹杆8，滑块9，联轴器10，转动电机a11，箱体12，支板13，传动轮14，传动带15，轴杆16，外螺纹17，乳胶杆18，清洗筒19，内螺纹20。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置；本技术中提供的用电器的型号仅供参考。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据实际使用情况更换功能相同的不同型号用电器，对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。请参阅图1-3，本技术提供一种技术方案：全自动硅片清洗送料装置，包括清洗池1；所述清洗池1的顶侧呈开口状，所述清洗池1顶端的前后两侧均固定安装有支板13，两个所述支板13的顶端固定安装有箱体12，所述箱体12的底侧呈开口状，所述箱体12的右侧固定安装有转动电机a11，所述转动电机a11的电机轴活动贯穿于箱体12的左侧且轴头通过联轴器10与螺纹杆8固定连接，所述螺纹杆8的外圈活动连接有滑块9，所述滑块9的底端固定安装有电动伸缩杆6，所述电动伸缩杆6的底端固定安装有安装板a5，所述安装板a5的底端固定安装有安装板b4；所述安装板a5的前侧固定安装有转动电机b2，所述转动电机b2的电机轴活动贯穿于安装板a5的前侧至后侧，所述安装板b4上活动贯穿连接有轴杆16，所述轴杆16的后端和转动电机b2的电机轴轴头均固定安装有传动轮14且两个传动轮14通过传动带15传动连接，所述轴杆16的前端固定安装有清洗筒19，所述清洗筒19的外部呈网状结构。本实施例中(如图1、图2和图3所示)，通过设置的转动电机a11和转动电机b2，便于将硅片置于清洗筒19内后，可通过启动转动电机a11，驱使滑块9水平移动，然后通过启动电动伸缩杆6将清洗筒19推到清洗池1内，而转动电机b2则通过两个传动轮14和传动带15驱使清洗筒19转动，从而使得硅片与清洗池1内的清洗液充分接触，有效提高了现有技术的清洗效果。本实施例中(请参阅图1)，所述滑块9的顶侧与箱体12的顶侧内壁平齐，便于限制滑块9的位置。本实施例中(请参阅图1)，所述螺纹杆8通过左端的轴承7与箱体12的左侧内壁活动连接，便于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.全自动硅片清洗送料装置，其特征在于，包括清洗池(1)；/n所述清洗池(1)的顶侧呈开口状，所述清洗池(1)顶端的前后两侧均固定安装有支板(13)，两个所述支板(13)的顶端固定安装有箱体(12)，所述箱体(12)的底侧呈开口状，所述箱体(12)的右侧固定安装有转动电机a(11)，所述转动电机a(11)的电机轴活动贯穿于箱体(12)的左侧且轴头通过联轴器(10)与螺纹杆(8)固定连接，所述螺纹杆(8)的外圈活动连接有滑块(9)，所述滑块(9)的底端固定安装有电动伸缩杆(6)，所述电动伸缩杆(6)的底端固定安装有安装板a(5)，所述安装板a(5)的底端固定安装有安装板b(4)；/n所述安装板a(5)的前侧固定安装有转动电机b(2)，所述转动电机b(2)的电机轴活动贯穿于安装板a(5)的前侧至后侧，所述安装板b(4)上活动贯穿连接有轴杆(16)，所述轴杆(16)的后端和转动电机b(2)的电机轴轴头均固定安装有传动轮(14)且两个传动轮(14)通过传动带(15)传动连接，所述轴杆(16)的前端固定安装有清洗筒(19)，所述清洗筒(19)的外部呈网状结构。/n

【技术特征摘要】
1.全自动硅片清洗送料装置，其特征在于，包括清洗池(1)；
所述清洗池(1)的顶侧呈开口状，所述清洗池(1)顶端的前后两侧均固定安装有支板(13)，两个所述支板(13)的顶端固定安装有箱体(12)，所述箱体(12)的底侧呈开口状，所述箱体(12)的右侧固定安装有转动电机a(11)，所述转动电机a(11)的电机轴活动贯穿于箱体(12)的左侧且轴头通过联轴器(10)与螺纹杆(8)固定连接，所述螺纹杆(8)的外圈活动连接有滑块(9)，所述滑块(9)的底端固定安装有电动伸缩杆(6)，所述电动伸缩杆(6)的底端固定安装有安装板a(5)，所述安装板a(5)的底端固定安装有安装板b(4)；
所述安装板a(5)的前侧固定安装有转动电机b(2)，所述转动电机b(2)的电机轴活动贯穿于安装板a(5)的前侧至后侧，所述安装板b(4)上活动贯穿连接有轴杆(16)，所述轴杆(16)的后端和转动电机b(2)的电机轴轴头均固定安装有传动轮...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾韻，
申请(专利权)人：无锡市南亚科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32