具有偏移寻址电极的微镜制造技术

本发明专利技术的微镜装置包括反射式可偏转镜板和为偏转所述镜板而提供的寻址电极，其中所述寻址电极沿垂直于铰链长度的方向位移，从而使所述寻址电极的一部分扩展超出所述镜板。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术大体而言涉及微机电装置
，且更具体而言，涉及微镜装置和微镜 阵列装置。
技术介绍
微镜和微镜阵列装置是一种微机电装置类型。典型的微镜通常具有反射式且可偏 转的镜板，所述镜板附装至铰链上，以使所述镜板可沿旋转轴旋转。所述镜板的旋转 可通过施加从静电场获得的静电力来实现，所述静电场可在寻址电极和所述镜板之间 建立。使用尽可能大的电压来驱动所述镜板通常较为有利。例如，大激励电压会增大可 供用于移动所述镜板的可用静电力。越大的静电力会为所述微镜提供越大的操作裕度， 从而增大产量。另外，在加工过程和环境出现波动期间，所述静电力会吏可靠、稳健 地激励所述镜板。越大的静电力还能够将所述微镜的铰链制作成相应地具有越大的刚 度；刚度较大的铰链可能是有利的，因为用于制造所述铰链的材料薄膜可制作得更厚， 且因此对工艺波动的灵敏度较小，从而提高产量。刚度越大的铰链还可具有越大的恢 复力，以克服静磨擦。所述镜板从一个角度切换到另一个角度的速度还可通过增大所 述驱动电压来提高。然而，施加高电压通常因许多因素而受到限制，例如所述寻址电极的限制。在当 前的微镜中，建立用于驱动所述镜板的静电场是通过本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微镜装置，其包括：可操作以在衬底上方旋转的镜板和用于旋转所述镜板的最多一个寻址电极，其中所述镜板和所述寻址电极经定位以使连接所述镜板的几何中心和所述寻址电极的几何中心的虚线相对于垂直于所述寻址电极的线呈５°至５０°度。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：萨蒂亚德夫帕特尔，
申请(专利权)人：德州仪器公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]