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本发明的微镜装置包括反射式可偏转镜板和为偏转所述镜板而提供的寻址电极，其中所述寻址电极沿垂直于铰链长度的方向位移，从而使所述寻址电极的一部分扩展超出所述镜板。...
该专利属于德州仪器公司所有，仅供学习研究参考，未经过德州仪器公司授权不得商用。

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