可变形镜及采用可变形镜的激光加工装置制造方法及图纸

本发明专利技术的课题是提供一种具有多个驱动元件的可变形镜，自由度高，但是，结构复杂。其特征在于，可变形镜包括：在一侧具有反射面（１Ａ）的反射镜（１），在两个部位处固定到反射镜（１）的背面上的第一轴构件（４），具有固定到反射镜（１）的背面（１Ｂ）上的两个腿（５Ｂ）、跨越前述第一轴构件（４）的第二轴构件（５），使该第二轴构件（５）与前述第一轴构件（４）之间的距离变化的距离变更机构（２），连接固定第一轴构件（４）的部位的线段与连接固定第二轴构件（５）的前述腿（５Ｂ）的部位的线段相互交叉。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及修正激光束等的光波波阵面畸变、特别是像散的可变形镜，以及采用可变形镜的激光(laser)加工装置。
技术介绍
可变形镜用于修正光波的波阵面畸变，在各种各样的光学制品中 使用。例如，在天体望远镜中，修正由大气的晃动等引起的波阵面畸 变(像差)，用于改善像的质量(例如，参照专利文献1)。另外，在 CD (光盘)及DVD (数字视盘)等的光学拾波器(pickup)中，用 于修正由光盘面的倾斜及起伏等产生的像差(例如，参照专利文献2 )。 进而，在激光(laser)加工机中，为了能够获得圆度高、点(spot) 直径小的激光束(laser beam),用于修正由透镜(lens)及反射镜等 的畸变引起的激光束(laser beam)的波阵面畸变(例如参照专利文 献l)。在可变形镜中，有整体型镜(例如，参照专利文献1)和分离型 镜(例如，参照专利文献3)，其中的任何一种，通过使多个驱动元件、 例如压电致动器(Piezo Actuator )驱动，使镜面形状发生变化。另夕卜， 也有的报导使用借助静电力进行驱动的驱动元件(例如参照专利文献 2)。这些可变形镜由于具有多个驱动元件，所以本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可变形镜，其特征在于，所述可变形镜包括：在一侧具有反射面的反射镜、在两个部位处固定到该反射镜的背面上的第一轴构件、具有固定到前述反射镜的背面上的两个腿且跨越前述第一轴构件的第二轴构件、使该第二轴构件与前述第一轴构件之间的距离变化的距离变更机构，将固定前述第一轴构件的部位连接起来的线段与将固定前述第二轴构件的前述腿的部位连接起来的线段相互交叉。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：小林信高，竹野祥瑞，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]