下载可变形镜及采用可变形镜的激光加工装置的技术资料

文档序号:2663231

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本发明的课题是提供一种具有多个驱动元件的可变形镜,自由度高,但是,结构复杂。其特征在于,可变形镜包括:在一侧具有反射面(1A)的反射镜(1),在两个部位处固定到反射镜(1)的背面上的第一轴构件(4),具有固定到反射镜(1)的背面(1B)上的...
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