一种用于硅片切割的润滑冷却装置制造方法及图纸

技术编号:26621520 阅读:31 留言:0更新日期:2020-12-08 15:14
本实用新型专利技术涉及一种用于硅片切割的润滑冷却装置,属于晶硅加工设备领域,和切片机相配合,包括冷却装置和树脂板,所述冷却装置和树脂板配合使用,所述冷却装置包括依次连接的喷头、连接管和阀门,所述树脂板内设置有供冷却液通过的冷却液通道,所述喷头与冷却液通道相连通,用于为硅片切割进行辅助冷却和润滑,具有结构简单,便于与现有切片机对接,适用范围广,从内部切割区域直接进行冷却润滑,有效降低金刚线切割加切的发生,提高生产效率及切割良率,具有广阔的市场前景。

【技术实现步骤摘要】
一种用于硅片切割的润滑冷却装置
本技术属于晶硅加工设备领域,具体地说涉及一种用于硅片切割的润滑冷却装置。
技术介绍
目前光伏行业粘棒时候多以实心树脂板为主,镂空树脂板已逐渐开始使用,但是无论哪种树脂板,由于粘胶面、树脂板与硅棒材质的差异,金刚线的冷却液带入能力会比切硅棒时候变差,特别是在切割区域温度升高时,树脂板的切屑容易粘滞不易排出,导致金刚线切割力减弱,为此当正常工艺切割结束后,硅棒并未完全切透,需要继续切割,而发生加切。加切后,不仅造成金刚线耗线增加,生产效率降低,也及容易发生断线等异常。因此,怎样能够有效的在硅片切割过程为切割降温,减少加切的发生是我们需要解决的问题。
技术实现思路
针对现有技术的种种不足,现提出一种结构简单且能够有效的为硅切片进行辅助冷却和润滑的装置。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种用于硅片切割的润滑冷却装置,和切片机相配合,包括冷却装置和树脂板,所述冷却装置和树脂板配合使用,所述冷却装置包括依次连接的喷头、连接管和阀门,所述树脂板内设置有供冷却液通过的冷却液通道,所述喷头与本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于硅片切割的润滑冷却装置,和切片机相配合,其特征在于,包括冷却装置和树脂板,所述冷却装置和树脂板配合使用,所述冷却装置包括依次连接的喷头、连接管和阀门,所述树脂板内设置有供冷却液通过的冷却液通道,所述喷头与冷却液通道相连通,用于为硅片切割进行辅助冷却和润滑。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于硅片切割的润滑冷却装置,和切片机相配合,其特征在于,包括冷却装置和树脂板,所述冷却装置和树脂板配合使用,所述冷却装置包括依次连接的喷头、连接管和阀门,所述树脂板内设置有供冷却液通过的冷却液通道,所述喷头与冷却液通道相连通,用于为硅片切割进行辅助冷却和润滑。


2.根据权利要求1所述的一种用于硅片切割的润滑冷却装置,其特征在于,所述树脂板沿着晶硅宽度的一端设置有多个冷却液入口,且树脂板的另一端设置有冷却液出口,冷却液入口和冷却液出口通过冷却液通道相连通。


3.根据权利要求2所述的一种用于硅片切割的润滑冷却装置,其特征在于,所述喷头的内部设置有容纳冷却液的空间,喷头的内部包括位于上部的进液部和下部的出液部,且进液部和出液部相互...

【专利技术属性】
技术研发人员:邢旭李璐唐亮明兆坤
申请(专利权)人:长治高测新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:山西;14

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