下载一种用于硅片切割的润滑冷却装置的技术资料

文档序号:26621520

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本实用新型涉及一种用于硅片切割的润滑冷却装置,属于晶硅加工设备领域,和切片机相配合,包括冷却装置和树脂板,所述冷却装置和树脂板配合使用,所述冷却装置包括依次连接的喷头、连接管和阀门,所述树脂板内设置有供冷却液通过的冷却液通道,所述喷头与冷却...
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