一种抛光白垫平铺压板设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种抛光白垫平铺压板设备，包括挤压台板，所述挤压台板下方四角处安装支撑柱，挤压台板所谓上方开设安装孔，所述挤压台板上通过安装孔安装有平铺挤压装置；所述平铺挤压装置包括定位杆、平铺板、支撑板和压平装置，定位杆的底端固定在平铺板上，定位杆上端固定在支撑板，支撑板上设置压平装置。本实用新型专利技术一种抛光白垫平铺压板设备，挤压弹簧挤压压板四角处，使整个压板压力均匀，保证抛光垫受力均匀，提高抛光垫挤压后的平整度，增加平铺效率，摩擦垫提高摩擦力，使抛光垫在挤压时不会移位，满足不同尺寸的抛光垫进行挤压平铺，提高设备的多用性，增加生产效益。

【技术实现步骤摘要】
一种抛光白垫平铺压板设备
本技术涉及抛光白垫平铺
，具体为一种抛光白垫平铺压板设备。
技术介绍
在众多的化学机械平面化工艺中，抛光组合物与半导体晶片表面接触。抛光组合物以化学方式修饰晶片表面，使该表面更易于进行清理。化学机械平面化工艺用的固定研磨抛光垫与带颗粒浆液的垫子能够去除晶片的修饰层和废弃抛光组合物，使得表面修饰、清理过程得以重复，直至得到所需的最终晶片表面性质，现有的抛光垫需要表面平整，才能对物料进行抛光打磨，在抛光垫生产后需要表面进行压整，现有的压整，大多为一处受力，压力不均匀，导致抛光垫压不平整，一个设备只只能压一种尺寸的，使用效率低。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种抛光白垫平铺压板设备，挤压弹簧挤压压板四角处，使整个压板压力均匀，保证抛光垫受力均匀，提高抛光垫挤压后的平整度，增加平铺效率，摩擦垫提高摩擦力，使抛光垫在挤压时不会移位，满足不同尺寸的抛光垫进行挤压平铺，提高设备的多用性，增加生产效益，解决了现有技术中的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种抛光白垫平铺压板设备，包括挤压台板，所述挤压台板下方四角处安装支撑柱，挤压台板所谓上方开设安装孔，所述挤压台板上通过安装孔安装有平铺挤压装置；所述平铺挤压装置包括定位杆、平铺板、支撑板和压平装置，定位杆的底端固定在平铺板上，定位杆上端固定在支撑板，支撑板上设置压平装置；所述压平装置包括压板、伸缩气缸、伸缩杆和固定板，压板上方连接伸缩杆，伸缩杆的顶端与伸缩气缸的输出端连接，伸缩气缸侧端安装在固定板上，固定板底端通过螺丝安装在支撑板上，所述压平装置的压板下方设置抛光垫，抛光垫放置在平铺板上。优选的，所述安装孔设置有四组，每组所述安装孔分别有四个，呈四角形分布在挤压台板上，且四组所述安装孔之间四角形面积依次变大。优选的，所述定位杆设置四根，四根所述定位杆的底端穿过一组安装孔，通过紧固螺母固定在挤压台板下方。优选的，所述压板四角处开设导向孔，压板通过定位杆穿过导向孔设置在定位杆上，且压板底端设置一层摩擦垫。优选的，所述压板和支撑板之间的四个所述定位杆上分别套接挤压弹簧。优选的，所述平铺挤压装置中平铺板、支撑板和压板上定位杆形成的四角面积与第二组所述安装孔之间四角形面积相匹配。优选的，所述平铺挤压装置中平铺板、支撑板和压板上定位杆形成的四角面积与第四组所述安装孔之间四角形面积相匹配。与现有技术相比，本技术的有益效果如下：1、本技术一种抛光白垫平铺压板设备，定位杆设置四根，四根定位杆的底端穿过一组安装孔，通过紧固螺母固定在挤压台板下方，压板四角处开设导向孔，压板通过定位杆穿过导向孔设置在定位杆上，且压板底端设置一层摩擦垫，压板和支撑板之间的四个定位杆上分别套接挤压弹簧，当抛光垫放置在平铺板上后，伸缩气缸运作，带动压板下压，压板在通过导向孔在定位杆滑动，对抛光垫进行挤压，伸缩气缸通过伸缩杆对压板中间处作力，在下压的同时，挤压弹簧挤压压板四角处，使整个压板压力均匀，保证抛光垫受力均匀，提高抛光垫挤压后的平整度，增加平铺效率，摩擦垫提高摩擦力，使抛光垫在挤压时不会移位。2、且四组安装孔之间四角形面积依次变大，平铺挤压装置中平铺板、支撑板和压板上定位杆形成的四角面积与第四组安装孔之间四角形面积相匹配，当平铺板、支撑板和压板的面积变最大后，可适用大号的抛光垫进行挤压平铺，通过在不同尺寸的安装孔内安装不同尺寸的平铺挤压装置，满足不同尺寸的抛光垫进行挤压平铺，提高设备的多用性，增加生产效益。附图说明图1为本技术的整体结构示意图；图2为本技术的挤压台板结构示意图；图3为本技术的平铺挤压装置结构示意图；图4为本技术的平铺挤压装置下压结构示意图；图5为本技术的压平装置结构示意图；图6为本技术的实施例二整体结构示意图；图7为本技术的实施例三整体结构示意图。图中：1、挤压台板；11、支撑柱；12、安装孔；2、平铺挤压装置；21、定位杆；211、挤压弹簧；22、平铺板；23、支撑板；24、压平装置；241、压板；2411、导向孔；2412、摩擦垫；242、伸缩气缸；243、伸缩杆；244、固定板；3、抛光垫。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例一：请参阅图1-5，一种抛光白垫平铺压板设备，包括挤压台板1，挤压台板1下方四角处安装支撑柱11，挤压台板1所谓上方开设安装孔12，挤压台板1上通过安装孔12安装有平铺挤压装置2，平铺挤压装置2包括定位杆21、平铺板22、支撑板23和压平装置24，定位杆21的底端固定在平铺板22上，定位杆21上端固定在支撑板23，支撑板23上设置压平装置24，压平装置24包括压板241、伸缩气缸242、伸缩杆243和固定板244，压板241上方连接伸缩杆243，伸缩杆243的顶端与伸缩气缸242的输出端连接，伸缩气缸242侧端安装在固定板244上，固定板244底端通过螺丝安装在支撑板23上，压平装置24的压板241下方设置抛光垫3，抛光垫3放置在平铺板22上，定位杆21设置四根，四根定位杆21的底端穿过一组安装孔12，通过紧固螺母固定在挤压台板1下方，压板241四角处开设导向孔2411，压板241通过定位杆21穿过导向孔2411设置在定位杆21上，且压板241底端设置一层摩擦垫2412，压板241和支撑板23之间的四个定位杆21上分别套接挤压弹簧211，当抛光垫3放置在平铺板22上后，伸缩气缸242运作，带动压板241下压，压板241在通过导向孔2411在定位杆21滑动，对抛光垫3进行挤压，伸缩气缸242通过伸缩杆243对压板241中间处作力，在下压的同时，挤压弹簧211挤压压板241四角处，使整个压板241压力均匀，保证抛光垫3受力均匀，提高抛光垫3挤压后的平整度，增加平铺效率，摩擦垫2412提高摩擦力，使抛光垫3在挤压时不会移位。实施例二：请参阅图6，安装孔12设置有四组，一组安装孔12分别四个，呈四角形分布在挤压台板1上，且四组安装孔12之间四角形面积依次变大，平铺挤压装置2中平铺板22、支撑板23和压板241上定位杆21形成的四角面积与第二组安装孔12之间四角形面积相匹配，当平铺板22、支撑板23和压板241的面积变大后，可适用于稍大一点的抛光垫3进行挤压平铺。实施例三：请参阅图7，安装孔12设置有四组，一组安装孔12分别四个，呈四角形分布在挤压台板1上，且四组安装孔12之间四角形面积依次变大，平铺挤压装置2中平铺板22、支撑板23和压板241上定位杆21形成的四角面积与第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种抛光白垫平铺压板设备，包括挤压台板(1)，其特征在于：所述挤压台板(1)下方四角处安装支撑柱(11)，挤压台板(1)所谓上方开设安装孔(12)，所述挤压台板(1)上通过安装孔(12)安装有平铺挤压装置(2)；/n所述平铺挤压装置(2)包括定位杆(21)、平铺板(22)、支撑板(23)和压平装置(24)，定位杆(21)的底端固定在平铺板(22)上，定位杆(21)上端固定在支撑板(23)，支撑板(23)上设置压平装置(24)；/n所述压平装置(24)包括压板(241)、伸缩气缸(242)、伸缩杆(243)和固定板(244)，压板(241)上方连接伸缩杆(243)，伸缩杆(243)的顶端与伸缩气缸(242)的输出端连接，伸缩气缸(242)侧端安装在固定板(244)上，固定板(244)底端通过螺丝安装在支撑板(23)上，所述压平装置(24)的压板(241)下方设置抛光垫(3)，抛光垫(3)放置在平铺板(22)上。/n

【技术特征摘要】
1.一种抛光白垫平铺压板设备，包括挤压台板(1)，其特征在于：所述挤压台板(1)下方四角处安装支撑柱(11)，挤压台板(1)所谓上方开设安装孔(12)，所述挤压台板(1)上通过安装孔(12)安装有平铺挤压装置(2)；
所述平铺挤压装置(2)包括定位杆(21)、平铺板(22)、支撑板(23)和压平装置(24)，定位杆(21)的底端固定在平铺板(22)上，定位杆(21)上端固定在支撑板(23)，支撑板(23)上设置压平装置(24)；
所述压平装置(24)包括压板(241)、伸缩气缸(242)、伸缩杆(243)和固定板(244)，压板(241)上方连接伸缩杆(243)，伸缩杆(243)的顶端与伸缩气缸(242)的输出端连接，伸缩气缸(242)侧端安装在固定板(244)上，固定板(244)底端通过螺丝安装在支撑板(23)上，所述压平装置(24)的压板(241)下方设置抛光垫(3)，抛光垫(3)放置在平铺板(22)上。


2.根据权利要求1所述的一种抛光白垫平铺压板设备，其特征在于：所述安装孔(12)设置有四组，每组所述安装孔(12)分别有四个，呈四角形分布在挤压台板(1)上，且四组所述安装孔(12)之间四角形面积依次变大。


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【专利技术属性】
技术研发人员：李加海，
申请(专利权)人：安徽禾臣新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34