【技术实现步骤摘要】
用于单晶炉配件的去毛刺装置
本技术涉及单晶炉加工
,尤其涉及用于单晶炉配件的去毛刺装置。
技术介绍
众所周知石英坩埚,具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点,应用越来越广泛。尤其是生产单晶硅的单晶炉中的重要部件。石英坩埚的去毛刺工作是一个十分重要的环节,石英坩埚在其毛刺的工序中需要先后进行粗磨和精磨两道工序,在两道工序的转换过程总需要涉及石英坩埚的搬运,使用起来不够方便,且极大的浪费了去毛刺的时间。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术中存在的上述问题,提供了一种有助于提高去毛刺效率的用于单晶炉配件的去毛刺装置。本技术的目的可通过下列技术方案来实现:用于单晶炉配件的去毛刺装置,包括机架、设于机架上的防滑垫、设于防滑垫上方的去毛刺机构、用于驱动去毛刺机构上下动作的驱压驱动件及用于驱动去毛刺机构转动的去毛刺驱动件,去毛刺机构包括设于防滑垫上方的内桶、设于内桶边缘处的多个腔室、设于腔室内的转轴及用于驱动转轴在腔室内转动的驱转结构,多个腔室沿内桶圆周方向等间距设置 ...
【技术保护点】
1.一种用于单晶炉配件的去毛刺装置,包括机架(1)、设于机架(1)上的防滑垫(2)、设于防滑垫(2)上方的去毛刺机构(3)、用于驱动去毛刺机构(3)上下动作的驱压驱动件(4)及用于驱动去毛刺机构(3)转动的去毛刺驱动件(5),其特征在于:所述去毛刺机构(3)包括设于防滑垫(2)上方的内桶(31)、设于内桶(31)边缘处的多个腔室(311)、设于腔室(311)内的转轴(3111)及用于驱动转轴(3111)在腔室(311)内转动的驱转结构,多个所述腔室(311)沿内桶(31)圆周方向等间距设置且与外界相连通,所述转轴(3111)上设有粗磨部件和精磨部件,所述粗磨部件和精磨部件分 ...
【技术特征摘要】
1.一种用于单晶炉配件的去毛刺装置,包括机架(1)、设于机架(1)上的防滑垫(2)、设于防滑垫(2)上方的去毛刺机构(3)、用于驱动去毛刺机构(3)上下动作的驱压驱动件(4)及用于驱动去毛刺机构(3)转动的去毛刺驱动件(5),其特征在于:所述去毛刺机构(3)包括设于防滑垫(2)上方的内桶(31)、设于内桶(31)边缘处的多个腔室(311)、设于腔室(311)内的转轴(3111)及用于驱动转轴(3111)在腔室(311)内转动的驱转结构,多个所述腔室(311)沿内桶(31)圆周方向等间距设置且与外界相连通,所述转轴(3111)上设有粗磨部件和精磨部件,所述粗磨部件和精磨部件分别对称设于转轴(3111)两侧。
2.根据权利要求1所述的用于单晶炉配件的去毛刺装置,其特征在于:所述粗磨部件包括设于转轴(3111)一侧的多个粗磨毛刷部(6),多个所述粗磨毛刷部(6)沿转轴(3111)圆周方向等间距设置,所述精磨部件包括设于转轴(3111)另一侧的多个精磨毛刷部(7),多个所述精磨毛刷部(7)沿转轴(3111)圆周方向等间距设置。
3.根据权利要求1所述的用于单晶炉配件的去毛刺装置,其特征在于:所述驱转结构包括设于转轴(3111)顶部的从动齿轮(8)、设于内桶(31)内的驱转驱动件(9)及固连于驱转驱动件(9)输出轴端部的主动齿轮(10),所述主动齿轮(10)...
【专利技术属性】
技术研发人员:王耀辉,毛宋燕,徐银军,阮华良,刘浩杰,
申请(专利权)人:绍兴市佳达机械制造有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江;33
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