平面型等离子体诊断装置、埋设平面型等离子体诊断装置的晶片型等离子体诊断装置及埋设平面型等离子体诊断装置的静电卡盘制造方法及图纸

本发明专利技术涉及平面型等离子体诊断装置，其特征在于，包括：发送天线，用于向等离子体施加频率可变的微波；接收天线，用于从上述等离子体接收上述微波；以及本体部，以相互绝缘的方式包围上述发送天线与上述接收天线，上述发送天线的用于施加微波的上部面与上述接收天线的用于接收微波的上部面为平面型，上述发送天线与上述接收天线的上述上部面的侧面相互相向。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】平面型等离子体诊断装置、埋设平面型等离子体诊断装置的晶片型等离子体诊断装置及埋设平面型等离子体诊断装置的静电卡盘
本专利技术涉及平面型等离子体诊断装置，提供可通过形成平面型的用于测定等离子体截止频率的超高频收发天线来从截止频率获得等离子体密度的平面型等离子体诊断装置。并且，本专利技术涉及埋设平面型等离子体诊断装置的晶片型等离子体诊断装置，提供将通过形成平面型的用于测定等离子体截止频率的超高频收发天线来从截止频率获得等离子体密度的平面型等离子体诊断装置埋设在圆形部件的晶片型等离子体诊断装置。并且，本专利技术涉及埋设平面型等离子体诊断装置的静电卡盘，提供将通过形成平面型的用于测定等离子体截止频率的超高频收发天线来从截止频率获得等离子体密度的平面型等离子体诊断装置埋设在静电卡盘的埋设平面型等离子体诊断装置的静电卡盘。
技术介绍
随着等离子体的应用领域以多种方式逐渐扩展，等离子体诊断技术的重要性也逐渐变大。现有的等离子体诊断方法通过将静电探针插入等离子体来施加电位，但是，这种方式具有如下问题，即，由于高电位可改变等离子体，因此难以准确测定如等离子体密度的等离子体系数。为了解决如上所述的静电探针问题，开发了一种利用微波的等离子体诊断方法，即，截止(cut-off)探针方式，截止(cut-off)探针具有用于发送电磁波的探针和用于接收电磁波的探针，可通过使用几百MHz至几十GHz范围的微波来测定等离子体密度。当微波的频率小于等离子体频率时，微波并不能通过等离子体，当微波的频率大于等离子体的频率时，微波可通过等离子体，在此情况下的频率被称为截止频率，可通过这种截止频率获得等离子密度。授权专利公报第10-0473794号涉及具有天线结构的频率探针器结构的等离子体电子密度测定装置，图22示出杆形状探针的收发天线的具体形状，向等离子体内部插入频率探针器的方式具有如下问题，即，可诱发对等离子体的具体干涉，因探针插入所引起的周围等离子体密度摄动而降低测定准确度。授权专利公报第10-1225010号涉及具有杆形状的放射天线与环形状的接收天线的超高频探针，图23示出杆形状的放射天线与环形状的接收天线的具体形状，虽然环形状的接收天线可提高接收率，但是，向等离子体内部插入频率探针器的方式具有如下问题，即，可诱发对等离子体的具体干涉。公开专利公报第10-2017-0069652号涉及平面型环类超高频等离子体诊断装置，图24示出平面型环类等离子体诊断装置的具体形状，为了通过检测等离子体的截止频率来测定等离子体密度，以同心轴结构配置发送天线与接收天线并使得环形态的上述接收天线包围发送天线。但是，这种平面型环类超高频等离子体诊断装置具有如下问题，即，通过源于结构特性的共振信号难以进行具有可靠性的等离子体密度测定。授权专利公报第10-1756325号涉及平面型圆锥类等离子体诊断装置，图25示出平面型圆锥类等离子体诊断装置的具体形状，为了通过检测等离子体的截止频率来测定等离子体密度，分别以圆锥形态形成发送天线与接收天线。但是，这种平面型圆锥类截止探针具有如下问题，即，因透射信号的强度过低而难以测定等离子体密度。
技术实现思路
技术问题为了解决上述问题，本专利技术的目的在于，通过增加收发天线之间的容量性结合来防止具体干涉并提高透射信号的强度，从而可进行具有可靠性的等离子体密度测定。并且，本专利技术的在一目的在于，可通过防止源于结构特性的共振信号来进行具有可靠性的等离子体密度测定。并且，本专利技术的另一目的在于，通过将等离子体诊断装置埋设在晶片形态的圆形部件来使等离子体腔体的结构变化最小化，从而可进行具有可靠性的等离子体密度测定。并且，本专利技术的还有一目的在于，可通过将等离子体诊断装置埋设在静电卡盘来在等离子体工序中实时进行等离子体密度测定。并且，本专利技术的又一目的在于，可通过将等离子体诊断装置埋设在静电卡盘来在等离子体工序中实时进行晶片周围的等离子体密度测定。并且，本专利技术的又一目的在于，能够以低成本进行等离子体空间的均匀度测定。本专利技术所要实现的目的并不限定于上述目的，应当理解的是，除非在上述明确表示，否则本专利技术所属领域的普通技术人员可通过本专利技术的结构及作用容易实现其他技术目的。技术方案为了实现上述目的，本专利技术包括以下结构。本专利技术涉及平面型等离子体诊断装置，其特征在于，包括：发送天线，用于向等离子体施加频率可变的微波；接收天线，用于从上述等离子体接收上述微波；以及本体部，以相互绝缘的方式包围上述发送天线与上述接收天线，上述发送天线的用于施加微波的上部面与上述接收天线的用于接收微波的上部面为平面型，上述发送天线与上述接收天线的上述上部面的侧面相互相向。本专利技术的特征在于，平面型的上述发送天线与平面型的上述接收天线的上部面为四边形。本专利技术的特征在于，平面型上述发送天线与平面型上述接收天线呈直六面体形状，以相互相邻并相互相向的方式配置在上述本体部内。本专利技术的特征在于，上述发送天线的上述上部面与上述接收天线的上述上部面的间隔D为1mm以上且15mm以下。本专利技术的特征在于，在上述发送天线的上部面与上述接收天线的上部面形成绝缘膜。本专利技术的特征在于，上述上部面的纵向长度大于上述上部面的横向长度，以相互相向的方式配置上述发送天线的上述上部面的纵向长边与上述接收天线的上述上部面的纵向长边。本专利技术的特征在于，上述发送天线与上述接收天线的上述上部面的纵向长度为2mm以上且30mm以下。本专利技术的特征在于，上述发送天线与上述接收天线的上述上部面的横向长度为0.1mm以上且10mm以下。本专利技术的特征在于，用于发送或接收超高频的电缆通过与上述发送天线或上述接收天线的上述上部面相向的上述发送天线或上述接收天线的下部面连接。本专利技术的特征在于，用于发送或接收超高频的上述电缆连接在从上述下部面的纵向长度的中心到上述纵向长度的1/4的范围内。并且，本专利技术涉及平面型等离子体诊断装置，其特征在于，包括：发送天线，用于向等离子体施加频率可变的微波；接收天线，用于从上述等离子体接收上述微波；以及本体部，以相互绝缘的方式包围上述发送天线与上述接收天线，上述发送天线的用于施加微波的上部面与上述接收天线的用于接收微波的上部面为半圆形平面，上述发送天线与上述接收天线的上述上部面的弦相互相向。本专利技术的特征在于，上述发送天线与上述接收天线呈半圆柱形状，以相互相邻并相互相向的方式配置在上述本体部内。并且，本专利技术涉及平面型等离子体诊断装置，其特征在于，包括：发送天线，用于向等离子体施加频率可变的微波；接收天线，用于从上述等离子体接收上述微波；以及本体部，以相互绝缘的方式包围上述发送天线与上述接收天线，上述发送天线的用于施加微波的上部面与上述接收天线的用于接收微波的上部面为平面型，上述发送天线与上述接收天线的上述上部面的侧面相互相向，柱体部从上述上部面延伸而成。并且，本专利技术涉及埋设平面型等离子体诊断装置的晶片型本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种平面型等离子体诊断装置，其特征在于，/n包括：/n发送天线，用于向等离子体施加频率可变的微波；/n接收天线，用于从上述等离子体接收上述微波；以及/n本体部，以相互绝缘的方式包围上述发送天线与上述接收天线，/n上述发送天线的用于施加微波的上部面与上述接收天线的用于接收微波的上部面为平面型，上述发送天线与上述接收天线的上述上部面的侧面相互相向。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20190131 KR 10-2019-0012572;20190321 KR 10-2019-001.一种平面型等离子体诊断装置，其特征在于，
包括：
发送天线，用于向等离子体施加频率可变的微波；
接收天线，用于从上述等离子体接收上述微波；以及
本体部，以相互绝缘的方式包围上述发送天线与上述接收天线，
上述发送天线的用于施加微波的上部面与上述接收天线的用于接收微波的上部面为平面型，上述发送天线与上述接收天线的上述上部面的侧面相互相向。


2.根据权利要求1所述的平面型等离子体诊断装置，其特征在于，平面型的上述发送天线与平面型的上述接收天线的上部面为四边形。


3.根据权利要求2所述的平面型等离子体诊断装置，其特征在于，平面型的上述发送天线与平面型的上述接收天线呈直六面体形状，以相互相邻并相互相向的方式配置在上述本体部内。


4.根据权利要求1所述的平面型等离子体诊断装置，其特征在于，上述发送天线的上述上部面与上述接收天线的上述上部面的间隔为1mm以上且15mm以下。


5.根据权利要求1所述的平面型等离子体诊断装置，其特征在于，在上述发送天线的上部面与上述接收天线的上部面形成绝缘膜。


6.根据权利要求2所述的平面型等离子体诊断装置，其特征在于，上述上部面的纵向长度大于上述上部面的横向长度，以相互相向的方式配置上述发送天线的上述上部面的纵向长边与上述接收天线的上述上部面的纵向长边。


7.根据权利要求6所述的平面型等离子体诊断装置，其特征在于，上述发送天线与上述接收天线的上述上部面的纵向长度为2mm以上且30mm以下。


8.根据权利要求7所述的平面型等离子体诊断装置，其特征在于，上述发送天线与上述接收天线的上述上部面的横向长度为0.1mm以上且10mm以下。


9.根据权利要求1所述的平面型等离子体诊断装置，其特征在于，用于发送或接收超高频的电缆通过与上述发送天线或上述接收天线的上述上部面相向的上述发送天线或上述接收天线的下部面连接。


10.根据权利要求9所述的平面型等离子体诊断装置，其特征在于，用于发送或接收超高频的上述电缆连接在从上述下部面的纵向长度的中心到上述纵向长度的1/4的范围内。


11.一种平面型等离子体诊断装置，其特征在于，
包括：
发送天线，用于向等离子体施加频率可变的微波；
接收天线，用于从上述等离子体接收上述微波；以及
本体部，以相互绝缘的方式包围上述发送天线与上述接收天线，
上述发送天线的用于施加微波的上部面与上述接收天线的用于接收微波的上部面为半圆形平面，上述发送天线与上述接收天线的上述上部面的弦相互相向。


12.根据权利要求11所述的平面型等离子体诊断装置，其特征在于，上述发送天线与上述接收天线呈半圆柱形状，以相互相邻并相互相向的方式配置在上述本体部内。


13.一种平面型等离子体诊断装置，其特征在于，
包括：
发送天线，用于向等离子体施加频率可变的微波；
接收天线，用于从上述等离子体接收上述微波；以及
本体部，以相互绝缘的方式包围上述发送天线与上述接收天线，
上述发送天线的用于施加微波的上部面与上述接收天线的用于接收微波的上部面为平面型，上述发送天线与上述接收天线的上述上部面的侧面相互相向，柱体部从上述上部面延伸而成。


14.一种埋设平面型等离子体诊断装置的晶片型等离子体诊断装置，其特征在于，
上述平面型等离子体诊断装置包括：
发送天...

【专利技术属性】
技术研发人员：李孝昶，金贞衡，成大镇，廉喜重，
申请(专利权)人：韩国标准科学研究院，
类型：发明
国别省市：韩国;KR