用于图形转移的线路板及图形转移工艺制造技术

技术编号:26608103 阅读:34 留言:0更新日期:2020-12-04 21:33
本发明专利技术公开了一种用于图形转移的线路板及其图形转移工艺,线路板包括用于在线路板上形成实际图形的目标设计图形区域和用于覆盖显影干膜的图形转移补偿区域,图形转移补偿区域包括侧蚀宽度补偿区域和角位补偿区域,通过在目标设计图形区域的外部设置侧蚀宽度补偿区域和角位补偿区域,侧蚀宽度补偿区域包围在目标设计图形区域的外围,避免线路板上的图形在蚀刻后边线会往内收,角位补偿区域额外对目标设计图形区域的角位进行包围,避免线路板上的图形在蚀刻时角位受到两侧蚀刻液攻击而变成圆角,从而改良线路板上的图形蚀刻问题,线路板上蚀刻后的图形更接近目标设计图形。

【技术实现步骤摘要】
用于图形转移的线路板及图形转移工艺
本专利技术涉及线路板生产
,特别涉及一种用于图形转移的线路板及图形转移工艺。
技术介绍
图形转移是指成膜(贴膜)-曝光-显影-蚀刻-退膜等一系列工序;经过图形转移后,设计图形由电子文件转移到目标衬底上,形成实际图形。图形的角位和边线,在蚀刻过程中受到两侧的蚀刻液攻击,会更快被蚀刻掉,最后导致设计为方角或者尖角的部位,最终蚀刻结果成为一个圆角,图形的边线也会往内收,与设计图形相去甚远。这种偏差在一般的导通功能线路中不会造成大的问题,但是在射频线路的应用场景中,线路的射频性能往往由设计图形来仿真,最终蚀刻结果与设计图形相差太远会造成设计性能与实际性能吻合度低的问题,特别是相对于边缘平缓的图形,角位图形属于尖端,电场能量集中,对辐射影响较大。
技术实现思路
本专利技术的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一,提供一种用于图形转移的线路板,能够改良线路板上的图形蚀刻问题,线路板上蚀刻后的图形更接近目标设计图形。本专利技术还提供一种线路板的图形转移工艺。>根据本专利技术第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于图形转移的线路板,其特征在于,包括:/n目标设计图形区域,用于在线路板上形成实际图形;/n图形转移补偿区域,用于覆盖显影干膜,包括侧蚀宽度补偿区域和角位补偿区域,所述侧蚀宽度补偿区域包括从所述目标设计图形区域的边缘往外扩展第一宽度所得到的区域,所述侧蚀宽度补偿区域的两条相交的边线分别称为第一干膜边线和第二干膜边线,所述第一干膜边线和所述第二干膜边线的相交点称为宽度补偿角点,从所述宽度补偿角点往外延伸第二宽度得到角位补偿角点,从所述角位补偿角点分别延伸出第一角位斜边和第二角位斜边,所述第一角位斜边与所述第一干膜边线相交,所述第二角位斜边和所述第二干膜边线相交,所述角位补偿区域包括所述...

【技术特征摘要】
1.一种用于图形转移的线路板,其特征在于,包括:
目标设计图形区域,用于在线路板上形成实际图形;
图形转移补偿区域,用于覆盖显影干膜,包括侧蚀宽度补偿区域和角位补偿区域,所述侧蚀宽度补偿区域包括从所述目标设计图形区域的边缘往外扩展第一宽度所得到的区域,所述侧蚀宽度补偿区域的两条相交的边线分别称为第一干膜边线和第二干膜边线,所述第一干膜边线和所述第二干膜边线的相交点称为宽度补偿角点,从所述宽度补偿角点往外延伸第二宽度得到角位补偿角点,从所述角位补偿角点分别延伸出第一角位斜边和第二角位斜边,所述第一角位斜边与所述第一干膜边线相交,所述第二角位斜边和所述第二干膜边线相交,所述角位补偿区域包括所述第一角位斜边、所述第二角位斜边、所述第一干膜边线和所述第二干膜边线所围成的区域。


2.根据权利要求1所述的一种用于图形转移的线路板,其特征在于,所述目标设计图形区域的两条相交的边线分别称为第一目标边线和第二目标边线,所述第一目标边线与所述第一干膜边线对应并相隔所述第一宽度的距离,所述第二目标边线与所述第二干膜边线对应并相隔所述第一宽度的距离,所述第一目标边线和所述第二目标边线的相交点称为目标图形角点,所述第一目标边线上与所述目标图形角点相距第三宽度...

【专利技术属性】
技术研发人员:叶国俊
申请(专利权)人:鹤山市中富兴业电路有限公司
类型:发明
国别省市:广东;44

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