一种薄膜声波滤波器及其制造方法技术

本发明专利技术提供了一种薄膜声波滤波器及其制造方法，其中，薄膜声波滤波器包括：第一基板，第一基板包括相对的第一表面和第二表面；第一表面设有第一空腔；声波谐振器单元，设置于第一基板上，并遮盖第一空腔，声波谐振器单元包括第一电极、压电层和第二电极；其中第一电极和第二电极分别设置于压电层的两个相对表面；或者，第一电极和第二电极均设置于压电层朝向第一空腔的一侧，且相对设置；第一通孔，贯穿第一基板，延伸至第一电极；第二通孔，贯穿第一基板，延伸至第二电极；导电层，覆盖第一通孔和第二通孔的内壁以及第一基板的第二表面；电感和/或电容，位于第一基板的第二表面侧。

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜声波滤波器及其制造方法
本专利技术涉及半导体器件制造领域，尤其涉及一种薄膜声波滤波器及其制造方法。
技术介绍
随着无线通讯技术的不断发展，为了满足各种无线通讯终端的多功能化需求，终端设备需要能够利用不同的载波频谱传输数据，同时，为了在有限的带宽内支持足够的数据传输率，对于射频系统也提出了严格的性能要求。射频滤波器是射频系统的重要组成部分，可以将通信频谱外的干扰和噪声滤出以满足射频系统和通信协议对于信噪比的需求。以手机为例，由于每一个频带需要有对应的滤波器，一台手机中可能需要设置数十个滤波器。通常，薄膜体声波谐振器包括两个薄膜电极，并且两个薄膜电极之间设有压电薄膜层，其工作原理为利用压电薄膜层在交变电场下产生振动，该振动激励出沿压电薄膜层厚度方向传播的体声波，此声波传至上下电极与空气交界面被反射回来，进而在薄膜内部来回反射，形成震荡。当声波在压电薄膜层中传播正好是半波长的奇数倍时，形成驻波震荡。但是，传统制作出的薄膜声波滤波器，在制造完基本结构后，需要再和PCB板焊接在一起才能供给客户使用，因为滤波器需要用PCB板内部设计本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种薄膜声波滤波器，其特征在于，包括：/n第一基板，所述第一基板包括相对的第一表面和第二表面；/n所述第一表面设有第一空腔；/n声波谐振器单元，设置于所述第一基板上，并遮盖所述第一空腔，所述声波谐振器单元包括第一电极、压电层和第二电极；其中所述第一电极和所述第二电极分别设置于所述压电层的两个相对表面；或者，所述第一电极和所述第二电极均设置于所述压电层朝向所述第一空腔的一侧，且相对设置；/n第一通孔，设置于所述第一空腔外部，贯穿所述第一基板，延伸至所述第一电极；/n第二通孔，设置于所述第一空腔外部，贯穿所述第一基板，延伸至所述第二电极；/n导电层，覆盖所述第一通孔和所述第二通孔的内壁以及所述...

【技术特征摘要】
1.一种薄膜声波滤波器，其特征在于，包括：
第一基板，所述第一基板包括相对的第一表面和第二表面；
所述第一表面设有第一空腔；
声波谐振器单元，设置于所述第一基板上，并遮盖所述第一空腔，所述声波谐振器单元包括第一电极、压电层和第二电极；其中所述第一电极和所述第二电极分别设置于所述压电层的两个相对表面；或者，所述第一电极和所述第二电极均设置于所述压电层朝向所述第一空腔的一侧，且相对设置；
第一通孔，设置于所述第一空腔外部，贯穿所述第一基板，延伸至所述第一电极；
第二通孔，设置于所述第一空腔外部，贯穿所述第一基板，延伸至所述第二电极；
导电层，覆盖所述第一通孔和所述第二通孔的内壁以及所述第一基板的第二表面；
电感和/或电容，位于所述第一基板的所述第二表面侧。


2.如权利要求1所述的薄膜声波滤波器，其特征在于，所述电感和/或电容包含部分所述导电层。


3.如权利要求1所述的薄膜声波滤波器，其特征在于，所述第一基板包括第一衬底和支撑层，所述第一衬底和所述支撑层通过键合层进行键合，所述第一空腔设置在所述支撑层中。


4.如权利要求1所述的薄膜声波滤波器，其特征在于，所述电容包括相对设置的第一极板和第二极板，所述第一极板与所述第二极板垂直于所述第一基板的表面或平行于所述第一基板的表面，所述第一极板和所述第二极板之间设有绝缘层。


5.如权利要求1所述的薄膜声波滤波器，其特征在于，所述电感和/或电容设置于所述第一空腔的外围区域。


6.如权利要求1所述的薄膜声波滤波器，其特征在于，所述电感包括单层电感或多层电感。


7.如权利要求1所述的薄膜声波滤波器，其特征在于，所述薄膜声波滤波器还包括封盖层，设置于所述声波谐振器单元与所述第一空腔相对的一侧，所述封盖层与所述声波谐振器单元之间形成有第二空腔。


8.如权利7所述的薄膜声波滤波器，其特征在于，还包括：第一微器件，所述第一微器件位于所述封盖层上；
电连接结构，连接所述第一微器件，将所述第一微器件电性引出。


9.如权利要求1所述的薄膜声波滤波器，其特征在于，所述薄膜声波滤波器还包括第二基板，所述声波谐振器单元与所述第一空腔相背的一侧设置在所述第二基板上，所述第二基板中设有布拉格反射层。


10.如权利要求1所述的薄膜声波滤波器，其特征在于，所述薄膜声波滤波器为表面声波滤波器，所述第一电极和所述第二电极为第一叉指换能器和第二叉指换能器。


11.一种薄膜声波滤波器的制造方法，其特征在于，包括：
形成声波谐振器单元，所述声波谐振器单元包括压电层，及所述压电层表面的谐振电极；
在所述压电层表面形成带有第一空腔的第一基板，所述第一空腔单侧开口，所述开口朝向所述谐振电极；
在预设温度和压强下：在所述第一空腔的外围形成贯穿所述第一基板的通孔，所述通孔延伸至所述谐振电极；
形成金属镀层，覆盖所述通孔的内壁及所述第一基板的表面；
图形化所述金属镀层，形成导电层及电感和/或电容。...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄河，罗海龙，李伟，
申请(专利权)人：中芯集成电路宁波有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33