温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种薄膜声波滤波器及其制造方法，其中，薄膜声波滤波器包括：第一基板，第一基板包括相对的第一表面和第二表面；第一表面设有第一空腔；声波谐振器单元，设置于第一基板上，并遮盖第一空腔，声波谐振器单元包括第一电极、压电层和第二电极；其中...
该专利属于中芯集成电路(宁波)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯集成电路(宁波)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。