一种振荡器及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种振荡器及其制造方法，在重金属层上形成有叠层柱，该叠层柱包括由隔离层隔离开的第一磁性层和第二磁性层，该第一磁性层和第二磁性层的磁化方向均位于面内。这样，第一磁性层在重金属层中的自旋轨道转矩作用下可以发生振荡，第二磁性层位于第一磁性层之上，第二磁性层可以在第一磁性层产生杂散场，通过该杂散场可以实现振荡频率的调节。

【技术实现步骤摘要】
一种振荡器及其制造方法
本专利技术涉及半导体器件及其制造领域，特别涉及一种振荡器及其制造方法。
技术介绍
振荡器作为频率源，在各领域都有广泛的应用，而随着对集成度要求的不断提高，片上实现振荡器成为振荡器的主流方向。自旋轨道转矩(SOT，Spin-OrbitTorque)振荡器，其利用自旋轨道转矩实现振荡，为片上实现振荡器提供了可行的解决方案，而进一步实现片上实现频率可调的SOT振荡器成为另一个需要解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种振荡器，实现频率可调的振荡器。为实现上述目的，本专利技术有如下技术方案：一种振荡器，包括：重金属层；所述重金属层上的叠层柱，所述叠层柱包括依次层叠的第一磁性层、隔离层和第二磁性层，所述第一磁性层和所述第二磁性层的磁化方向位于面内，所述第一磁性层耦合至所述重金属层产生振荡，所述第二磁性层产生杂散场。可选的，所述重金属层的材料为Ta、Pt、W、Hf、Ir、CuBi、CuIr或AuW。可选的，所述隔离层的材料可以为非磁性金属材本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种振荡器，其特征在于，包括：/n重金属层；/n所述重金属层上的叠层柱，所述叠层柱包括依次层叠的第一磁性层、隔离层和第二磁性层，所述第一磁性层和所述第二磁性层的磁化方向位于面内，所述第一磁性层耦合至所述重金属层产生振荡，所述第二磁性层产生杂散场。/n

【技术特征摘要】
1.一种振荡器，其特征在于，包括：
重金属层；
所述重金属层上的叠层柱，所述叠层柱包括依次层叠的第一磁性层、隔离层和第二磁性层，所述第一磁性层和所述第二磁性层的磁化方向位于面内，所述第一磁性层耦合至所述重金属层产生振荡，所述第二磁性层产生杂散场。


2.根据权利要求1所述的振荡器，其特征在于，所述重金属层的材料为Ta、Pt、W、Hf、Ir、CuBi、CuIr或AuW。


3.根据权利要求1所述的振荡器，其特征在于，所述隔离层的材料可以为非磁性金属材料或绝缘材料。


4.根据权利要求1所述的振荡器，其特征在于，还包括：位于所述第二磁性层上的钉扎层。


5.根据权利要求4所述的振荡器，其特征在于，所述钉扎层的材料可以为IrMn、PtMn或CoPt。


6.根据权利要求1-5任意一项所述的振荡器，其特征在于，所述第一磁性层或所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王素梅，罗军，赵超，王文武，叶甜春，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11