器件检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种器件检查装置，在接触板较重的情况下，即使器件或电极的厚度不同时，也能够适当地控制多个电极和多个检查用端子各自的接触压力。在器件检查装置(1)中，当电动线性致动器(7)使接触板(4)下降时，接触板(4)沿着线性引导件(8)下降，接触板(4)的多个检查用端子(3)分别与器件(100)(显示面板110)的多个电极(120)抵接。此时，液压缸(9)施加向上方提升接触板(4)的力。因此，在将液体压力设定为规定值的状态下，检查用端子(3)与电极(120)抵接后，电动线性致动器(7)使接触板(4)进一步下降微小距离时，从接触板(4)的自重减去液压缸(9)的提升力所得的力施加到电极(120)上。

【技术实现步骤摘要】
器件检查装置
本专利技术涉及一种进行器件的电气检查的器件检查装置。
技术介绍
作为进行液晶显示面板或有机电致发光显示面板等显示面板(器件)的电气检查的检查装置，提出了如下结构：通过具备由电动机驱动的滚珠丝杠的升降单元使支承具备多个导通针的探针卡等检查单元的探头下降，当通过光电耦合器(传感器)探测到导通针和器件接触时，停止探头的下降(参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开平7－77560号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题但是，即使在通过传感器高精度地控制探头的位置的情况下，当器件或电极的厚度不同时，也存在检查用端子相对于电极的接触压力变动的问题。另外，当进行大型液晶显示面板或有机电致发光显示面板等显示面板的检查时，由于电极的数量多，所以导通针的数量多，接触板的尺寸变大。因此，由于接触板变重，所以当使用接触板进行检查时，需要适当地管理接触压力的单元，但存在构成这样的单元不容易的问题。鉴于上述问题，本专利技术的技术问题在于提供一种器件检查装置，在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种器件检查装置，其使检查用端子与设置于器件上的多个电极分别抵接来检查所述器件，其特征在于，具有：/n接触板，在所述接触板上设置有多个所述检查用端子；/n液压缸，所述液压缸使对抗所述接触板的自重的提升力作用于所述接触板；/n电动线性致动器，所述电动线性致动器经由所述液压缸向接近所述器件的下方向及远离所述器件的上方向直线驱动所述接触板；以及/n线性引导件，当所述接触板在上下方向上移动时，所述线性引导件引导所述接触板。/n

【技术特征摘要】
20190603 JP 2019-1034631.一种器件检查装置，其使检查用端子与设置于器件上的多个电极分别抵接来检查所述器件，其特征在于，具有：
接触板，在所述接触板上设置有多个所述检查用端子；
液压缸，所述液压缸使对抗所述接触板的自重的提升力作用于所述接触板；
电动线性致动器，所述电动线性致动器经由所述液压缸向接近所述器件的下方向及远离所述器件的上方向直线驱动所述接触板；以及
线性引导件，当所述接触板在上下方向上移动时，所述线性引导件引导所述接触板。


2.根据权利要求1所述的器件检查装置，其特征在于，
当所述电动线性致动器使所述接触板下降而使多个所述检查用端子与多个所述电极分别接触时，使所述接触板进一步下降，之后进行所述器...

【专利技术属性】
技术研发人员：赤羽贤俊，
申请(专利权)人：日本电产三协株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP